-
公开(公告)号：CN118204641A
公开(公告)日：2024-06-18
申请号：CN202410476225.8
申请日：2024-04-19
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: B23K26/362 , B23K26/70
Abstract: 本发明提供一种基于高速激光雕刻技术的柔性热流陀螺的制作方法，该方法使用一种新的工艺流程，新的流程是先用高速激光雕刻机以聚酰亚胺薄膜为掩膜，雕刻出热流陀螺的电极部分敏感丝结构，再将这层掩膜贴在相应的聚酰亚胺基底上，进行溅射。本发明采用高速激光雕刻技术，这种技术高速激光雕刻技术是一种非接触性加工技术，它使用激光束直接照射到工件表面，而无需接触式掩膜或光刻胶等材料。本申请降低了制造过程中的污染风险和机械损耗，简化了加工过程，减少了材料和时间成本。
-
公开(公告)号：CN114034880A
公开(公告)日：2022-02-11
申请号：CN202111387670.X
申请日：2021-11-22
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: G01P5/08
Abstract: 本发明公开了一种动热源式双轴微机械角速度传感器及其加工方法，该双轴陀螺包括基底层、敏感层和盖板，敏感层含有中间加热腔和中间检测腔，敏感层的上表面设置有全方位振子加热器(动热源)和两对热敏电阻；全方位振子加热器(动热源)通过六个完全对称的半圆形支撑梁悬置在敏感层的中心位置；加热器的通电方式为周期式交流电；盖板上刻蚀有凹槽，且与敏感层的上表面密闭连接。本发明可实现双轴角速度的测量，灵敏度高，响应速度快，具有结构应力小、体积小、重量轻、易于智能化和集成化等特点，符合传感器朝着微小型、综合型和智能型的发展方向。同时它具有结构和加工工艺非常简单，成本极低，可靠性高，优秀的抗振动和冲击特性。
-
公开(公告)号：CN113985070A
公开(公告)日：2022-01-28
申请号：CN202111410352.0
申请日：2021-11-25
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: G01P15/12
Abstract: 本申请公开了一种全方位动热源摆式三轴微机械加速度计及其加工方法，该加速度计包括上敏感层、下敏感层和盖板，敏感层的中心位置设置有一加热器，通过六个完全对称的半圆形支撑梁悬置在敏感层的中心位置，下方是圆形的中间加热腔；下敏感层含有呈正交分布的四个热敏电阻，下方是矩形的中间检测腔；加热器和热敏电阻的通电方式均为恒流电；盖板上刻蚀有凹槽，且与敏感层的上表面密闭连接。本发明可实现三轴加速度的检测，测量范围广，灵敏度高，响应速度快。同时它具有加工工艺简单，结构紧密，结构应力小，可靠性高，易于智能化和集成化，符合传感器朝着微小型、综合型和智能型的发展方向。
-
公开(公告)号：CN111595324A
公开(公告)日：2020-08-28
申请号：CN202010584723.6
申请日：2020-06-24
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: G01C19/58
Abstract: 本发明公开了一种推挽流式微机械Z轴薄膜陀螺，包括敏感层和盖板，敏感层的上表面设置有呈矩形结构的一对加热器和一对热敏电阻，敏感层的下表面刻蚀有一长方体凹槽；加热器的通电方式为周期式推挽式通电；盖板上刻蚀有凹槽，且与敏感层的上表面密闭连接。本发明继承了微型热流陀螺无固体敏感质量块，抗振动和冲击等优点。本发明采用的工艺与集成电路工艺兼容，很容易将驱动电路和提取电路制作在同一个芯片上，具有高集成度的潜力。由于其敏感质量不含固体质量块，较其他工作原理的微型惯性传感器，具有抗大冲击，结构简单，成本极低，可靠性高的优势。
-
公开(公告)号：CN104457727B
公开(公告)日：2018-02-16
申请号：CN201310413653.8
申请日：2013-09-12
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: G01C19/58
Abstract: 本发明微机械压电射流陀螺，属于通过微机械加工工艺制作的由压电泵产生射流的陀螺仪。用于机器人、头盔、摄像机等微型载体的稳定系统。本发明由敏感元件、底座、外壳、信号处理电路、绝缘子、垫片组成，电源和信号经底座上玻璃灌装的绝缘子接线引出。敏感元件包括压电陶瓷微泵、射流腔体和Pt薄膜热敏电阻，它是由上下两个硅板键合而成，在上硅板上有振膜、泵室、射流腔体和Pt薄膜热敏电阻，下硅板具有与上硅板对称的结构，但没有Pt薄膜热敏电阻，在下硅板的表面被电极，并与上硅板键合构成密闭的射流腔体。信号处理电路包括压电泵驱动电路、电桥电路、放大电路、滤波电路和补偿电路。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105043372A
公开(公告)日：2015-11-11
申请号：CN201510364057.4
申请日：2015-06-26
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: G01C19/58
Abstract: 本发明涉及一种微型三自由度开放式气流陀螺，包括三自由度开放式角速度敏感元件和与其实现电气连接的PCB电路板，该三自由度开放式角速度敏感元件包括上盖板、上硅板、下硅板和底板，通过层状的敏感元件结构形成开放式的气流网络结构，气流网络包括压电陶瓷振子下面的泵腔、入口敏感室和出口敏感室；上硅板的导流孔的横截面积大于泵腔腔口的横截面积但小于合流口的横截面积；PCB电路板的压电泵驱动电路向上盖板上的压电陶瓷振子提供激励电压，下硅板上的三对平行热线分别作为PCB电路板的三个惠斯登电桥的两个臂。本发明能够提高气流陀螺的灵敏度，并大幅减小体积和功耗。
-
公开(公告)号：CN104601140A
公开(公告)日：2015-05-06
申请号：CN201310534435.X
申请日：2013-11-04
Applicant: 北京信息科技大学
Abstract: 本发明涉及一种多电极石英力敏谐振器的设计、结构及制作。本发明在同一石英晶体基片上不同的位置设置多对电极，每对电极可构成一个独立的谐振器，分别与各自的激励电路连接时各谐振器可同时独立地工作，彼此之间互不干扰。当在基片的边缘位置沿直径方向给基片施加径向力作用时，不同位置的谐振器表现出不同的力敏特性；选择一定的径向力作用方位，利用不同位置的谐振器间的力敏特性差异，通过共模抑制及频率信号融合技术，可得到一种能抑制温度干扰并具有良好力敏特性的多电极石英力敏谐振器。这种多电极石英力敏谐振器可作为力敏元件用于姿态检测、惯性导航、形变监控等军用装备及民用设施检测控制领域。
-
公开(公告)号：CN102980567A
公开(公告)日：2013-03-20
申请号：CN201210481077.6
申请日：2012-11-23
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: G01C19/58
Abstract: 本发明一种小型气流式陀螺，该陀螺包括壳体，所述壳体两端通过端盖封闭，壳体内设置有测试腔体，所述测试腔体上开设有进气喷嘴和出气口，测试腔体内靠近出气口处设置有热敏元件，壳体与测试腔体之间设置有连接所述进气喷嘴和所述出气口的气体循环通道，测试腔体的进气喷嘴外侧设置有将气体压入测试腔体的压电泵，测试腔体、所述气体循环通道和所述压电泵构成气体的封闭循环，所述测试腔体为径向中心对称，测试腔体自所述进气喷嘴至出气口依次包括用于对气流束扩散角度导向的导向段、供气流束顺畅流动的流动段和通过平滑斜面使气流束汇集至出气口的汇流段，所述热敏元件设置在所述汇流段末端。提高测量精度和陀螺工作的稳定性。
-
公开(公告)号：CN113985056B
公开(公告)日：2025-04-18
申请号：CN202111389930.7
申请日：2021-11-22
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: G01P5/08
Abstract: 本申请公开了一种动热源Z轴微机械角速度传感器及其加工方法，该Z轴角速度传感器包括基底层、敏感层和盖板，敏感层含有中间加热腔和中间检测腔，敏感层的上表面设置有全方位振子加热器(动热源)和一对热敏电阻；全方位振子加热器(动热源)通过六个完全对称的半圆形支撑梁悬置在敏感层的中心位置；加热器的通电方式为周期式交流电；盖板上刻蚀有凹槽，且与敏感层的上表面密闭连接。本发明可实现Z轴角速度的测量，灵敏度高，响应速度快，具有结构紧密、体积小、重量轻、易于智能化和集成化等特点，符合传感器朝着微小型、综合型和智能型的发展方向。
-
公开(公告)号：CN113985057B
公开(公告)日：2025-02-11
申请号：CN202111389942.X
申请日：2021-11-22
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: G01P5/08
Abstract: 本发明公开了一种动热源式全方位微机械角速度传感器及其加工方法，该陀螺包括基底层、上敏感层、下敏感层和盖板；上敏感层的中心位置设置有全方位振子加热器(动热源)，通过八个完全对称的半圆形支撑梁悬置在敏感层的中心位置，下方是圆形的中间加热腔；下敏感层含有呈正八边形分布的八个热敏电阻，下方是矩形的中间检测腔；上敏感层、下敏感层键合构成敏感层；加热器的通电方式为周期式交流电；盖板上刻蚀有凹槽，且与敏感层的上表面密闭连接。本发明可实现角速度全方位上的测量，不受方位角的限制，量程大、测量误差小，检测准确度高，具有结构紧密、易于智能化和集成化等特点。同时它具有成本极低，可靠性高，优秀的抗振动和抗冲击性能。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
112
records
(took 0.037 seconds)
