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公开(公告)号：CN118362150A
公开(公告)日：2024-07-19
申请号：CN202410339930.3
申请日：2024-03-25
申请人： 北京时代民芯科技有限公司 , 北京微电子技术研究所
IPC分类号： G01C25/00
摘要： 本发明属于测控技术领域，具体涉及了一种基于微机电陀螺的低耦合测控系统及方法，旨在解决现有技术中存在着陀螺仪的检测不够准确，精度不够的问题。本发明包括：非交叠时钟驱动检测电路将直流高压施加到所述质量块；所述质量块接收到直流高压后，第一模态检测电极和第二模态检测电极产生电荷变化；第一模态信号处理电路用于在检测时间第一模态检测电极的电荷变化并在非检测时间施加第一驱动信号到第一模态驱动电极；第二模态信号处理电路用于在检测时间检测第二模态检测电极的电荷变化并在非检测时间施加第二驱动信号到第二模态驱动电极。本发明解决了驱动回路和检测回路之间的电耦合影响陀螺输出的零偏稳定性问题，提高了陀螺的零偏稳定性。
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公开(公告)号：CN118980365A
公开(公告)日：2024-11-19
申请号：CN202411039596.6
申请日：2024-07-31
申请人： 北京时代民芯科技有限公司 , 北京微电子技术研究所
IPC分类号： G01C19/5656 , G01C19/5663 , B81B5/00
摘要： 本发明属于陀螺仪技术领域，具体涉及了一种基于后装配工艺的高灵敏度谐振式环形陀螺结构，旨在解决现有的陀螺仪容易受环境温度变化和振动干扰影响的问题。本发明包括：所述陀螺结构包括核心部分和边缘部分；所述核心部分包括：第一支撑锚点结构和环形谐振子结构；所述边缘部分，包括等间隔在所述环形谐振子结构外周围成圆形的n个电极和n/2个后装配功能块；每个所述外周电极与环形谐振子结构形成平行板电容器；所述外周电极包括第一类电极和第二类电极，第一类电极外周连接后装配功能块。本发明通过后装配工艺突破深宽比极限对电容间隙的限制，实现极小电容间隙，增大了有用输出信号，提高了角速度输出信号的信噪比。
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公开(公告)号：CN118980364A
公开(公告)日：2024-11-19
申请号：CN202411039593.2
申请日：2024-07-31
申请人： 北京时代民芯科技有限公司 , 北京微电子技术研究所
IPC分类号： G01C19/5656 , G01C19/5663 , B81B7/02
摘要： 本发明属于陀螺仪技术领域，具体涉及了一种兼顾高优值和高灵敏度的微机电碟形陀螺，旨在解决现有的微机电碟形陀螺无法兼顾优值与灵敏度性能不足的问题。本发明包括：支撑锚点结构、同心环结构、弹性框架结构、辐条结构、差分驱动电极、差分检测电极和调整电极；支撑锚点结构通过辐条结构与最内层同心环结构连接；辐条结构设置于非最外层的每个同心环结构内侧，同一个同心环结构上的8个辐条结构等间隔；弹性框架结构设置于非最外层的每个同心环结构的外侧，弹性框架结构的中心对准辐条结构；差分驱动电极和差分检测电极均设置在弹性框架结构中；调整电极设置在最外层同心环结构外周，并与最外层同心环结构构成平行板电容器。
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公开(公告)号：CN118954416A
公开(公告)日：2024-11-15
申请号：CN202411038054.7
申请日：2024-07-31
申请人： 北京时代民芯科技有限公司 , 北京微电子技术研究所
IPC分类号： B81B5/00 , B81B7/00 , B81C1/00 , B81C3/00 , G01C19/5656 , G01C19/5663
摘要： 本发明属于陀螺仪领域，具体涉及了一种高优值微机电碟形陀螺及圆片级真空封装方法，旨在解决现有的陀螺仪结构优值不足，零偏变化量过高，零偏稳定性不足的问题。本发明包括：支撑锚点结构和围成同心圆的多个调整电极；所述支撑锚点结构与多个调整电极之间包括多层的同心环结构；每个同心环结构内侧，均通过连接辐条、弹性梁结构和支撑辐条与内层结构连接；其中，第1层的同心环结构的内层结构为支撑锚点结构，非第1层同心环结构的内层结构为第n‑1层同心环结构，n表示同心环结构的层数，弹性梁结构与其外侧的同心环结构层数相同；所述支撑锚点结构、同心环结构、弹性梁结构和多个调整电极围成的圆形共用同一个对称中心。
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