多模复合式上变频振动式环境能量采集器

    公开(公告)号:CN110289786A

    公开(公告)日:2019-09-27

    申请号:CN201910571220.2

    申请日:2019-06-28

    IPC分类号: H02N2/18

    摘要: 本发明属于微能源和振动发电技术领域,公开了多模复合式上变频振动式环境能量采集器,包括壳体、电磁俘能单元、压电俘能单元和静电俘能单元,所述壳体上连接有低频振动梁和高频梁,所述低频振动梁位于所述高频梁上方;所述低频振动梁连接所述电磁俘能单元,所述压电俘能单元和所述静电俘能单元共用所述高频梁,所述静电俘能单元位于所述壳体的最底层,所述压电俘能单元位于所述电磁俘能单元和所述静电俘能单元之间。本发明将静电、压电、电磁三种不同俘能单元的俘能结构进行科学合理的布局,可有效拓宽俘能带宽,提高俘能结构的能量输出水平,并增强俘能器的环境适应能力。

    一种自感知驱动器及基于其的触觉感知方法和设备

    公开(公告)号:CN118046422A

    公开(公告)日:2024-05-17

    申请号:CN202410183687.0

    申请日:2024-02-19

    摘要: 本发明公开了一种自感知驱动器及基于其的触觉感知方法和设备,所述自感知驱动器包括驱动层、传感层和限制层,其中,驱动层包括由柔性材料形成的第一薄膜层及具有中空流道的气体通道层,传感层包括两个柔性电极,及位于柔性电极之间的三个介电层,位于中部的第二介电层与气体通道层结构相同,限制层包括由高模量软性材料形成的第二薄膜层。通过调节气压的方式调节本发明的自感知驱动器的驱动层高度,可避免对接触物体造成损伤,并可实现对物体表面纹理、硬度等信息的实时准确感知,提高机器人在复杂环境下的感知能力。

    一种基于杠杆效应位移放大音叉式微机械陀螺仪

    公开(公告)号:CN110307832B

    公开(公告)日:2021-04-09

    申请号:CN201910571347.4

    申请日:2019-06-28

    IPC分类号: G01C19/5621 G01C19/5614

    摘要: 本发明属于微机械系统技术领域,公开了一种基于杠杆效应位移放大音叉式微机械陀螺仪,对玻璃基底进行光刻,并溅射金属,通过剥离形成的金属电极;硅片键合在玻璃基底上,玻璃基底上的硅片光刻深刻蚀形成的锚点;在硅片上进行光刻深刻蚀释放出来的MEMS机械结构,MEMS机械结构为全解耦全对称结构音叉式结构。本发明在检测模态的中心质量块与检测框之间巧妙设置一柔性杠杆机构,将中心质量块的检测位移放大传递到检测框,检测框检测电容变化更加明显,同时基于杠杆的死点效应以及杠杆U形传力梁的解耦性实现二次解耦,进一步降低正交耦合,从而实现更高的灵敏度和更高的分辨率。

    一种基于杠杆效应位移放大音叉式微机械陀螺仪

    公开(公告)号:CN110307832A

    公开(公告)日:2019-10-08

    申请号:CN201910571347.4

    申请日:2019-06-28

    IPC分类号: G01C19/5621 G01C19/5614

    摘要: 本发明属于微机械系统技术领域,公开了一种基于杠杆效应位移放大音叉式微机械陀螺仪,对玻璃基底进行光刻,并溅射金属,通过剥离形成的金属电极;硅片键合在玻璃基底上,玻璃基底上的硅片光刻深刻蚀形成的锚点;在硅片上进行光刻深刻蚀释放出来的MEMS机械结构,MEMS机械结构为全解耦全对称结构音叉式结构。本发明在检测模态的中心质量块与检测框之间巧妙设置一柔性杠杆机构,将中心质量块的检测位移放大传递到检测框,检测框检测电容变化更加明显,同时基于杠杆的死点效应以及杠杆U形传力梁的解耦性实现二次解耦,进一步降低正交耦合,从而实现更高的灵敏度和更高的分辨率。