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公开(公告)号：CN117598663A
公开(公告)日：2024-02-27
申请号：CN202311586181.6
申请日：2023-11-24
申请人： 北京智芯传感科技有限公司 , 北京协同创新研究院
摘要： 本发明提供了一种力传感器，包括MEMS力感应芯片、开口封外壳、金属球和柔性电路板；其中MEMS力感应芯片内置于开口封外壳内，力敏感区外露于开口位置；柔性电路板上分布有弹簧结构和焊盘，焊盘位于柔性电路板中心位置，与弹簧结构相连接；金属球通过焊锡与焊盘连接。施加外力时，柔性电路板弹簧结构拉伸，中心焊盘带动金属球发生位移变化，金属球与MEMS力敏感区接触引起敏感区内电阻发生变化，最终导致输出电压的变化。采用柔性弹簧结构加金属球组合的方式实现力的传导，避免了上述情况的发生，最重要地，在保证用户舒适性地基础上，提升了监测信号地测试精度。
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公开(公告)号：CN112212926A
公开(公告)日：2021-01-12
申请号：CN202010789129.0
申请日：2020-08-07
申请人： 北京协同创新研究院
摘要： 本发明公开了一种基于多孔节流与MEMS压力传感器的流量测量方法，涉及流量计技术领域。所述流量测量方法基于流量测量装置，流量测量装置包括多孔平衡流量计、导压管、MEMS压力传感器、信号采集单元和信号处理单元；所述多孔平衡流量计包括前直管段、后直管段和多孔节流板，通过法兰盘和螺栓将三者连接起来；多孔节流板上开设螺栓孔、函数孔和导压孔，多孔节流板的一侧面布置MEMS压力传感器和信号采集单元，另一侧面布置导压管。被测介质从前直管段流入，经多孔节流板流至后直管段，MEMS压力传感器检测前直管段与后直管段的压力差，信号采集单元采集压力差信号，并传递给信号处理单元，信号处理单元将压力差信号转化成流量信号。
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公开(公告)号：CN112212926B
公开(公告)日：2022-04-08
申请号：CN202010789129.0
申请日：2020-08-07
申请人： 北京协同创新研究院
摘要： 本发明公开了一种基于多孔节流与MEMS压力传感器的流量测量方法，涉及流量计技术领域。所述流量测量方法基于流量测量装置，流量测量装置包括多孔平衡流量计、导压管、MEMS压力传感器、信号采集单元和信号处理单元；所述多孔平衡流量计包括前直管段、后直管段和多孔节流板，通过法兰盘和螺栓将三者连接起来；多孔节流板上开设螺栓孔、函数孔和导压孔，多孔节流板的一侧面布置MEMS压力传感器和信号采集单元，另一侧面布置导压管。被测介质从前直管段流入，经多孔节流板流至后直管段，MEMS压力传感器检测前直管段与后直管段的压力差，信号采集单元采集压力差信号，并传递给信号处理单元，信号处理单元将压力差信号转化成流量信号。
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公开(公告)号：CN117007219A
公开(公告)日：2023-11-07
申请号：CN202310698679.5
申请日：2023-06-13
申请人： 北京智芯传感科技有限公司
摘要： 本发明提供了一种倒装式力传感器阵列，包括阵列式MEMS力传感器和柔性电路板。阵列式MEMS力传感器由m×n个MEMS力传感器组成，其中m≥1，n≥1；MEMS力传感器，选用十字梁结构，由力感应薄膜、惠斯通敏感电桥、框架和电极组成，力感应薄膜位于十字梁中心位置，惠斯通敏感电桥由四个电阻条组成，电阻条方式一致，分别位于十字梁应力最大区域内。四个电极由硅片刻蚀而成，分布在框架的四个直角位置；柔性电路板上分布m×n个MEMS力传感器封装焊盘，每个封装焊盘包括四个pad和一个凸点，凸点位于封装焊盘的中心位置。被测力通过柔性板上金属凸点直接传递至MEMS力传感器敏感区，实现压力的精确测量。
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公开(公告)号：CN116576927A
公开(公告)日：2023-08-11
申请号：CN202310523740.2
申请日：2023-05-10
申请人： 北京智芯传感科技有限公司
摘要： 本发明提供了一种挡板自切换式流量计，包括切换挡板、分流管、流量模组Ⅰ和流量模组Ⅱ；切换挡板由活动件、固定件、轴承组成，活动件与固定件通过轴承连接，分流管是口径相同的三通管，切换挡板内置于分流管其中一个口径内，分流管与主管路、流量模组Ⅰ和流量模组Ⅱ相连接；流量模组Ⅰ流量模组Ⅱ与由管道、节流件、MEMS压力传感器和信号接口构成。MEMS压力传感器分别置于节流件的中心位置，感应管道内的压力变化，并将压力差信号转换为流量信号；两个节流件上分布孔径大小不同的通孔，防止压损过大，提升MEMS压力传感器的分辨力。与现有的流量计相比，具有压损小、功耗低、精度高和体积小的优势。
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公开(公告)号：CN116576927B
公开(公告)日：2024-03-22
申请号：CN202310523740.2
申请日：2023-05-10
申请人： 北京智芯传感科技有限公司
摘要： 本发明提供了一种挡板自切换式流量计，包括切换挡板、分流管、流量模组Ⅰ和流量模组Ⅱ；切换挡板由活动件、固定件、轴承组成，活动件与固定件通过轴承连接，分流管是口径相同的三通管，切换挡板内置于分流管其中一个口径内，分流管与主管路、流量模组Ⅰ和流量模组Ⅱ相连接；流量模组Ⅰ流量模组Ⅱ与由管道、节流件、MEMS压力传感器和信号接口构成。MEMS压力传感器分别置于节流件的中心位置，感应管道内的压力变化，并将压力差信号转换为流量信号；两个节流件上分布孔径大小不同的通孔，防止压损过大，提升MEMS压力传感器的分辨力。与现有的流量计相比，具有压损小、功耗低、精度高和体积小的优势。
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公开(公告)号：CN114199323B
公开(公告)日：2022-11-29
申请号：CN202111503329.6
申请日：2021-12-09
申请人： 北京智芯传感科技有限公司
摘要： 本发明提供了一种单片集成MEMS差压流量计及其制备方法。本发明的单片集成MEMS差压流量计包括：MEMS差压芯片，节流器和电极信号接口，其中MEMS差压芯片的内部集成应力感应薄膜，压阻式应力敏感电桥和应力腔；节流器与MEMS差压芯片为一体，节流器上分布有多个函数孔，流体通过函数孔时，使节流器前后段产生应力差。本发明的单片集成MEMS差压流量计，在同一硅片上同时实现了MEMS差压芯片、节流器、电极信号接口的设计及制备，与传统的差压流量计相比，既避免了MEMS差压芯片与节流器集成所带来的噪声和尺寸的影响，又有效利用了差压流量计原有的测量优势，使器件具有集成度高、成本低、体积小的特点。
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公开(公告)号：CN114199323A
公开(公告)日：2022-03-18
申请号：CN202111503329.6
申请日：2021-12-09
申请人： 北京智芯传感科技有限公司
摘要： 本发明提供了一种单片集成MEMS差压流量计及其制备方法。本发明的单片集成MEMS差压流量计包括：MEMS差压芯片，节流器和电极信号接口，其中MEMS差压芯片的内部集成应力感应薄膜，压阻式应力敏感电桥和应力腔；节流器与MEMS差压芯片为一体，节流器上分布有多个函数孔，流体通过函数孔时，使节流器前后段产生应力差。本发明的单片集成MEMS差压流量计，在同一硅片上同时实现了MEMS差压芯片、节流器、电极信号接口的设计及制备，与传统的差压流量计相比，既避免了MEMS差压芯片与节流器集成所带来的噪声和尺寸的影响，又有效利用了差压流量计原有的测量优势，使器件具有集成度高、成本低、体积小的特点。
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公开(公告)号：CN116499633A
公开(公告)日：2023-07-28
申请号：CN202310350168.4
申请日：2023-04-04
申请人： 北京智芯传感科技有限公司
摘要： 本发明提供了一种高精度超低压传感器，包括压力传感器核心芯片，专用集成电路，电路板和封装结构。压力传感器核心芯片和专用集成电路集成于同一块电路板；封装结构包含外壳、挡板和密封圈。外壳上端设有两个气嘴。电路板和挡板与外壳形成腔体A和腔体B，两个气嘴分别与两个腔体连通，压力传感器核心芯片置于腔体A内，专用集成电路置于腔体B内。密封圈确保腔体的密封性；导压孔分布在挡板上，将两个密封腔体连通，既不影响流体的流速，同时能产生压力差，为压力传感器提供压力敏感信号，提高传感器的分辨力；电路板内部开设长通孔，确保流体流量的稳定运行。与现有超低压传感器相比，功耗低、成本低、精度高和易集成。
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公开(公告)号：CN214121293U
公开(公告)日：2021-09-03
申请号：CN202022726801.X
申请日：2020-11-23
申请人： 北京协同创新研究院
摘要： 本实用新型涉及一种多孔平衡流量计的取压装置，多孔平衡流量计的取压装置包括多孔节流器，多孔节流器安装于被测介质所在管道内，多孔节流器的右侧面为第一侧面，多孔节流器的左侧面为第二侧面；在多孔节流器第一侧面设有已封装的MEMS压力传感器和压力‑流量换算模块，信号传输线用于连接MEMS压力传感器和差压‑流量换算模块，在多孔节流器的第二侧面的几何中心处设有导压管，所述多孔节流器上设有多个函数孔，多孔节流器的几何中心处设有一个贯穿的导压孔。本实用新型提供的多孔平衡流量计的取压装置具有体积小，成本低，安装便捷、结构简单且可测小差压等优点，适用于多种介质的差压测量。
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