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公开(公告)号:CN102288639A
公开(公告)日:2011-12-21
申请号:CN201110197798.X
申请日:2011-07-14
申请人: 北京工业大学
IPC分类号: G01N25/20
摘要: 功率半导体LED热阻快速批量筛选装置和方法属于半导体LED及相关PN结器件热阻考核和筛选技术领域。该发明主要应用于快速、非破坏性确定器件热阻过大的方法和装置。本发明的主要发明点在于:设计了可容纳百颗LED的夹具,保证每颗LED的热学接触状况均匀一致,且稳定可靠;通过针台结构,实现LED电学接触便捷、可靠;利用程序控制的继电器方式,实现批量LED扫描测试的快速切换。本发明可以对测量LED的个数实现较好的扩展性。
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公开(公告)号:CN102288639B
公开(公告)日:2013-01-09
申请号:CN201110197798.X
申请日:2011-07-14
申请人: 北京工业大学
IPC分类号: G01N25/20
摘要: 功率半导体LED热阻快速批量筛选装置和方法属于半导体LED及相关PN结器件热阻考核和筛选技术领域。该发明主要应用于快速、非破坏性确定器件热阻过大的方法和装置。本发明的主要发明点在于:设计了可容纳百颗LED的夹具,保证每颗LED的热学接触状况均匀一致,且稳定可靠;通过针台结构,实现LED电学接触便捷、可靠;利用程序控制的继电器方式,实现批量LED扫描测试的快速切换。本发明可以对测量LED的个数实现较好的扩展性。
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公开(公告)号:CN1743864A
公开(公告)日:2006-03-08
申请号:CN200510112676.0
申请日:2005-10-14
申请人: 北京工业大学
摘要: 本发明属半导体器件测量领域。目前温升和热阻测量操作复杂,周期长,有的有破坏性。本发明装置:被测器件(401)放在恒温平台(403)上;计算机(100)通过接口(200)接采集器(205);(205)分三路:一路接三路开关(303),接到被测器件(401);二路接采样电阻(501)后接三路开关(303),再接测试电流源(201);(201)的一端接接口(200),一端接电流开关(301);三路接采样电阻(502)后接三路开关(303),再接工作电流源(202);(202)的一端接接口(200),一端接电流控制开关(301);(301)输入两端接测试电流源(201)和工作电流源(202);输出端接参考负载(402)和被测器件(401),控制端接时序发生器(203);采集器(204)一端接接口(200),一端接到高速截取放大器(302);高速截取放大器(302)接器件(401)。本发明非破坏性,可测瞬态加热响应曲线,从而分辨出器件热阻构成。
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公开(公告)号:CN1216413C
公开(公告)日:2005-08-24
申请号:CN03157526.9
申请日:2003-09-24
申请人: 北京工业大学
摘要: 微电子器件可靠性快速评价方法,属于微电子技术领域。本发明的步骤为:1)先测量出微电子器件焦耳热温升;2)测量该微电子器件的失效敏感参数P在选定温度范围内分别在不加和加电应力条件下随温度Tj变化的数据,并分别绘制曲线且拟合成直线;3)取3组微电子器件,在三种不同电应力的条件下,进行温度斜坡试验,得到每组微电子器件的平均失效激活能、平均失效时间、平均失效温度范围;4)计算出公式:中的系数A、m、n;5)计算失效敏感参数P所承受的电热应力的能量;6)计算微电子器件在V、j和Tj分别为正常工作条件下的数值时的寿命τ。本发明可使试验周期缩短、所需试验样品少,大大降低了成本,同时能够给出单样品的寿命。
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公开(公告)号:CN1138217A
公开(公告)日:1996-12-18
申请号:CN95105950.5
申请日:1995-06-15
申请人: 北京工业大学
IPC分类号: H01L29/43
摘要: 一种高电迁徙阻力的多层金属化结构及其设计方法属于VLSI,ULSI及微波器件金属化结构的制造技术领域,其特征在于:在离SiO2绝缘层欧姆接触窗口的一个回流长度处在底层导电层Al-1%Si上开有一个尽可能小的缝隙,并给出了临界回流长度的计算公式。它利用了与电迁徙现象同时共存的回流效应来彻底消除电迁徙现象,以便从根本上解决多层金属化结构的电迁徙失效问题,从而提高了VLSI,ULSI及微波器件的寿命。
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公开(公告)号:CN100374872C
公开(公告)日:2008-03-12
申请号:CN200510112676.0
申请日:2005-10-14
申请人: 北京工业大学
摘要: 本发明属半导体器件测量领域。目前温升和热阻测量操作复杂,周期长,有的有破坏性。本发明装置:被测器件(401)放在恒温平台(403)上;计算机(100)通过接口(200)接采集器(205);(205)分三路:一路接三路开关(303),接到被测器件(401);二路接采样电阻(501)后接三路开关(303),再接测试电流源(201);(201)的一端接接口(200),一端接电流开关(301);三路接采样电阻(502)后接三路开关(303),再接工作电流源(202);(202)的一端接接口(200),一端接电流控制开关(301);(301)输入两端接测试电流源(201)和工作电流源(202);输出端接参考负载(402)和被测器件(401),控制端接时序发生器(203);采集器(204)一端接接口(200),一端接到高速截取放大器(302);高速截取放大器(302)接器件(401)。本发明非破坏性,可测瞬态加热响应曲线,从而分辨出器件热阻构成。
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公开(公告)号:CN1492492A
公开(公告)日:2004-04-28
申请号:CN03157526.9
申请日:2003-09-24
申请人: 北京工业大学
摘要: 微电子器件可靠性快速评价方法,属于微电子技术领域。本发明的步骤为:1)先测量出微电子器件焦耳热温升;2)测量该微电子器件的失效敏感参数P在选定温度范围内分别在不加和加电应力条件下随温度Tj变化的数据,并分别绘制曲线且拟合成直线;3)取3组微电子器件,在三种不同电应力的条件下,进行温度斜坡试验,得到每组微电子器件的平均失效激活能、平均失效时间、平均失效温度范围;4)计算出公式:中的系数A、m、n;5)计算失效敏感参数P所承受的电热应力的能量;6)计算微电子器件在V、j和Tj分别为正常工作条件下的数值时的寿命τ。本发明可使试验周期缩短、所需试验样品少,大大降低了成本,同时能够给出单样品的寿命。
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公开(公告)号:CN202159116U
公开(公告)日:2012-03-07
申请号:CN201120249012.X
申请日:2011-07-14
申请人: 北京工业大学
IPC分类号: G01R31/26
摘要: 功率半导体LED热阻快速批量筛选装置属于半导体LED及相关PN结器件热阻考核和筛选技术领域。该装置从上至下包括:热学接触板,被测器件夹具板,针台;热学接触板,包括上下两层:上板材、下板材,在下板材上钻有需要测试LED数量的孔;被测器件夹具板,在上面制备出多个LED出光端透镜大小的圆孔,每个圆孔两侧直径端对称向外方向各刻出一方形豁口,豁口的侧壁有上下连通的覆铜层两个电极,LED出光端朝下,管座端朝上;且LED管座端对准上述小的圆柱体;针台,在与每个LED的两电极对应的位置下面,固结两只朝上的探针,探针下方设有弹簧,并且探针外引出LED的电极,并通过针台上的引线,接入针台的插针接口。
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公开(公告)号:CN2901333Y
公开(公告)日:2007-05-16
申请号:CN200520128067.X
申请日:2005-10-14
申请人: 北京工业大学
摘要: 本实用新型属半导体器件测量领域。目前温升和热阻测量操作复杂,周期长,有的有破坏性。本装置:被测器件(401)放在恒温平台(403)上;计算机(100)通过接口(200)接采集器(205);(205)分三路:一路接三路开关(303),接到被测器件(401);二路接采样电阻(501)后接三路开关(303),再接测试电流源(201);(201)的一端接接口(200),一端接电流开关(301);三路接采样电阻(502)后接三路开关(303),再接工作电流源(202);(202)的一端接接口(200),一端接电流控制开关(301);(301)输入两端接测试电流源(201)和工作电流源(202);输出端接参考负载(402)和被测器件(401),控制端接时序发生器(203);采集器(204)一端接接口(200),一端接到高速截取放大器(302);高速截取放大器(302)接器件(401)。本实用新型非破坏性,可测瞬态加热响应曲线,从而分辨器件热阻构成。
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