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公开(公告)号：CN115178903B
公开(公告)日：2024-08-09
申请号：CN202210923749.8
申请日：2022-08-02
申请人： 北京理工大学
IPC分类号： B23K26/70 , B23K26/046 , B23K26/14
摘要： 本发明公开的动压轴承等角螺旋槽飞秒激光自动对焦加工方法及系统，属于微纳加工技术领域。本发明包括时域整形模块、空域整形模块、频域整形模块、激光直写模块、五轴联动平台模块、同轴观测模块、运动控制模块、自动对焦模块。本发明测量待加工动压轴承尺寸；对待加工动压轴承进行三维建模；确定与待测材料作用效果最佳的激光波长；利用外延法测量待测材料的烧蚀阈值；分析获取最优加工效果对应的激光参数；利用FPGA芯片、自动对焦算法和相应的软硬件程序，完成三维曲面的自动对焦和三维轨迹重建；利用获取的激光参数，设计并搭建光学加工系统；加保护气体，使用高精度五轴运动平台、优化得到的激光参数、光学系统和更新的代码，飞秒激光自动对焦加工动压轴承等角螺旋槽，提高在动压轴承上加工等角螺旋槽的精度，且提高加工一致性和成品率。
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公开(公告)号：CN115178885B
公开(公告)日：2024-08-16
申请号：CN202210691666.0
申请日：2022-06-17
申请人： 北京理工大学
IPC分类号： B23K26/362 , B23K26/064 , B23K26/046 , B23K26/70
摘要： 本发明涉及一种飞秒激光复杂曲面形状刻型的加工误差控制方法，属于超快激光加工技术领域。本发明可对五轴激光加工系统的加工误差进行控制，将百微米量级的加工误差降低至十微米量级，大大提高复杂曲面刻型工艺的加工精度。本发明公开的一种飞秒激光曲面复杂形状刻型系统的加工误差控制方法适用范围不仅局限于球面复杂形状刻型加工，也适用于各种复杂曲面形状刻型加工，具有广泛适用性。
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公开(公告)号：CN115178885A
公开(公告)日：2022-10-14
申请号：CN202210691666.0
申请日：2022-06-17
申请人： 北京理工大学
IPC分类号： B23K26/362 , B23K26/064 , B23K26/046 , B23K26/70
摘要： 本发明涉及一种飞秒激光复杂曲面形状刻型的加工误差控制方法，属于超快激光加工技术领域。本发明可对五轴激光加工系统的加工误差进行控制，将百微米量级的加工误差降低至十微米量级，大大提高复杂曲面刻型工艺的加工精度。本发明公开的一种飞秒激光曲面复杂形状刻型系统的加工误差控制方法适用范围不仅局限于球面复杂形状刻型加工，也适用于各种复杂曲面形状刻型加工，具有广泛适用性。
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公开(公告)号：CN116441735A
公开(公告)日：2023-07-18
申请号：CN202310249467.9
申请日：2023-03-15
申请人： 北京理工大学
IPC分类号： B23K26/362 , B23K26/073 , B23K26/70
摘要： 本发明公开的一种飞秒激光加工不规则曲面的三维形貌分析方法及系统，属于非硅微纳制造技术领域。本发明包括飞秒激光协同五轴联动精密平移台系统、CCD成像系统、三维形貌显微成像系统、复杂曲面轮廓分析系统。五轴加工平台的转台旋转中心、特制装夹工件的中心、入射激光光束的中心处于同一条直线上。本发明通过分析待加工样品的组分信息；使用时域整形、空域整形、频域整形协同进行光束控制，将飞秒激光整形后的高质量光斑直接作用于物体表面，显著提高样件的定位精度、加工精度、成品率。本发明不仅能够对实际样件的加工区域进行完整的表面三维形貌分析，而且能够反馈至激光加工前的模型重构和代码优化中，进一步提高飞秒激光加工的精准程度。
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公开(公告)号：CN115178903A
公开(公告)日：2022-10-14
申请号：CN202210923749.8
申请日：2022-08-02
申请人： 北京理工大学
IPC分类号： B23K26/70 , B23K26/046 , B23K26/14
摘要： 本发明公开的动压轴承等角螺旋槽飞秒激光自动对焦加工方法及系统，属于微纳加工技术领域。本发明包括时域整形模块、空域整形模块、频域整形模块、激光直写模块、五轴联动平台模块、同轴观测模块、运动控制模块、自动对焦模块。本发明测量待加工动压轴承尺寸；对待加工动压轴承进行三维建模；确定与待测材料作用效果最佳的激光波长；利用外延法测量待测材料的烧蚀阈值；分析获取最优加工效果对应的激光参数；利用FPGA芯片、自动对焦算法和相应的软硬件程序，完成三维曲面的自动对焦和三维轨迹重建；利用获取的激光参数，设计并搭建光学加工系统；加保护气体，使用高精度五轴运动平台、优化得到的激光参数、光学系统和更新的代码，飞秒激光自动对焦加工动压轴承等角螺旋槽，提高在动压轴承上加工等角螺旋槽的精度，且提高加工一致性和成品率。
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