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公开(公告)号：CN118129979A
公开(公告)日：2024-06-04
申请号：CN202410457443.7
申请日：2024-04-16
Applicant: 北京东方计量测试研究所
IPC: G01L27/00
Abstract: 本发明涉及一种基于差分法的真空计校准装置及校准方法，校准装置包括校准室、第一流导元件、第一真空计、被校准真空计、差分管道、差分组件和供气检测组件，差分管道的三个端口分别用于与校准室、抽气管道和供气管道连接，差分组件设置在抽气管道上，包括第二真空计和第二流导元件，供气检测组件设置在供气管道上，包括供气检测真空计和第三流导元件。本发明，通过设置在校准室抽进气口上的差分组件，实现对进气流量的有效差分，将校准下限延伸到10‑7Pa，简化了校准装置的结构和操作方法，减小了装置的体积和重量。
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公开(公告)号：CN109519407A
公开(公告)日：2019-03-26
申请号：CN201811490232.4
申请日：2018-12-06
Applicant: 北京东方计量测试研究所
IPC: F04D27/00
Abstract: 本发明提供一种宽量程高精度分子泵压缩比测试装置及方法，该装置包括：前级泵、分子泵、测试罩、第一～第五真空规、第一～第四阀门、流量计和气源，其中前级泵与第四阀门连接，第四阀门分别于前级泵、第三阀门、第四和第五真空规及分子泵连接；第四和第五真空规连接在分子泵和第四阀门之间的管路处；分子泵的出气口与第四阀门连接，抽气口与测试罩连接，测试罩的测试口与分子泵抽气口连接。利用本发明的测试装置，解决了传统测量范围较小的问题，延伸了压力测量范围并且提高了测量精度。
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公开(公告)号：CN109404322A
公开(公告)日：2019-03-01
申请号：CN201811490227.3
申请日：2018-12-06
Applicant: 北京东方计量测试研究所
Abstract: 本发明提供了一种宽量程高精度分子泵抽速测试系统及方法。该测试系统包括干泵RP、分子泵TMP、测试罩VC1、第一真空规G1、第二真空规G2、第三真空规G3、第一真空阀门V1、第二真空阀门V2、流量计FM、气源和真空管道等。通过本发明的技术方案，测试系统的真空度测量范围达到10-1～10-7帕，测量不确定度小于10％。
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公开(公告)号：CN118566330A
公开(公告)日：2024-08-30
申请号：CN202410787824.1
申请日：2024-06-18
Applicant: 北京东方计量测试研究所
IPC: G01N27/623
Abstract: 本发明涉及一种基于质谱计比较法测量(10‑8～10‑11)m3/s分子流导的装置及方法，包括进气管路、比较管路、待测管路、质谱分析管路和抽真空管路。进气管路包括气源、与气源连接的第一阀门和第二阀门；比较管路包括第一稳压室、第一真空计、第三真空计和参考流导元件；待测管路包括第二稳压室、第二真空计、第四真空计、第五真空计和待测流导元件；质谱分析管路包括质谱分析室、限流元件、四极质谱计和第六真空计；抽真空管路包括第一分子泵、第二分子泵、第一干泵和第二干泵。本发明，利用四极质谱计的线性，通过已知相对较大分子流导值的流导元件作为参考标准，实现(10‑8～10‑11)m3/s的流导元件的分子流导值的测量。
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公开(公告)号：CN113310626A
公开(公告)日：2021-08-27
申请号：CN202110578312.0
申请日：2021-05-26
Applicant: 北京东方计量测试研究所
IPC: G01L27/00
Abstract: 本发明涉及一种真空计校准装置及校准方法，包括依次相连通的供气源、流量流量计、第一真空阀门、校准室、限流孔、第三阀真空阀、分子泵抽气机组、第四真空阀和前级泵，所述校准室具有赤道平面，所述赤道平面上开设有法兰接口分别连接有第一真空计、第二真空计和第二真空阀门，所述第二真空阀门的另一端分别与第三真空计、第五真空阀门、第六真空阀门、第七真空阀门相连接，所述第五真空阀门的另一端连接有真空室，第六真空阀门另一端连接有第四真空计，所述第七真空阀门的另一端与所述前级泵相连接，所述赤道平面上还设有校准接口用于连接待校准真空计。本发明的真空计校准装置校准操作方便，校准精度高。
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公开(公告)号：CN109459192B
公开(公告)日：2020-09-22
申请号：CN201811484865.4
申请日：2018-12-06
Applicant: 北京东方计量测试研究所
IPC: G01M3/20
Abstract: 本发明涉及一种基于比较法校准正压漏孔的分子流进样系统及控制方法，提出基于动态分子流进样方法和累积分子流进样方法相结合的示漏气体进样系统和方法，在漏孔泄漏的气体累积一段时间后，在一套比较法正压漏孔校准系统上、实现了动态比较和累积比较两种质谱分析方法的分子流进样，突破了比较法校准正压漏孔质谱分析进样的关键技术，并且解决了累积法条件下、正压漏孔校准过程中混合气体分子流进样和微量He气累积测量的技术难题。
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公开(公告)号：CN109269742A
公开(公告)日：2019-01-25
申请号：CN201811438437.8
申请日：2018-11-28
Applicant: 北京东方计量测试研究所
IPC: G01M3/28
Abstract: 本发明一种真空密封阀门漏率测试系统及方法，包括第一和第二真空泵组、检漏仪、真空腔室、真空阀门测试罩、压力计、标准漏孔、真空规、气源及第一至第七真空阀门，其中第一真空泵组通过第一真空阀门、检漏仪通过第二真空阀门分别连接真空腔室；真空腔室分别与真空规、第三第五真空阀门的一端连接；所述第五真空阀门的另一端连接标准漏孔；将被测真空阀门安装在真空阀门测试罩内，且被测真空阀门的一端与第三真空阀门另一端连接，及其另一端分别与第四真空阀门、压力计连接；气源通过第六真空阀门、第二真空泵组通第七真空阀门分别与真空阀门测试罩连接。本发明实现了真空阀门局部漏率和全漏率的定量测试，大大提高真空密封阀门漏率测量不确定度。
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公开(公告)号：CN117490783B
公开(公告)日：2025-01-17
申请号：CN202311352968.6
申请日：2023-10-18
Applicant: 北京东方计量测试研究所
Abstract: 本发明涉及一种下限为5×10‑18Pa·m3/s的流量计及其使用方法，所述标准气体流量计包括：分子流导取气模块，包括第一气瓶、第一阀门、第二阀门、第一真空室、第三阀门和第一高真空泵机组、第四阀门、第一标准流导元件、第五阀门、第一真空计和第二真空计；压力取气模块，包括第二气瓶、第八阀门、第七阀门、第六阀门、第三真空室、第九阀门和第二高真空泵机组、第五真空计和第六真空计；分子流导供气模块，包括第二真空室、第十阀门、第二标准流导元件、第十一阀门、第四真空室、第十二阀门、第三高真空泵机组、第十三阀门、第三真空计、第四真空计和第七真空计。本发明设备简单、成本低、操作方便，可将标准气体流量下限延伸至10‑18数量级。
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公开(公告)号：CN117490783A
公开(公告)日：2024-02-02
申请号：CN202311352968.6
申请日：2023-10-18
Applicant: 北京东方计量测试研究所
Abstract: 本发明涉及一种下限为5×10‑18Pa·m3/s的流量计及其使用方法，所述标准气体流量计包括：分子流导取气模块，包括第一气瓶、第一阀门、第二阀门、第一真空室、第三阀门和第一高真空泵机组、第四阀门、第一标准流导元件、第五阀门、第一真空计和第二真空计；压力取气模块，包括第二气瓶、第八阀门、第七阀门、第六阀门、第三真空室、第九阀门和第二高真空泵机组、第五真空计和第六真空计；分子流导供气模块，包括第二真空室、第十阀门、第二标准流导元件、第十一阀门、第四真空室、第十二阀门、第三高真空泵机组、第十三阀门、第三真空计、第四真空计和第七真空计。本发明设备简单、成本低、操作方便，可将标准气体流量下限延伸至10‑18数量级。
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公开(公告)号：CN113310626B
公开(公告)日：2022-08-19
申请号：CN202110578312.0
申请日：2021-05-26
Applicant: 北京东方计量测试研究所
IPC: G01L27/00
Abstract: 本发明涉及一种真空计校准装置及校准方法，包括依次相连通的供气源、流量流量计、第一真空阀门、校准室、限流孔、第三阀真空阀、分子泵抽气机组、第四真空阀和前级泵，所述校准室具有赤道平面，所述赤道平面上开设有法兰接口分别连接有第一真空计、第二真空计和第二真空阀门，所述第二真空阀门的另一端分别与第三真空计、第五真空阀门、第六真空阀门、第七真空阀门相连接，所述第五真空阀门的另一端连接有真空室，第六真空阀门另一端连接有第四真空计，所述第七真空阀门的另一端与所述前级泵相连接，所述赤道平面上还设有校准接口用于连接待校准真空计。本发明的真空计校准装置校准操作方便，校准精度高。
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