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公开(公告)号：CN113241946B
公开(公告)日：2022-04-15
申请号：CN202110432839.2
申请日：2021-04-21
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明提供一种直流/直流转换电路和直流/直流转换器，涉及集成电路技术领域。所述电路包括：输出单元、整流单元、检测控制单元；输出单元接收输入电压，输出第一输出电压至整流单元和所述检测控制单元；整流单元对第一输出电压进行整流滤波，输出第二输出电压，以及产生第一信号并传输至检测控制单元；检测控制单元接收第一信号、第一输出电压，产生控制信号，以控制直流/直流转换电路工作于加速充电模式，或者工作于正常充电模式，或者工作于休眠模式。本发明实施例的直流/直流转换电路，在降低输出电压纹波的同时，缩短直流/直流转换器的输出电压的建立时间，具有较高的实用性价值。
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公开(公告)号：CN113137959A
公开(公告)日：2021-07-20
申请号：CN202011005131.0
申请日：2020-09-23
Applicant: 北京大学
IPC: G01C19/5747
Abstract: 本发明涉及一种微机械音叉陀螺，它包括衬底、在衬底上固定陀螺可动结构的锚点、驱动框架结构、惯性质量块、敏感框架结构、连接驱动框架结构和惯性质量块的弹性梁、连接惯性质量块与敏感框架结构的弹性梁、连接敏感框架结构与锚点结构的弹性梁、连接驱动框架结构与锚点结构的弹性梁、连接驱动框架结构的弹性梁、检测电极单元和驱动电极单元；所述检测电极单元由非可动电极、固定非可动电极的锚点、连接于陀螺可动结构的可动电极组成；所述驱动电极单元由非可动电极、固定非可动电极的锚点、连接于陀螺可动结构的可动电极。本发明由于采用轴对称结构并将可动结构锚点至于一条对称轴上，可以抑制陀螺工作模态间的机械耦合，并使陀螺性能对环境温度变化和加工误差不敏感。本发明可以广泛应用于各种领域中物体转动角速度的检测中。
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公开(公告)号：CN111380561A
公开(公告)日：2020-07-07
申请号：CN201811617310.2
申请日：2018-12-28
Applicant: 北京大学 , 北京微元时代科技有限公司
IPC: G01C25/00 , G01C19/5776
Abstract: 本发明的目的是提供一种用于微机电陀螺标度因数的温度补偿方法，该方法通过测量开环检测模式下的影响微机电陀螺标度因数的主要参数，将其组成多元参数组，将各个参数进行函数加权对标度因数的全温变化曲线进行多元函数拟合，从而实现对陀螺标度因数的精确补偿。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103288034A
公开(公告)日：2013-09-11
申请号：CN201210050886.1
申请日：2012-03-01
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明涉及一种低驱动电压MEMS梳齿式离面静电驱动器结构及其制备方法，本发明的驱动器结构包括固定电极、可动电极、锚点、组合扭转梁、驱动输出部分和信号引出焊盘；所述固定电极为固定在基片上的梳齿式电极；所述可动电极为连接到所述驱动输出部分的梳齿式电极；所述组合扭转梁，包括两组折叠扭转梁和一个支架横梁，悬浮固定在基片上。本发明通过采用扭转组合梁，将角位移转化为线位移，不但可以实现低驱动电压下的大行程离面运动，也可以抑制静电拉入效应的影响，提高驱动器的可靠性。本发明工艺过程简单，与多种类型的MEMS器件工艺兼容，可以实现与其他微光机电系统集成。
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公开(公告)号：CN101719434B
公开(公告)日：2012-05-23
申请号：CN200910241709.X
申请日：2009-12-08
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明涉及一种微机械加速度锁存开关，它包括衬底，及相对于衬底x轴对称的多个锚点、触头、挠性梁和惯性质量块；各锚点固定连接在衬底上；触头包括动触头、两分别位于动触头上方两侧的顶触头、两分别位于动触头下方两侧的侧触头；动触头的顶部呈凸出的圆形弧面，两顶触头分别与动触头的圆形弧面对应，设置呈内凹的圆形弧面；挠性梁包括顶触头挠性梁、动触头挠性梁、侧触头挠性梁和四检测挠性梁，各顶触头挠性梁的两端分别连接锚点和顶触头；各动触头挠性梁两端分别连接动触头的一侧和锚点；每一侧触头挠性梁两端分别连接锚点和一侧触头；每一检测挠性梁两端分别连接惯性质量块的一侧和锚点。本发明结构简单，接触可靠性高，可以广泛应用在微机电系统领域中。
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公开(公告)号：CN102381681A
公开(公告)日：2012-03-21
申请号：CN201110387776.X
申请日：2011-11-29
Applicant: 北京大学
IPC: B81C1/00 , H01L21/762
Abstract: 本发明涉及一种微机械结构与集成电路单片集成的加工方法，包括以下步骤：将SOI基片的器件层划分成集成电路区、MEMS结构区和隔离区。在集成电路区加工集成电路，设置跨过隔离区的电极。由SOI基片的衬底层一侧，依次去除与MEMS结构区和隔离区位置对应的衬底层和埋氧层，形成背腔。由背腔一侧，去除的隔离区处器件层的单晶硅，完成隔离槽的加工。对SOI基片的表面进行光刻，定义MEMS结构图形，对MEMS结构区上的介质层进行刻蚀，得到MEMS结构掩模。然后根据MEMS结构掩模，对器件层进行硅各向异性刻蚀，直至穿通器件层，完成MEMS结构的加工。本发明满足集成电路代工厂生产的前提条件，工艺难度较低，成品质量较高。
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公开(公告)号：CN1948906B
公开(公告)日：2011-03-23
申请号：CN200610114485.2
申请日：2006-11-10
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明涉及一种电容式全解耦水平轴微机械陀螺，其特征在于：它包括玻璃衬底，驱动电容、驱动反馈电容、检测电容、驱动质量块、不对称质量块和检测质量块；驱动质量块位于中央，驱动质量块的两端分别通过横向设置的驱动模态弹性梁连接固定在玻璃衬底上的锚点；驱动电容和驱动反馈电容的可动电极连接在驱动质量块上，驱动电容和驱动反馈电容的固定电极固定在玻璃衬底上；不对称质量块外侧的两端分别通过横向设置的驱动模态弹性梁连接检测质量块，不对称质量块内侧的两端分别通过竖向设置的检测模态弹性梁连接驱动质量块；检测电容的可动电极固定在检测质量块的两侧，检测电容的固定电极固定在玻璃衬底上；检测质量块的两端分别通过竖向设置的检测模态弹性梁连接固定在玻璃衬底上的锚点。本发明具备双解耦结构，能够很好的抑制寄生效应，降低漂移；且具有良好的线性度和偏轴灵敏度。
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公开(公告)号：CN101290395B
公开(公告)日：2010-11-10
申请号：CN200810104013.8
申请日：2008-04-14
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明涉及一种微型多功能光学器件及其制备方法，其特征在于：它包括固定电极、可动电极、支撑梁、锚点、玻璃衬底、光反射模块和光纤槽；所述光反射模块的头部呈三角形，正对所述反射模块的头部设置一输入光纤槽，与所述三角形光反射模块的两侧反射面对应，与所述输出光纤槽垂直相对设置有两个输出光纤槽，所述输入、输出光纤槽内设置有输入、输出光纤。本发明利用固定电极和可动电极组成的梳齿型静电驱动器移动光反射模块来实现可调分光功能和光开关功能，同时利用固定电极和可动电极组成的平板型静电驱动器扭转光反射模块来实现光衰减功能。本发明的制备方工艺简单，与多种类型的MEMS器件工艺兼容，可用于实现功能更强大的微光集成系统中。
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