公开(公告)号：CN106435519A

公开(公告)日：2017-02-22

申请号：CN201610829162.5

申请日：2016-09-18

Applicant: 北京工业大学

Inventor： 马捷 ,  黄新壮 ,  魏建忠 ,  王元元

IPC: C23C16/14 ,  C23C16/455 ,  C23C16/458 ,  C23C16/04

CPC classification number: C23C16/14 ,  C23C16/045 ,  C23C16/45587 ,  C23C16/458

Abstract: 一种提高CVD法在长管内壁制备钨涂层均匀性的方法，属于涂层的制备方法领域。方法包括：将长管基体加热到实验温度并通入氢气，保温30～60分钟，沉积过程中保持长管基体以1～20转/分钟旋转，然后按比例通入六氟化钨气体；沉积进行到一半时间时通过改变阀门的开关从而改变混合气体在长管基体内的通入方向，将长管基体内的出气端变为气体的进气端，进气端变为出气端，反应完成后即可得到厚度均匀的钨涂层。通过本方法制备出的钨涂层厚度均匀性提高，较相同条件下自然沉积出的钨涂层厚度差降低34.1％，相同厚度钨涂层的覆盖长度增加，故本操作方法有操作简单、便捷、投资较省、价廉易得等特点。

公开(公告)号：CN106521451A

公开(公告)日：2017-03-22

申请号：CN201610931098.1

申请日：2016-10-31

Applicant: 北京工业大学

Inventor： 马捷 ,  王元元 ,  魏建忠 ,  黄新壮

IPC: C23C16/14 ,  C23C16/44 ,  B22F1/02

CPC classification number: C23C16/14 ,  B22F1/025 ,  C23C16/4417

Abstract: 一种金刚石粉体表面镀钨的方法，属于镀膜技术领域。采用化学气相沉积镀钨法，属于镀膜技术领域。对金刚石粉体表面进行“除有机物→除油→粗化→烘干”处理；将烘干后的金刚石粉体均匀的平铺于加热平台上，然后将平台放于加热炉中，在氢气气氛下将温度加热到550℃～700℃后保温10～60min；在沉积550℃～700℃温度范围，利用六氟化钨和氢气之间的还原反应在金刚石粉体表面形成钨镀层；缓慢降至室温。经化学气相沉积镀覆后金刚石粉体表面能形成均匀致密的镀覆层，且镀层杂质含量少，物相为α-W；镀覆钨的金刚石粉末经热压烧结后比加入不镀钨的金刚石试样抗弯强度提高38.6％，且压块热膨胀系数要比加入普通金刚石有所降低。