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公开(公告)号：CN104393116B
公开(公告)日：2016-08-24
申请号：CN201410668906.0
申请日：2014-11-20
申请人： 北京航空航天大学
CPC分类号： Y02P70/521
摘要： 本发明一种纳米硅薄膜太阳能电池椭圆偏振光谱实时监控制备方法，它有七大步骤。采用化学法对单晶硅片进行各向异性腐蚀，形成金字塔状的绒面硅片衬底；采用等离子体增强化学气相沉法制备晶态含量在50±5％之间，晶态峰在502?518cm?1之间的本征纳米硅膜，并通过在沉积过程中掺入PH3等制备N型纳米硅薄膜，掺入B2H5等制备P型纳米硅薄膜；在上述沉积纳米硅薄膜过程中，采用椭圆偏振光谱实时监控薄膜生长过程的制备方法，这是本专利申请的核心技术；采用热蒸发方法或磁控溅射方法制备纳米硅薄膜太阳能电池的背电极和上电极及透明电极。经上述工艺便可制备出其具有重复性的高光电转换效率的纳米硅薄膜太阳能电池。
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公开(公告)号：CN105734521A
公开(公告)日：2016-07-06
申请号：CN201511029575.7
申请日：2015-12-31
申请人： 北京航空航天大学
摘要： 本发明涉及一种金属薄膜生长椭园偏振光谱实时监控方法。采用真空镀膜样品台和椭园偏振光谱实时监控系统一体化结构；将光钎偶合器、光钎准直系统、小孔光拦、步进电机、角编码器、起偏器、检偏器、光钎光谱仪等分别封装在左右两个密封盒里；采用光纤将复合光输入到其中一个上述密封盒里，再从出射小孔输出直线偏振光谱束，并按给定入射角入射到样品表面，经反射或透射到另一个上述密封盒里，对这种携带着薄膜信息的反射偏振光谱束或透射偏振光谱束实时探测并实时反馈到镀膜设备系统中进行实时监控。这种椭园偏振光谱实时监控方法适合于各种真空镀膜系统如磁控溅射镀膜系统和等离子体增强化学气相沉积镀膜系统等。
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公开(公告)号：CN104393116A
公开(公告)日：2015-03-04
申请号：CN201410668906.0
申请日：2014-11-20
申请人： 北京航空航天大学
CPC分类号： Y02P70/521 , H01L31/1804 , C23C14/547
摘要： 本发明一种纳米硅薄膜太阳能电池椭园偏振光谱实时监控制备方法，它有七大步骤。采用化学法对单晶硅片进行各向异性腐蚀，形成金字塔状的绒面硅片衬底；采用等离子体增强化学气相沉法制备晶态含量在50±5％之间，晶态峰在502-518cm-1之间的本征纳米硅膜，并通过在沉积过程中掺入PH3等制备N型纳米硅薄膜，掺入B2H5等制备P型纳米硅薄膜；在上述沉积纳米硅薄膜过程中，采用椭园偏振光谱实时监控薄膜生长过程的制备方法，这是本专利申请的核心技术；采用热蒸发方法或磁控溅射方法制备纳米硅薄膜太阳能电池的背电极和上电极及透明电极。经上述工艺便可制备出其具有重复性的高光电转换效率的纳米硅薄膜太阳能电池。
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