-
公开(公告)号：CN118092547B
公开(公告)日：2024-08-30
申请号：CN202410487816.5
申请日：2024-04-23
Applicant: 北京智芯微电子科技有限公司 , 国网浙江省电力有限公司电力科学研究院 , 国家电网有限公司
IPC: G05D23/30 , H01L21/683 , H01L21/67 , H01J37/32
Abstract: 本发明提供一种静电卡盘加热控制装置及静电卡盘，涉及半导体技术领域。控制装置包括：控制模块、脉冲宽度调制信号输出模块和脉冲宽度调制隔离驱动模块，脉冲宽度调制信号输出模块包括：信号转化模块，用于确定计数中数和计数周期；寄存器组，第1至n个寄存器与n个加热单元对应，用于存储计数中数，第n+1个寄存器用于存储计数周期；根据计数周期循环计数的计数器；n个比较器，在每一计数周期根据当前计数与计数中数的比较结果生成脉冲宽度调制信号。脉冲宽度调制隔离驱动模块用于发出脉冲宽度调制信号。通过本发明提供的装置，能够单独控制加热单元，保证静电卡盘加热均匀性，实现晶圆整体均热性，提高半导体制造工艺良率。
-
公开(公告)号：CN118092547A
公开(公告)日：2024-05-28
申请号：CN202410487816.5
申请日：2024-04-23
Applicant: 北京智芯微电子科技有限公司 , 国网浙江省电力有限公司电力科学研究院 , 国家电网有限公司
IPC: G05D23/30 , H01L21/683 , H01L21/67 , H01J37/32
Abstract: 本发明提供一种静电卡盘加热控制装置及静电卡盘，涉及半导体技术领域。控制装置包括：控制模块、脉冲宽度调制信号输出模块和脉冲宽度调制隔离驱动模块，脉冲宽度调制信号输出模块包括：信号转化模块，用于确定计数中数和计数周期；寄存器组，第1至n个寄存器与n个加热单元对应，用于存储计数中数，第n+1个寄存器用于存储计数周期；根据计数周期循环计数的计数器；n个比较器，在每一计数周期根据当前计数与计数中数的比较结果生成脉冲宽度调制信号。脉冲宽度调制隔离驱动模块用于发出脉冲宽度调制信号。通过本发明提供的装置，能够单独控制加热单元，保证静电卡盘加热均匀性，实现晶圆整体均热性，提高半导体制造工艺良率。
-
公开(公告)号：CN118194777B
公开(公告)日：2024-08-30
申请号：CN202410601261.2
申请日：2024-05-15
Applicant: 北京智芯微电子科技有限公司 , 国网浙江省电力有限公司电力科学研究院 , 国家电网有限公司
IPC: G06F30/31 , G06F30/39 , G06F111/20
Abstract: 本发明提供一种版图移植方法、装置、存储介质及终端设备，涉及版图设计领域，移植方法包括：对第一工艺的版图元素的名称与第二工艺的版图元素的名称进行配对，得到元素名称对；从第一版图文件中分别提取器件元素和辅助器件元素的器件描述格式文件，以及器件元素、辅助器件元素和连接件元素的坐标参数；确定第一工艺与第二工艺的尺寸比例，基于尺寸比例和元素名称对，对第一版图文件的器件元素和辅助器件元素的器件描述格式文件进行替换，对器件元素、辅助器件元素和连接件元素的坐标参数进行替换，得到初始版图文件；对初始版图文件进行验证，得到最终版图文件。通过本发明提供的版图移植方法，能够提高版图移植效率，缩短制造周期。
-
公开(公告)号：CN118194777A
公开(公告)日：2024-06-14
申请号：CN202410601261.2
申请日：2024-05-15
Applicant: 北京智芯微电子科技有限公司 , 国网浙江省电力有限公司电力科学研究院 , 国家电网有限公司
IPC: G06F30/31 , G06F30/39 , G06F111/20
Abstract: 本发明提供一种版图移植方法、装置、存储介质及终端设备，涉及版图设计领域，移植方法包括：对第一工艺的版图元素的名称与第二工艺的版图元素的名称进行配对，得到元素名称对；从第一版图文件中分别提取器件元素和辅助器件元素的器件描述格式文件，以及器件元素、辅助器件元素和连接件元素的坐标参数；确定第一工艺与第二工艺的尺寸比例，基于尺寸比例和元素名称对，对第一版图文件的器件元素和辅助器件元素的器件描述格式文件进行替换，对器件元素、辅助器件元素和连接件元素的坐标参数进行替换，得到初始版图文件；对初始版图文件进行验证，得到最终版图文件。通过本发明提供的版图移植方法，能够提高版图移植效率，缩短制造周期。
-
公开(公告)号：CN119482357A
公开(公告)日：2025-02-18
申请号：CN202411359374.2
申请日：2024-09-27
Applicant: 国家电网有限公司 , 中国电力科学研究院有限公司 , 国网智能电网研究院有限公司 , 国网电力科学研究院有限公司 , 中电普瑞电力工程有限公司 , 国网浙江省电力有限公司电力科学研究院
Abstract: 本发明提供了一种柔直系统的暂态冲击平抑控制方法、系统、设备和介质，柔直系统的暂态冲击平抑控制方法通过换流器中每相上下桥臂修正后的调制波指数，确定换流器中每个子模块最终的触发信号，使换流器子模块的平均运行电压降低，可以保证在换流器发生功率送出故障时，换流器中的盈余功率降低，使耗能装置吸收盈余功率实现故障穿越所需的容量需求降低，从而降低柔直系统的过压水平，避免柔直系统形成暂态冲击，有利于降低柔直系统的运行成本。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN118801453A
公开(公告)日：2024-10-18
申请号：CN202410747796.0
申请日：2024-06-11
Applicant: 中电普瑞电力工程有限公司 , 长沙理工大学 , 国网电力科学研究院有限公司 , 国网浙江省电力有限公司电力科学研究院 , 国家电网有限公司
Abstract: 本发明提供一种大规模风电柔直接入送受端交流故障暂态过压抑制方法，涉及电力电网技术领域。本发明通过检测新能源输送系统的传输数据，基于传输数据，对送端交流侧和受端交流侧两种故障类型进行判断，当确定发生受端交流侧故障时，在新能源输送系统的直流侧投入电流耗能装置，降低新能源输送系统中直流侧输送至交流侧的有功功率。当确定发生送端交流侧故障时，调整新能源输送系统中无功补偿装置的工作参数，减少换流站注入交流侧的无功功率。如此风电经柔直孤岛系统面临的交流电网短路故障情况下，降低受端交流侧的有功功率，减少送端交流侧的无功功率，保证故障时新能源输送系统的稳定性，提高故障处理的动态响应能力。
-
公开(公告)号：CN109557429A
公开(公告)日：2019-04-02
申请号：CN201811320158.1
申请日：2018-11-07
Applicant: 国网浙江省电力有限公司电力科学研究院 , 国家电网有限公司
Inventor： 王异凡 , 王一帆 , 龚金龙 , 刘江明 , 孙正竹 , 马涛 , 夏晓波 , 杜赟 , 楼钢 , 徐翀 , 朱亮 , 毛永铭 , 黄继来 , 周迅 , 盛骏 , 吴胥阳 , 吴尊东 , 汪桢毅 , 饶海伟
IPC: G01R31/12
Abstract: 本发明公开了一种基于改进小波阈值去噪的GIS局部放电故障检测方法。本发明的方法包括以下步骤：将特高频传感器检测到的数据进行小波变换，选用dB4母小波对传感器检测数据进行4层分解，得到各尺度下的小波系数；小波分解系数阈值量化，阈值选定后，去除小于阈值的小波系数，将大于阈值的小波系数进行阈值函数处理，进而得到阈值函数处理后的各层系数；通过小波逆变换将处理后的各层系数进行信号重构，从而实现小波去噪。本发明与传统的软、硬阈值降噪算法相比，降噪后不仅进一步提高了信噪比，而且降低了方差，使得处理后的信号波形更为逼近原始局部放电信号，有利于后续进行放电缺陷类型的识别。
-
公开(公告)号：CN109581258A
公开(公告)日：2019-04-05
申请号：CN201811324511.3
申请日：2018-11-08
Applicant: 国网浙江省电力有限公司电力科学研究院 , 国家电网有限公司
IPC: G01R35/00
Abstract: 本发明公开了一种镜面-单锥标准脉冲场复现系统及方法。本发明的镜面-单锥标准脉冲场复现系统，包括镜面-单锥子系统、位移量监控-自动调整子系统、馈源-射频子系统和软件控制子系统；所述的馈源-射频子系统，包括脉冲信号源、示波器、阻抗变换器以及同轴电缆，通过同轴电缆把脉冲信号源与阻抗变换器连接，阻抗变换器作为馈源使用；所述的软件控制子系统，用于控制脉冲信号源和示波器，并且采集位移监控装置的数据；当锥尖相对于镜面的位移量超过设定范围时，软件控制子系统控制自动调整机构对锥体角度进行微调，减小锥尖与镜面之间的变形量。本发明确保标准脉冲场所依赖的几何外形不变，具有实现方式简单、成本低等优点。
-
公开(公告)号：CN109581258B
公开(公告)日：2020-12-18
申请号：CN201811324511.3
申请日：2018-11-08
Applicant: 国网浙江省电力有限公司电力科学研究院 , 国家电网有限公司
IPC: G01R35/00
Abstract: 本发明公开了一种镜面‑单锥标准脉冲场复现系统及方法。本发明的镜面‑单锥标准脉冲场复现系统，包括镜面‑单锥子系统、位移量监控‑自动调整子系统、馈源‑射频子系统和软件控制子系统；所述的馈源‑射频子系统，包括脉冲信号源、示波器、阻抗变换器以及同轴电缆，通过同轴电缆把脉冲信号源与阻抗变换器连接，阻抗变换器作为馈源使用；所述的软件控制子系统，用于控制脉冲信号源和示波器，并且采集位移监控装置的数据；当锥尖相对于镜面的位移量超过设定范围时，软件控制子系统控制自动调整机构对锥体角度进行微调，减小锥尖与镜面之间的变形量。本发明确保标准脉冲场所依赖的几何外形不变，具有实现方式简单、成本低等优点。
-
公开(公告)号：CN109557429B
公开(公告)日：2021-08-27
申请号：CN201811320158.1
申请日：2018-11-07
Applicant: 国网浙江省电力有限公司电力科学研究院 , 国家电网有限公司
Inventor： 王异凡 , 王一帆 , 龚金龙 , 刘江明 , 孙正竹 , 马涛 , 夏晓波 , 杜赟 , 楼钢 , 徐翀 , 朱亮 , 毛永铭 , 黄继来 , 周迅 , 盛骏 , 吴胥阳 , 吴尊东 , 汪桢毅 , 饶海伟
IPC: G01R31/12
Abstract: 本发明公开了一种基于改进小波阈值去噪的GIS局部放电故障检测方法。本发明的方法包括以下步骤：将特高频传感器检测到的数据进行小波变换，选用dB4母小波对传感器检测数据进行4层分解，得到各尺度下的小波系数；小波分解系数阈值量化，阈值选定后，去除小于阈值的小波系数，将大于阈值的小波系数进行阈值函数处理，进而得到阈值函数处理后的各层系数；通过小波逆变换将处理后的各层系数进行信号重构，从而实现小波去噪。本发明与传统的软、硬阈值降噪算法相比，降噪后不仅进一步提高了信噪比，而且降低了方差，使得处理后的信号波形更为逼近原始局部放电信号，有利于后续进行放电缺陷类型的识别。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
72
records
(took 0.075 seconds)
