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公开(公告)号:CN111996505A
公开(公告)日:2020-11-27
申请号:CN202010661505.8
申请日:2020-07-10
申请人: 包头稀土研究院 , 瑞科稀土冶金及功能材料国家工程研究中心有限公司
IPC分类号: C23C14/35
摘要: 本发明公开了一种磁控溅射铁磁性靶材的装置,包括:阴极基座、周边永磁体、中心永磁体,周边永磁体、中心永磁体位于阴极基座的下部,周边永磁体位于中心永磁体外侧,还包括:耐高温绝缘保护罩、中心永磁柱、环状磁性靶材,耐高温绝缘保护罩、中心永磁柱、环状磁性靶材位于阴极基座上部,中心永磁柱位于耐高温绝缘保护罩内部,耐高温绝缘保护罩位于环状磁性靶材内侧。本发明改变了现有技术的磁路,使得磁场分布均匀合理,解决了由于铁磁性靶材高磁导率引起的表面磁场强度较小而无法正常磁控溅射的问题。
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公开(公告)号:CN110004439A
公开(公告)日:2019-07-12
申请号:CN201910199642.1
申请日:2019-03-15
申请人: 包头稀土研究院 , 瑞科稀土冶金及功能材料国家工程研究中心有限公司
摘要: 本发明公开了一种稀土金属表面无碳复合防护涂层的制备方法,包括:对稀土金属基体进行表面清洗,在惰性气氛的保护下进行热处理,在稀土金属基体的表面附着内部涂层;对内部涂层进行表面处理,通过物理气相沉积方法在内部涂层的外侧附着外部涂层。本发明能够在稀土金属表面上形成连续致密、抗腐蚀能力强和结合力好的无碳防护涂层,且在制备的各环节不会使稀土金属基体被氧化。
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公开(公告)号:CN111996505B
公开(公告)日:2023-07-14
申请号:CN202010661505.8
申请日:2020-07-10
申请人: 包头稀土研究院 , 瑞科稀土冶金及功能材料国家工程研究中心有限公司
IPC分类号: C23C14/35
摘要: 本发明公开了一种磁控溅射铁磁性靶材的装置,包括:阴极基座、周边永磁体、中心永磁体,周边永磁体、中心永磁体位于阴极基座的下部,周边永磁体位于中心永磁体外侧,还包括:耐高温绝缘保护罩、中心永磁柱、环状磁性靶材,耐高温绝缘保护罩、中心永磁柱、环状磁性靶材位于阴极基座上部,中心永磁柱位于耐高温绝缘保护罩内部,耐高温绝缘保护罩位于环状磁性靶材内侧。本发明改变了现有技术的磁路,使得磁场分布均匀合理,解决了由于铁磁性靶材高磁导率引起的表面磁场强度较小而无法正常磁控溅射的问题。
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公开(公告)号:CN107799253A
公开(公告)日:2018-03-13
申请号:CN201711024430.7
申请日:2017-10-27
申请人: 包头稀土研究院 , 瑞科稀土冶金及功能材料国家工程研究中心有限公司
摘要: 本发明公开了一种稀土金属旋转靶材的制造方法,包括:利用氢化脱氢法-破碎法制备平均粒径D50为40~70μm的稀土金属金属粉料;将稀土金属金属粉料装入真空热压烧结炉的石墨模具中,在真空环境或氩气保护气氛下,热压成型得到稀土金属靶材毛坯,热压温度900~1130℃,成型压力19~30MPa,保温保压1~2小时;对稀土金属靶材毛坯进行机加工,焊接铜或不锈钢背靶后得到稀土金属旋转靶材。本发明可以大幅提高稀土金属在钕铁硼镀膜渗Dy、Dy/Tb或者Tb工艺中的利用率,降低生产成本,提高钕铁硼矫顽力。
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公开(公告)号:CN110004439B
公开(公告)日:2021-11-05
申请号:CN201910199642.1
申请日:2019-03-15
申请人: 包头稀土研究院 , 瑞科稀土冶金及功能材料国家工程研究中心有限公司
摘要: 本发明公开了一种稀土金属表面无碳复合防护涂层的制备方法,包括:对稀土金属基体进行表面清洗,在惰性气氛的保护下进行热处理,在稀土金属基体的表面附着内部涂层;对内部涂层进行表面处理,通过物理气相沉积方法在内部涂层的外侧附着外部涂层。本发明能够在稀土金属表面上形成连续致密、抗腐蚀能力强和结合力好的无碳防护涂层,且在制备的各环节不会使稀土金属基体被氧化。
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公开(公告)号:CN111996504A
公开(公告)日:2020-11-27
申请号:CN202010661498.1
申请日:2020-07-10
申请人: 包头稀土研究院 , 瑞科稀土冶金及功能材料国家工程研究中心有限公司
IPC分类号: C23C14/35
摘要: 本发明公开了一种铁磁性靶材磁控溅射装置,包括:阴极基座、周边永磁体、中心永磁体,周边永磁体、中心永磁体位于阴极基座的下部,周边永磁体位于中心永磁体外侧,还包括:环状磁性靶材、导磁环、耐高温绝缘外环、耐高温绝缘内环、导磁柱;环状磁性靶材、导磁环、耐高温绝缘外环、耐高温绝缘内环、导磁柱位于阴极基座上方,导磁柱位于阴极基座的中部,环状磁性靶材位于导磁柱外侧,耐高温绝缘外环位于环状磁性靶材、导磁环之间,耐高温绝缘内环位于环状磁性靶材与导磁柱之间。本发明改变了现有技术的磁路,使得磁场分布均匀合理,解决了由于铁磁性靶材高磁导率引起的表面磁场强度较小而无法正常磁控溅射的问题。
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公开(公告)号:CN111304577B
公开(公告)日:2021-11-12
申请号:CN202010089356.2
申请日:2020-02-12
申请人: 内蒙古工业大学 , 瑞科稀土冶金及功能材料国家工程研究中心有限公司
摘要: 本发明公开一种钕铁硼磁体表面悬浮液等离子喷涂涂层的制备方法,包括如下步骤:(1)制备稀土悬浮液;(2)采用悬浮液等离子喷涂技术在钕铁硼磁体双面进行喷涂,得到悬浮液等离子喷涂涂层;(3)晶界热扩散方法处理喷涂后的磁体。等离子喷涂技术结合晶界热扩散技术具有生产效率高,环境友好等特点,能够有效提升重稀土元素在磁体中的扩散深度,促进磁性能的提升,同时也有助于加速推动晶界扩散技术的产业化进程。
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公开(公告)号:CN111304577A
公开(公告)日:2020-06-19
申请号:CN202010089356.2
申请日:2020-02-12
申请人: 内蒙古工业大学 , 瑞科稀土冶金及功能材料国家工程研究中心有限公司
摘要: 本发明公开一种钕铁硼磁体表面悬浮液等离子喷涂涂层的制备方法,包括如下步骤:(1)制备稀土悬浮液;(2)采用悬浮液等离子喷涂技术在钕铁硼磁体双面进行喷涂,得到悬浮液等离子喷涂涂层;(3)晶界热扩散方法处理喷涂后的磁体。等离子喷涂技术结合晶界热扩散技术具有生产效率高,环境友好等特点,能够有效提升重稀土元素在磁体中的扩散深度,促进磁性能的提升,同时也有助于加速推动晶界扩散技术的产业化进程。
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公开(公告)号:CN207773175U
公开(公告)日:2018-08-28
申请号:CN201721886236.5
申请日:2017-12-28
申请人: 包头稀土研究院 , 瑞科稀土冶金及功能材料国家工程研究中心有限公司
摘要: 本实用新型公开了一种用于烧结钕铁硼生坯冷等静压的物料搬运装卸设备,包括手推车、物料传递升降车、箱式操作平台;手推车包括车架、手推车滚轮、推车轨道;物料传递升降车包括轨道轮、伸出臂、料桶支架、料桶、挂钩孔;箱式操作平台包括平台支架、等静压机、上压头、平台轨道。本实用新型能够提高等静压机的有效利用率,实现了等静压油的回收。
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公开(公告)号:CN212207039U
公开(公告)日:2020-12-22
申请号:CN201922239886.6
申请日:2019-12-13
申请人: 包头稀土研究院 , 瑞科稀土冶金及功能材料国家工程研究中心有限公司
IPC分类号: G01N17/02
摘要: 本实用新型涉及平板腐蚀池技术领域,尤其是一种用于电化学工作站平板腐蚀池测试样品更换的辅助装置,包括底盘座、撑架以及样品撑,底盘座的边侧设有挡板,挡板的一侧设有挡槽,平板腐蚀池的开口侧设有防转架,防转架包括电极架,电极架上设有锁紧螺丝,锁紧螺丝的端部设有工作电极,电极架在锁紧螺丝的两侧设有固定夹片,固定夹片的顶部设有上长螺丝,工作电极与平板腐蚀池的开口间通过锁紧螺丝夹紧固定样品。本实用新型结构简单、装卸样品方便,易于操作。可节约人力成本,避免更换样品时出现漏液、样品滑落、样品与工作电极的不受控转动等现象,实用性能强,适合推广。
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