公开(公告)号：CN103748660A

公开(公告)日：2014-04-23

申请号：CN201280041142.1

申请日：2012-08-24

Applicant: 凸版印刷株式会社

Inventor： 福上典仁 ,  坂田阳 ,  松井一晃 ,  渡边原太

IPC: H01L21/027 ,  G03F1/24

CPC classification number: G03F1/24 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  G03F1/38

Abstract: 本发明提供一种具有遮光性能高的遮光框的反射型掩模及其制造方法。在具有对多层反射层进行刻入而成的遮光框的反射型掩模中，通过仅对多层反射层进行侧蚀、或者仅将多层反射层加工成倒锥形形状，能够抑制EUV光（极端紫外线光）在遮光框边缘附近的反射，能够提供具有高遮光性的反射型掩模，能够形成高精度的转印图案。

公开(公告)号：CN103748660B

公开(公告)日：2016-11-23

申请号：CN201280041142.1

申请日：2012-08-24

Applicant: 凸版印刷株式会社

Inventor： 福上典仁 ,  坂田阳 ,  松井一晃 ,  渡边原太

IPC: H01L21/027 ,  G03F1/24

CPC classification number: G03F1/24 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  G03F1/38

Abstract: 本发明提供一种具有遮光性能高的遮光框的反射型掩模及其制造方法。在具有对多层反射层进行刻入而成的遮光框的反射型掩模中，通过仅对多层反射层进行侧蚀、或者仅将多层反射层加工成倒锥形形状，能够抑制EUV光（极端紫外线光）在遮光框边缘附近的反射，能够提供具有高遮光性的反射型掩模，能够形成高精度的转印图案。