公开(公告)号：CN113643251B

公开(公告)日：2023-07-04

申请号：CN202110912938.0

申请日：2021-08-10

申请人： 北京航空航天大学

发明人： 李英姿 ,  程鹏 ,  林锐 ,  许泽宇 ,  王丞 ,  李磊 ,  钱建强 ,  窦志鹏 ,  王建海

IPC分类号： G06T7/00 ,  G06T7/20 ,  G01Q60/24 ,  G06F17/16 ,  G06N7/01

摘要： 本发明公开了一种欠采样非光栅扫描原子力显微镜高速成像系统及方法，是在传统原子力显微镜中设置了逐点采样测量模块、欠采样测量模块、采样点分布模块、贝叶斯压缩感知重建计算模块、基函数计算模块、随机函数发生器、随机数发生器和行列计数器。本发明方法通过构建测量矩阵在待测区域中划分采样点分布，进而利用采样点分布指导三维扫描器，实现力传感器获取待测区域欠采样信息，以欠采样信息和测量矩阵为依据，实现形貌信息重建，最后对比标准形貌信息，实现高速成像。

公开(公告)号：CN115899141A

公开(公告)日：2023-04-04

申请号：CN202211537223.2

申请日：2022-12-01

申请人： 北京航空航天大学

发明人： 李英姿 ,  李磊 ,  林锐 ,  程鹏 ,  王丞 ,  钱建强 ,  王建海

IPC分类号： F16F7/10 ,  G01Q60/24

摘要： 本发明公开了一种深空环境原子力显微镜的柔性隔振装置，该柔性隔振装置(7)安装在现有AFM的圆形安装台(58)与探针限位座(55)之间。柔性隔振装置(7)上设有中心质量块(7G)，安装在中心质量块(7G)下方的石英音叉探针(5)的针尖距离样品台(4)之间的高度为0.8mm。第一支撑梁单元(7A)、第二支撑梁单元(7C)、中心梁单元互为平行。增加了柔性隔振装置(7)的AFM系统降低了由地面振动引起的振动噪声，同时实现了结构无摩擦、小型化的目标，大大提高了AFM系统在无外部隔振器的振动环境中的稳定性和抗振性，从而满足了深空环境中对样品原位表征的要求。

公开(公告)号：CN113643251A

公开(公告)日：2021-11-12

申请号：CN202110912938.0

申请日：2021-08-10

申请人： 北京航空航天大学

发明人： 李英姿 ,  程鹏 ,  林锐 ,  许泽宇 ,  王丞 ,  李磊 ,  钱建强 ,  窦志鹏 ,  王建海

IPC分类号： G06T7/00 ,  G06T7/20 ,  G01Q60/24 ,  G06F17/16 ,  G06N7/00

摘要： 本发明公开了一种欠采样非光栅扫描原子力显微镜高速成像系统及方法，是在传统原子力显微镜中设置了逐点采样测量模块、欠采样测量模块、采样点分布模块、贝叶斯压缩感知重建计算模块、基函数计算模块、随机函数发生器、随机数发生器和行列计数器。本发明方法通过构建测量矩阵在待测区域中划分采样点分布，进而利用采样点分布指导三维扫描器，实现力传感器获取待测区域欠采样信息，以欠采样信息和测量矩阵为依据，实现形貌信息重建，最后对比标准形貌信息，实现高速成像。