公开(公告)号：CN116990593A

公开(公告)日：2023-11-03

申请号：CN202310965219.4

申请日：2023-08-02

Applicant: 北京工业大学

Inventor： 周紫琪 ,  林健 ,  夏志东 ,  于航 ,  侯宁 ,  满昊

IPC: G01R27/26 ,  G01D5/24

Abstract: 本发明公开了一种微孔阵列式平板电容传感器，包括：第一导电电极层，第二导电电极层和不导电介电层；所述不导电介电层设置在所述第一导电电极层和所述第二导电电极层之间；所述第一导电电极层和所述第二导电电极层靠近所述不导电介电层的表面分别设置有第一微孔阵列和第二微孔阵列，所述不导电介电层靠近所述第一导电电极层和所述第二导电电极层的表面分别设置有第三微孔阵列和第四微孔阵列。本发明的微结构设计精度高，可在添加碳纤维含量减少的同时，大大提升了柔性平板电容传感器的灵敏度，结构实现了可重复性，批量生产易于进行。

公开(公告)号：CN116990593B

公开(公告)日：2024-06-14

申请号：CN202310965219.4

申请日：2023-08-02

Applicant: 北京工业大学

Inventor： 周紫琪 ,  林健 ,  夏志东 ,  于航 ,  侯宁 ,  满昊

IPC: G01R27/26 ,  G01D5/24

Abstract: 本发明公开了一种微孔阵列式平板电容传感器，包括：第一导电电极层，第二导电电极层和不导电介电层；所述不导电介电层设置在所述第一导电电极层和所述第二导电电极层之间；所述第一导电电极层和所述第二导电电极层靠近所述不导电介电层的表面分别设置有第一微孔阵列和第二微孔阵列，所述不导电介电层靠近所述第一导电电极层和所述第二导电电极层的表面分别设置有第三微孔阵列和第四微孔阵列。本发明的微结构设计精度高，可在添加碳纤维含量减少的同时，大大提升了柔性平板电容传感器的灵敏度，结构实现了可重复性，批量生产易于进行。