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公开(公告)号：CN115356009A
公开(公告)日：2022-11-18
申请号：CN202210782554.6
申请日：2022-07-05
申请人： 北京遥测技术研究所 , 航天长征火箭技术有限公司
摘要： 本发明提供一种双腔室结构的声表面波温度压力复合传感器，包括盖板，设置在盖板下部的基片，设置在盖板、基片之间的中间层，设置在基片上部的压力腔室、参考腔室，中间层设置在压力腔室和参考腔室的两侧。本发明通过封装设计使温度/参考谐振器处于一个腔室，压力谐振器处于另一个腔室，利用增加固支边界隔离感压膜形变的传递，降低温度/参考谐振器的压力影响，便于独立解耦，提升传感器测量精度，继承了经典三个谐振器集成的优势，所用双腔室相邻设置，既保证了三个谐振器处于几乎一致的温度场中，提供实时温度补偿；又降低了湿度、振动等外界共模干扰的影响，提升传感器稳定性。
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公开(公告)号：CN111595513B
公开(公告)日：2022-04-12
申请号：CN202010451263.X
申请日：2020-05-25
申请人： 北京遥测技术研究所 , 航天长征火箭技术有限公司
IPC分类号： G01L27/00
摘要： 一种超高温压力传感器的标定装置，包括超高温控温设备、耐高温承压管、压力控制器、机械泵、氮气瓶、传感器工装、散热工装、采集系统、测温部分；在气压密封控制方面，待测压力传感器、压力控制器互通，即压力控制器显示的压力值就是待测压力传感器处于的压力值。在温度控制方面，耐高温承压管穿过多温区、分段加热的超高温控温设备的两端，提供稳定的高温标校环境；另外设有测温部分，实时检测待测压力传感器所处的温度，减小温度引起的压力测量误差。本发明解决了不低于1000℃的超高温压力传感器标校难题，可直接对超高温压力传感器整机进行标校，装置简单且易于实现。
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公开(公告)号：CN111649839A
公开(公告)日：2020-09-11
申请号：CN202010524356.0
申请日：2020-06-10
申请人： 北京遥测技术研究所 , 航天长征火箭技术有限公司
IPC分类号： G01K11/26
摘要： 一种非线性自校正的谐振型声表面波温度传感器，包括基片、叉指换能器、第一金属反射栅阵和第二金属反射栅阵。基片上声表面波在相速度传播方向上具有自然单向性，群速度传播方向和相速度传播方向存在能流角PFA，且|PFA|≤10°；叉指换能器、第一金属反射栅阵和第二金属反射栅阵的声孔径方向与相速度传播方向垂直，叉指换能器汇流条方向与能流角PFA方向平行；这样设计的谐振型声表面波温度传感器具有低频和高频两个谐振峰，本发明利用其低频和高频两个特征谐振峰，通过自差分方法，实现传感器的非线性自校正，且保持了单个器件的小体积，同时避免了现有单个谐振器单个谐振峰使用时，频率信号解调受无线通路影响的问题，实现了传感器使用过程中的免校准。
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公开(公告)号：CN111595513A
公开(公告)日：2020-08-28
申请号：CN202010451263.X
申请日：2020-05-25
申请人： 北京遥测技术研究所 , 航天长征火箭技术有限公司
IPC分类号： G01L27/00
摘要： 一种超高温压力传感器的标定装置，包括超高温控温设备、耐高温承压管、压力控制器、机械泵、氮气瓶、传感器工装、散热工装、采集系统、测温部分；在气压密封控制方面，待测压力传感器、压力控制器互通，即压力控制器显示的压力值就是待测压力传感器处于的压力值。在温度控制方面，耐高温承压管穿过多温区、分段加热的超高温控温设备的两端，提供稳定的高温标校环境；另外设有测温部分，实时检测待测压力传感器所处的温度，减小温度引起的压力测量误差。本发明解决了不低于1000℃的超高温压力传感器标校难题，可直接对超高温压力传感器整机进行标校，装置简单且易于实现。
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公开(公告)号：CN113114154A
公开(公告)日：2021-07-13
申请号：CN202110227486.2
申请日：2021-03-01
申请人： 北京遥测技术研究所 , 航天长征火箭技术有限公司
摘要： 一种横向模式抑制的声表面波谐振器，基片中心位置处设置有叉指换能器，叉指换能器两侧设置有第一金属反射栅阵和第二金属反射栅阵，叉指换能器和第一金属反射栅阵之间形成第一间隙，叉指换能器和第二金属反射栅阵之间形成第二间隙；叉指换能器两端汇流条处均连接输出引线；定义声孔径垂直方向为x轴，叉指换能器、第一金属反射栅阵、第二金属反射栅阵的上方汇流条在同一直线上，且该直线与x轴的夹角为偏向角，能流角在‑10°～+10°之间，偏向角与能流角不重合，且偏向角与能流角的角度差在‑20°～0°或0°～+20°之间。本发明采用与能流角不同的偏向角进行电极布局来抑制横向模式，无需增加复杂的设计和工艺，且可以保持器件的高Q值，提升声表面波谐振器的性能。
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公开(公告)号：CN115356009B
公开(公告)日：2024-08-09
申请号：CN202210782554.6
申请日：2022-07-05
申请人： 北京遥测技术研究所 , 航天长征火箭技术有限公司
摘要： 本发明提供一种双腔室结构的声表面波温度压力复合传感器，包括盖板，设置在盖板下部的基片，设置在盖板、基片之间的中间层，设置在基片上部的压力腔室、参考腔室，中间层设置在压力腔室和参考腔室的两侧。本发明通过封装设计使温度/参考谐振器处于一个腔室，压力谐振器处于另一个腔室，利用增加固支边界隔离感压膜形变的传递，降低温度/参考谐振器的压力影响，便于独立解耦，提升传感器测量精度，继承了经典三个谐振器集成的优势，所用双腔室相邻设置，既保证了三个谐振器处于几乎一致的温度场中，提供实时温度补偿；又降低了湿度、振动等外界共模干扰的影响，提升传感器稳定性。
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公开(公告)号：CN111649839B
公开(公告)日：2022-01-04
申请号：CN202010524356.0
申请日：2020-06-10
申请人： 北京遥测技术研究所 , 航天长征火箭技术有限公司
IPC分类号： G01K11/26
摘要： 一种非线性自校正的谐振型声表面波温度传感器，包括基片、叉指换能器、第一金属反射栅阵和第二金属反射栅阵。基片上声表面波在相速度传播方向上具有自然单向性，群速度传播方向和相速度传播方向存在能流角PFA，且|PFA|≤10°；叉指换能器、第一金属反射栅阵和第二金属反射栅阵的声孔径方向与相速度传播方向垂直，叉指换能器汇流条方向与能流角PFA方向平行；这样设计的谐振型声表面波温度传感器具有低频和高频两个谐振峰，本发明利用其低频和高频两个特征谐振峰，通过自差分方法，实现传感器的非线性自校正，且保持了单个器件的小体积，同时避免了现有单个谐振器单个谐振峰使用时，频率信号解调受无线通路影响的问题，实现了传感器使用过程中的免校准。
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公开(公告)号：CN111623917B
公开(公告)日：2022-03-04
申请号：CN202010525496.X
申请日：2020-06-10
申请人： 北京遥测技术研究所 , 航天长征火箭技术有限公司
摘要： 一种高灵敏度的声表面波绝压压力传感器，包括感压膜片、声表面波谐振器、中间层、压力参考腔和盖板；中间层、感压膜片和盖板通过直接键合或间接键合方式形成整体结构，并在所述整体结构上形成压力参考腔；声表面波谐振器设置在感压膜片的内表面，位于压力参考腔的感压区域中心处；压力参考腔为矩形或椭圆形结构，矩形短边或椭圆形短轴与所述声表面波谐振器中声表面波的传播方向平行，且长度大于等于声表面波谐振器的长度，矩形长边或椭圆形长轴与所述声表面波谐振器中声孔径方向平行；声表面波谐振器(2)汇流条处均连接输出引线。本发明灵敏度高且体积小，加工工艺简单且继承性好，具有良好的长期稳定性。
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公开(公告)号：CN111623917A
公开(公告)日：2020-09-04
申请号：CN202010525496.X
申请日：2020-06-10
申请人： 北京遥测技术研究所 , 航天长征火箭技术有限公司
摘要： 一种高灵敏度的声表面波绝压压力传感器，包括感压膜片、声表面波谐振器、中间层、压力参考腔和盖板；中间层、感压膜片和盖板通过直接键合或间接键合方式形成整体结构，并在所述整体结构上形成压力参考腔；声表面波谐振器设置在感压膜片的内表面，位于压力参考腔的感压区域中心处；压力参考腔为矩形或椭圆形结构，矩形短边或椭圆形短轴与所述声表面波谐振器中声表面波的传播方向平行，且长度大于等于声表面波谐振器的长度，矩形长边或椭圆形长轴与所述声表面波谐振器中声孔径方向平行；声表面波谐振器(2)汇流条处均连接输出引线。本发明灵敏度高且体积小，加工工艺简单且继承性好，具有良好的长期稳定性。
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