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公开(公告)号：CN109185107B
公开(公告)日：2019-08-02
申请号：CN201811301553.5
申请日：2018-11-02
Applicant: 北京机械设备研究所
Abstract: 本发明涉及一种集成微泵微阀的液态金属驱动控制系统，属于液态金属驱动系统技术领域，用以解决现有液态金属的驱动方式中，压力驱动难以实现体积小型化、电磁泵驱动中液态金属流动管道尺寸较大且无法实现液态金属的电学阻断作用等技术问题。该液态金属驱动控制系统包括液态金属储液池、柔性微流道、集成微泵以及集成微阀；液态金属储液池通过柔性微流道依次与集成微泵、集成微阀连通；集成微泵用于驱动液态金属在柔性微流道内流动；集成微阀用于控制液态金属在柔性微流道中的电学导通与阻断；柔性微流道的宽度和高度为μm‑mm级。该系统用于实现液态金属在微流道结构中的高精度流动驱动控制与物理电学隔断，进而实现对微结构形态的动态重构。
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公开(公告)号：CN109374023A
公开(公告)日：2019-02-22
申请号：CN201811250816.4
申请日：2018-10-25
Applicant: 北京机械设备研究所
IPC: G01D5/12 , H01L21/8234
Abstract: 本发明涉及一种柔性可拉伸式传感器的制备方法，属于传感器制备技术领域，解决了现有柔性可拉伸式传感器易损坏、探测结果不准确、电路设计不合理的问题。本发明公开的制备方法包括如下步骤：制备韧性基材层一；制备M×N个传感模块排列形成的M×N探测阵列，以及传输导线；制备柔性可拉伸式传感器的可拉伸部分和不可拉伸部分；将所述可拉伸部分和不可拉伸部分进行转移，贴合至事先制备的柔性基材结构上，获得柔性可拉伸式传感器。使用时，柔性可拉伸式传感器通过可拉伸部分实现宏观的拉伸功能，不影响不可拉伸部分的探测功能。通过不可拉伸部分的结构设计，能够避免传感模块在拉伸过程中发生电学性能变差，使得其读出数值稳定、可靠、灵敏度高。
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公开(公告)号：CN110371920B
公开(公告)日：2023-09-08
申请号：CN201910631525.8
申请日：2019-07-12
Applicant: 北京机械设备研究所
IPC: B81B7/02 , B81C1/00 , G01N21/3504
Abstract: 本申请涉及一种抑制NDIR气体传感器振动敏感性的方法及装置，属于传感器技术领域，该方法包括：在硬质基底上刻蚀微槽将待柔性化的功能单元离散化；在所述微槽内填充柔性材料，形成离散化的所述功能单元之间的柔性物理连接；通过背面的深刻蚀将所述微槽下方多余的硬质基底材料去除，形成由柔性材料连接的柔性结构。实现了NDIR中的各个功能单元的柔性化集成，在不依赖外部隔振系统的条件下提升NDIR气体传感器的振动环境适应性。
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公开(公告)号：CN109341727B
公开(公告)日：2021-11-02
申请号：CN201811250818.3
申请日：2018-10-25
Applicant: 北京机械设备研究所
IPC: G01D5/12
Abstract: 本发明涉及一种柔性可拉伸式传感器，属于传感器技术领域，解决了现有柔性可拉伸式传感器易损坏、探测结果不准确、电路设计不合理的问题。本发明公开的柔性可拉伸式传感器包括M×N个探测单元排列形成的M×N阵列；其中，每个所述探测单元包括可拉伸部分和不可拉伸部分；每个探测单元的传感模块设置于不可拉伸部分，通过可拉伸部分设置的导线与相邻探测单元的传感模块连接。使用时，通过可拉伸部分实现宏观的拉伸功能，同时不影响不可拉伸部分的探测功能。通过不可拉伸部分的结构设计，能够避免传感模块被拉伸导致电学性能变差，使得传感器读出数值稳定、可靠。并且，利用阵列化设计，使得整个系统结构尺寸较小，控制电路简单，且成本低廉。
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公开(公告)号：CN110371920A
公开(公告)日：2019-10-25
申请号：CN201910631525.8
申请日：2019-07-12
Applicant: 北京机械设备研究所
IPC: B81B7/02 , B81C1/00 , G01N21/3504
Abstract: 本申请涉及一种抑制NDIR气体传感器振动敏感性的方法及装置，属于传感器技术领域，该方法包括：在硬质基底上刻蚀微槽将待柔性化的功能单元离散化；在所述微槽内填充柔性材料，形成离散化的所述功能单元之间的柔性物理连接；通过背面的深刻蚀将所述微槽下方多余的硬质基底材料去除，形成由柔性材料连接的柔性结构。实现了NDIR中的各个功能单元的柔性化集成，在不依赖外部隔振系统的条件下提升NDIR气体传感器的振动环境适应性。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109341727A
公开(公告)日：2019-02-15
申请号：CN201811250818.3
申请日：2018-10-25
Applicant: 北京机械设备研究所
IPC: G01D5/12
Abstract: 本发明涉及一种柔性可拉伸式传感器，属于传感器技术领域，解决了现有柔性可拉伸式传感器易损坏、探测结果不准确、电路设计不合理的问题。本发明公开的柔性可拉伸式传感器包括M×N个探测单元排列形成的M×N阵列；其中，每个所述探测单元包括可拉伸部分和不可拉伸部分；每个探测单元的传感模块设置于不可拉伸部分，通过可拉伸部分设置的导线与相邻探测单元的传感模块连接。使用时，通过可拉伸部分实现宏观的拉伸功能，同时不影响不可拉伸部分的探测功能。通过不可拉伸部分的结构设计，能够避免传感模块被拉伸导致电学性能变差，使得传感器读出数值稳定、可靠。并且，利用阵列化设计，使得整个系统结构尺寸较小，控制电路简单，且成本低廉。
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公开(公告)号：CN109374023B
公开(公告)日：2021-11-02
申请号：CN201811250816.4
申请日：2018-10-25
Applicant: 北京机械设备研究所
IPC: G01D5/12 , H01L21/8234
Abstract: 本发明涉及一种柔性可拉伸式传感器的制备方法，属于传感器制备技术领域，解决了现有柔性可拉伸式传感器易损坏、探测结果不准确、电路设计不合理的问题。本发明公开的制备方法包括如下步骤：制备韧性基材层一；制备M×N个传感模块排列形成的M×N探测阵列，以及传输导线；制备柔性可拉伸式传感器的可拉伸部分和不可拉伸部分；将所述可拉伸部分和不可拉伸部分进行转移，贴合至事先制备的柔性基材结构上，获得柔性可拉伸式传感器。使用时，柔性可拉伸式传感器通过可拉伸部分实现宏观的拉伸功能，不影响不可拉伸部分的探测功能。通过不可拉伸部分的结构设计，能够避免传感模块在拉伸过程中发生电学性能变差，使得其读出数值稳定、可靠、灵敏度高。
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公开(公告)号：CN110361423A
公开(公告)日：2019-10-22
申请号：CN201910630446.5
申请日：2019-07-12
Applicant: 北京机械设备研究所
IPC: G01N27/12
Abstract: 本申请涉及一种MEMS气体传感器、提高MEMS气体传感器稳定性的方法和装置，属于传感器技术领域，所述MEMS气体传感器包括：基于N型掺杂半导体材料的敏感单元和基于P型掺杂半导体材料的敏感单元中的至少一种，以及，基于P型本征半导体材料的敏感单元；所述基于N型掺杂半导体材料的敏感单元用于检测氧化性气体；所述基于P型掺杂半导体材料的敏感单元用于检测还原性气体；所述基于P型本征半导体材料的敏感单元的电气特性稳定，用于修正所述基于N型掺杂半导体材料的敏感单元和/或所述基于P型掺杂半导体材料的敏感单元的电性漂移。有效提高长期稳定性，延长传感器的使用寿命。
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公开(公告)号：CN115728358A
公开(公告)日：2023-03-03
申请号：CN202111046390.2
申请日：2021-09-02
Applicant: 北京机械设备研究所
IPC: G01N27/06
Abstract: 本发明涉及一种海水电导率检测装置及检测方法，属于传感器技术领域，解决了现有技术中传统海水电导率传感器检测精度差、寿命短、操作不方便的问题。本发明包括压力传感器、电导率传感器、温度传感器、多参数数据处理单元和海水检测箱，所述压力传感器设于海水检测箱外，且位于海水内，所述电导率传感器、温度传感器和多参数数据处理单元设于所述海水检测箱内，所述压力传感器、电导率传感器和温度传感器与所述多参数数据处理单元电连接。本发明去除了压力、温度对海水电导率的影响，提高了检测精度。
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