公开(公告)号：CN118486697A

公开(公告)日：2024-08-13

申请号：CN202410538211.4

申请日：2024-04-30

申请人： 北京京东方光电科技有限公司 ,  京东方科技集团股份有限公司

发明人： 邢东明 ,  郭慧杰 ,  李良杰 ,  贾鹏德 ,  贾大敏 ,  张鹏 ,  孙凯晨

IPC分类号： H01L27/146 ,  H01L27/12

摘要： 本发明公开了一种纹路识别基板及其制作方法，纹路识别基板包括：衬底、线路层、SiNx叠层和光电二极管。线路层位于衬底的一侧。SiNx叠层位于线路层背离衬底的一侧。光电二极管位于SiNx叠层背离线路层的一侧。光电二极管通过贯穿SiNx叠层的第一过孔与线路层的线路连接。其中沿远离衬底的方向，SiNx叠层中Si的质量分数具有先减小后增加的趋势。SiNx叠层的表面层的硅含量较高，膜质较为致密，从而可以减小SiNx叠层的背离衬底的一侧的表面缺陷，从而避免由于SiNx叠层的表面缺陷引起的后续形成在SiNx叠层之上的其他膜层的不良，提高产品良率。

公开(公告)号：CN117374094A

公开(公告)日：2024-01-09

申请号：CN202311396421.6

申请日：2023-10-25

申请人： 北京京东方光电科技有限公司 ,  京东方科技集团股份有限公司

发明人： 吴申康 ,  王震 ,  赵镇乾 ,  刘琨 ,  侯学成 ,  王凤涛 ,  马健 ,  张宇航 ,  侯斌斌 ,  连海龙 ,  李良杰 ,  胡晓洋 ,  贾大敏 ,  孙凯晨 ,  纪全增 ,  郭慧杰 ,  孙凤英 ,  肖立友 ,  张永胜 ,  王志敏 ,  李文龙

IPC分类号： H01L27/146

摘要： 本发明提出了平板探测器及检测装置，平板探测器包括多个间隔设置的像素，每个像素包括：衬底；第一电极，第一电极设置在衬底的表面上且为透明电极；光电转换层，光电转换层设置在第一电极背离衬底的表面上，光电转换层与衬底之间仅具有第一电极；第二电极，第二电极设置在光电转换层背离第一电极的一侧；薄膜晶体管，薄膜晶体管包括源极和漏极，第二电极与至少部分源极接触连接。由此，本申请提出的平板探测器，光电转换层与衬底之间仅具有第一电极，提高了光电转换层与衬底之间膜层的平整性，提高了光电转换层的平整性，降低了光电转换层发生特性异常的概率，提高了平板探测器的良率。