公开(公告)号：CN118011175A

公开(公告)日：2024-05-10

申请号：CN202410420863.8

申请日：2024-04-09

申请人： 北京智芯微电子科技有限公司 ,  国网山西省电力公司电力科学研究院

发明人： 陈燕宁 ,  刘芳 ,  宋斌斌 ,  王凯 ,  赵扬 ,  朱亚星 ,  左阿惠 ,  许玉洁 ,  孟庆萌 ,  常泽洲 ,  齐宇

IPC分类号： G01R31/26

摘要： 本发明提供一种晶体管器件缺陷分析方法及系统，涉及半导体器件检测领域。分析方法包括：搭建缺陷检测平台，并检测缺陷检测样品的初始瞬态电容；其中，缺陷检测样品包括在衬底上形成的多个晶体管器件，晶体管器件具有金属/氧化物/半导体层叠结构，每一晶体管器件的栅极通过梳状导电结构连接至第一引脚，缺陷检测样品的衬底连接至第二引脚；搭建电磁干扰平台，并对缺陷检测样品进行电磁干扰；检测损伤瞬态电容；基于初始瞬态电容确定初始缺陷能级和初始缺陷浓度，基于损伤瞬态电容确定损伤缺陷能级和损伤缺陷浓度；确定缺陷检测样品的电磁损伤程度。通过本发明提供的分析方法，能够探测晶体管器件的微观缺陷，准确测量晶体管器件的缺陷能级。

公开(公告)号：CN118011175B

公开(公告)日：2024-06-28

申请号：CN202410420863.8

申请日：2024-04-09

申请人： 北京智芯微电子科技有限公司 ,  国网山西省电力公司电力科学研究院

发明人： 陈燕宁 ,  刘芳 ,  宋斌斌 ,  王凯 ,  赵扬 ,  朱亚星 ,  左阿惠 ,  许玉洁 ,  孟庆萌 ,  常泽洲 ,  齐宇

IPC分类号： G01R31/26

摘要： 本发明提供一种晶体管器件缺陷分析方法及系统，涉及半导体器件检测领域。分析方法包括：搭建缺陷检测平台，并检测缺陷检测样品的初始瞬态电容；其中，缺陷检测样品包括在衬底上形成的多个晶体管器件，晶体管器件具有金属/氧化物/半导体层叠结构，每一晶体管器件的栅极通过梳状导电结构连接至第一引脚，缺陷检测样品的衬底连接至第二引脚；搭建电磁干扰平台，并对缺陷检测样品进行电磁干扰；检测损伤瞬态电容；基于初始瞬态电容确定初始缺陷能级和初始缺陷浓度，基于损伤瞬态电容确定损伤缺陷能级和损伤缺陷浓度；确定缺陷检测样品的电磁损伤程度。通过本发明提供的分析方法，能够探测晶体管器件的微观缺陷，准确测量晶体管器件的缺陷能级。

公开(公告)号：CN118519039A

公开(公告)日：2024-08-20

申请号：CN202410626182.7

申请日：2024-05-20

申请人： 北京智芯微电子科技有限公司

发明人： 王乐红 ,  宋海飞 ,  赵天挺 ,  原义栋 ,  陈捷 ,  赵增侠 ,  闪俊杰 ,  贾国强 ,  宋亚楠 ,  于亚运 ,  李红飞 ,  左阿惠

IPC分类号： G01R31/367 ,  G01R31/374 ,  G01R31/387

摘要： 本发明公开了一种电池的荷电状态估计方法、装置及电子设备，通过将当前时刻输出的电池内部温度和电池荷电状态，分别反馈为下一时刻的电池荷电状态估计过程中的输入状态量和电池内部温度估计过程中的输入状态量，对各自模型更新后，进行估计计算。电池内部温度和电池荷电状态两者之间为相互影响，相互关联的，结合了电池内部温度对荷电状态估计的影响，利用自适应扩展卡尔曼滤波算法对电池荷电状态进行估算，实现电池荷电状态和内部温度的耦合估计，提高了荷电状态估计结果的准确性。

公开(公告)号：CN118502201A

公开(公告)日：2024-08-16

申请号：CN202410485289.4

申请日：2024-04-22

申请人： 北京智芯微电子科技有限公司

发明人： 连亚军 ,  安铁雷 ,  王凯 ,  吴波 ,  刘芳 ,  陈燕宁 ,  赵东艳 ,  李学森 ,  左阿惠

IPC分类号： G03F7/20 ,  G03F7/16 ,  G06F30/12

摘要： 本发明涉及半导体工艺技术领域，提供一种光刻胶均匀覆盖晶圆表面的仿真方法，包括：在仿真工具中输入沉积光刻胶和硬掩膜的命令，在晶圆表面形成均匀厚度的第一光刻胶和第一掩膜版；利用仿真工具中的photo命令，在第一掩膜版表面形成具有预设图形窗口的第二光刻胶第二掩膜版；输入刻蚀命令，在第二掩膜版的保护下对第一掩膜版进行刻蚀，在第一掩膜版形成刻蚀窗口；输入刻蚀命令，在第一掩膜版的保护下沿第一掩膜版的刻蚀窗口对第一光刻胶进行刻蚀；输入刻蚀命令，刻蚀掉第一光刻胶表面剩余的第一掩膜版，得到均匀覆盖晶圆表面的光刻胶。本发明解决了仿真工具中photo命令下涂覆光刻胶的高度不能随晶圆表面的高度变化而变化的问题。

公开(公告)号：CN118263480A

公开(公告)日：2024-06-28

申请号：CN202410450285.2

申请日：2024-04-15

申请人： 北京智芯微电子科技有限公司

发明人： 王乐红 ,  宋海飞 ,  陈捷 ,  贾国强 ,  闪俊杰 ,  宋亚楠 ,  李红飞 ,  于亚运 ,  汪近能 ,  原义栋 ,  左阿惠

IPC分类号： H01M8/04313 ,  H01M8/04664 ,  H01M8/0432

摘要： 本公开涉及电池检测技术领域，具体涉及一种电池安全阀状态实时监测系统、方法及电子设备，所述系统包括：电解液喷出检测装置，用于检测电池的电解液喷出；温度传感器，用于检测环境温度和电池的表面温度；电流电压传感器，用于检测电池的工作电流、开路电压和工作电压；控制单元，用于根据所述温度传感器和所述电流电压传感器的检测结果确定电池内部温度最优估计值，根据所述第一检测部与所述第二检测部之间的电阻和所述电池内部温度最优估计值确定电池安全阀状态。本公开能够实现电解液喷出与电池内部温度同时在线监测，并根据电解液检测情况和电池内部真实温度检测情况两个条件共同判断安全阀的状态，减少误检，提高安全阀状态检测准确度。