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公开(公告)号：CN111996505B
公开(公告)日：2023-07-14
申请号：CN202010661505.8
申请日：2020-07-10
申请人： 包头稀土研究院 , 瑞科稀土冶金及功能材料国家工程研究中心有限公司
IPC分类号： C23C14/35
摘要： 本发明公开了一种磁控溅射铁磁性靶材的装置，包括：阴极基座、周边永磁体、中心永磁体，周边永磁体、中心永磁体位于阴极基座的下部，周边永磁体位于中心永磁体外侧，还包括：耐高温绝缘保护罩、中心永磁柱、环状磁性靶材，耐高温绝缘保护罩、中心永磁柱、环状磁性靶材位于阴极基座上部，中心永磁柱位于耐高温绝缘保护罩内部，耐高温绝缘保护罩位于环状磁性靶材内侧。本发明改变了现有技术的磁路，使得磁场分布均匀合理，解决了由于铁磁性靶材高磁导率引起的表面磁场强度较小而无法正常磁控溅射的问题。
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公开(公告)号：CN110445414A
公开(公告)日：2019-11-12
申请号：CN201910715681.2
申请日：2019-08-05
申请人： 包头稀土研究院 , 瑞科稀土冶金及功能材料国家工程研究中心有限公司
摘要： 本发明公开了一种棒材提供轴向磁场的带有三级放大机构的新型促动器，包括：不导磁外壳、导磁框架、励磁线圈、组合体、三级微位移放大机构、输出杆；励磁线圈套装在组合体外部，励磁线圈放置在导磁框架内，导磁框架与组合体构成闭合磁路；导磁框架设置在不导磁外壳内，不导磁外壳用于约束导磁框架；组合体的一端连接导磁框架，另一端连接三级微位移放大机构的输入杆，三级微位移放大机构的固定端连接在导磁框架上，输出端连接输出杆的后端，输出杆的前端从不导磁外壳的通孔伸出；三级微位移放大机构将组合体的位移放大后传递给输出杆，输出杆用于将位移输出。本发明有效地增加了驱动器的输出位移，减小了驱动器的体积，使得驱动器小型化。
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公开(公告)号：CN110504862B
公开(公告)日：2022-06-21
申请号：CN201910715678.0
申请日：2019-08-05
申请人： 包头稀土研究院 , 瑞科稀土冶金及功能材料国家工程研究中心有限公司
摘要： 本发明公开了一种骨架提供轴向磁场的带有二级微位移放大机构的促动器，包括：H型不导磁壳体、上端盖、下端盖、螺线管、组合体、二级微位移放大机构、输出杆。本发明采用了基于柔性铰链的二级放大，能够对原驱动器的位移进行了放大，有效地增加了驱动器的输出位移，在同等输出条件的前提下减小了驱动器的体积，使得驱动器小型化。
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公开(公告)号：CN111996505A
公开(公告)日：2020-11-27
申请号：CN202010661505.8
申请日：2020-07-10
申请人： 包头稀土研究院 , 瑞科稀土冶金及功能材料国家工程研究中心有限公司
IPC分类号： C23C14/35
摘要： 本发明公开了一种磁控溅射铁磁性靶材的装置，包括：阴极基座、周边永磁体、中心永磁体，周边永磁体、中心永磁体位于阴极基座的下部，周边永磁体位于中心永磁体外侧，还包括：耐高温绝缘保护罩、中心永磁柱、环状磁性靶材，耐高温绝缘保护罩、中心永磁柱、环状磁性靶材位于阴极基座上部，中心永磁柱位于耐高温绝缘保护罩内部，耐高温绝缘保护罩位于环状磁性靶材内侧。本发明改变了现有技术的磁路，使得磁场分布均匀合理，解决了由于铁磁性靶材高磁导率引起的表面磁场强度较小而无法正常磁控溅射的问题。
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公开(公告)号：CN110504861A
公开(公告)日：2019-11-26
申请号：CN201910715677.6
申请日：2019-08-05
申请人： 包头稀土研究院 , 瑞科稀土冶金及功能材料国家工程研究中心有限公司
摘要： 本发明公开了一种二级微位移放大机构，包括非对称放大单元，非对称放大单元用于将微位移放大；两个非对称放大单元通过柔性铰链相串接，两组串接后非对称放大单元的位置相反的并重叠布置；输入端、输出端分别通过柔性铰链连接非对称放大单元，输入端用于给非对称放大单元输入微位移，输出端用于输出放大后的位移；两个相接触的输入端固定连接，两个相接触的输出端固定连接。本发明还公开了一种二级微位移放大机构的放大方法。本发明能够实现更大的位移放大倍数，同时有效地避免了传统轴对称方式中对放大效果无效部分占用的空间。
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公开(公告)号：CN110473689A
公开(公告)日：2019-11-19
申请号：CN201910715683.1
申请日：2019-08-05
申请人： 包头稀土研究院 , 瑞科稀土冶金及功能材料国家工程研究中心有限公司
摘要： 本发明公开了一种提供轴向永磁磁场的螺线管，包括：支撑端面、螺线管本体、线圈；支撑端面设置在螺线管本体的两端，线圈设置在螺线管本体的外壁上，螺线管本体为管状结构，螺线管本体包括：导磁体和永磁体，导磁体和永磁体为环状结构，多个导磁体和永磁体交替间隔布置，并且在接触端面相连接。本发明在提供激励磁场的基础上，增加了一个恒定的永磁场，使相应的器件不用另行设计偏置磁场，有效的节省了器件的空间，使器件小型化。
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公开(公告)号：CN110492783B
公开(公告)日：2024-09-20
申请号：CN201910715691.6
申请日：2019-08-05
申请人： 包头稀土研究院 , 瑞科稀土冶金及功能材料国家工程研究中心有限公司
摘要： 本发明公开了一种外壳提供轴向磁场的带有二级微位移放大机构的促动器，包括：不导磁外壳、导磁框架、励磁线圈、组合体、二级微位移放大机构、输出杆、上端盖。本发明采用了基于柔性铰链的二级微位移放大机构，对原驱动器的位移进行了放大，有效地增加了驱动器的输出位移，在同等输出条件的前提下减小了驱动器的体积，使得驱动器小型化。
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公开(公告)号：CN110504863B
公开(公告)日：2022-06-21
申请号：CN201910715676.1
申请日：2019-08-05
申请人： 包头稀土研究院 , 瑞科稀土冶金及功能材料国家工程研究中心有限公司
摘要： 本发明公开了一种骨架提供轴向磁场的带有三级微位移放大机构的促动器，包括：H型不导磁壳体、上端盖、下端盖、螺线管、组合体、三级微位移放大机构、输出杆。本发明能够对原驱动器的位移进行放大，有效增加了驱动器的输出位移，在同等输出条件的前提下减小了驱动器的体积，使得驱动器小型化。
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公开(公告)号：CN110572075A
公开(公告)日：2019-12-13
申请号：CN201910715686.5
申请日：2019-08-05
申请人： 包头稀土研究院 , 瑞科稀土冶金及功能材料国家工程研究中心有限公司
摘要： 本发明公开了一种螺线管提供轴向永磁磁场的促动器，包括：壳体、上端盖、下端盖、螺线管、第一导磁体、磁致伸缩棒、第二导磁体、预压碟簧、顶杆；螺线管在轴向通孔形成轴向永磁磁场，上端盖和下端盖分别设置在与壳体的两端，构成外壳；螺线管设置在外壳的内部，第一导磁体、磁致伸缩棒、第二导磁体安装在螺线管的轴向通孔内，第一导磁体、第二导磁体位于磁致伸缩棒两端，预压碟簧安装在上端盖和顶杆之间，上端盖开有顶杆通孔；顶杆一端抵在第二导磁体上，另一端穿过预压碟簧从顶杆通孔伸出。本发明在提供激励磁场的基础上，增加了一个恒定的永磁场，使驱动器不用再行设计偏置磁场，有效的节省了器件的空间，使器件小型化。
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公开(公告)号：CN110492783A
公开(公告)日：2019-11-22
申请号：CN201910715691.6
申请日：2019-08-05
申请人： 包头稀土研究院 , 瑞科稀土冶金及功能材料国家工程研究中心有限公司
摘要： 本发明公开了一种外壳提供轴向磁场的带有二级微位移放大机构的促动器，包括：不导磁外壳、导磁框架、励磁线圈、组合体、二级微位移放大机构、输出杆、上端盖。本发明采用了基于柔性铰链的二级微位移放大机构，对原驱动器的位移进行了放大，有效地增加了驱动器的输出位移，在同等输出条件的前提下减小了驱动器的体积，使得驱动器小型化。
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