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公开(公告)号：CN107706072A
公开(公告)日：2018-02-16
申请号：CN201710744776.8
申请日：2017-08-25
申请人： 北方夜视技术股份有限公司 , 中国科学院高能物理研究所
摘要： 本发明公开了一种基于阴极转移设备的光电倍增管的铟封方法，在完成阴极制备后，合理安排吸气剂除气与激活时间以及开关MCP挡板、升降MCP管芯的顺序，使得铟封工艺有明确的操作规范，并且获得了良好的真空度，提升了光电倍增管的性能。
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公开(公告)号：CN107706072B
公开(公告)日：2019-08-02
申请号：CN201710744776.8
申请日：2017-08-25
申请人： 北方夜视技术股份有限公司 , 中国科学院高能物理研究所
摘要： 本发明公开了一种基于阴极转移设备的光电倍增管的铟封方法，在完成阴极制备后，合理安排吸气剂除气与激活时间以及开关MCP挡板、升降MCP管芯的的顺序，使得铟封工艺有明确的操作规范，并且获得了良好的真空度，提升了光电倍增管的性能。
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公开(公告)号：CN116770231A
公开(公告)日：2023-09-19
申请号：CN202310586122.2
申请日：2023-05-23
申请人： 北方夜视技术股份有限公司
摘要： 本发明涉及光电倍增管加工技术领域，具体而言涉及用于光电倍增管镀膜的蒸镀装置及其制作方法、装置以及光窗镀膜的蒸镀方法、装置，包括：蒸发电极，包括正极以及负极；蒸发源结构，所述蒸发源结构的第一端连接到所述正极，所述蒸发源结构的第二端连接到所述负极；蒸发材料层，连接到所述蒸发源结构；其中，所述蒸发源结构包括蒸发面，所述蒸发材料层连接到所述蒸发面。利用面蒸发源的优势提升其镀膜的均匀性，从而提升器件的量子效率均匀性。且片状面蒸镀装置镀膜方向仅朝向玻璃光窗，其他方向被其自身蒸发源薄片挡住，不会蒸镀到陶瓷等不需要镀膜的位置，可改善整管的噪声特性。
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公开(公告)号：CN113451090B
公开(公告)日：2022-04-26
申请号：CN202110722031.8
申请日：2021-06-28
申请人： 北方夜视技术股份有限公司
摘要： 本发明提供一种用于提高光电倍增管阴极量子效率可控性及一致性的方法，包括：获取不同量子效率的光电阴极制备过程中的光电流曲线；提取出与设定的量子效率区间对应的光电流曲线斜率的角度参考范围；在制备光电阴极的过程中，根据需要达到的量子效率区间选择对应的角度参考范围；以及以选择的角度参考范围为依据，在制备过程中将实际的光电流曲线斜率的角度与角度参考范围进行对比，对正在进行的阴极制备过程进行调整，使阴极制备过程中光电流曲线斜率的角度向所需量子效率的角度参考范围不断接近，最终制作出所需量子效率的光电阴极。本发明的调控方法可通过给出的参考值设定期望制作的量子效率值，在实际生产过程中可提高量子效率的可控性，从而提高了光电倍增管量子效率的一致性，避免单独针对某个量子效率进行调控时的不确定性和降低调控难度。
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公开(公告)号：CN111816533B
公开(公告)日：2022-03-25
申请号：CN202010753329.0
申请日：2019-11-13
申请人： 北方夜视技术股份有限公司
摘要： 本发明提供一种双碱光电阴极及其制备方法。所述的双碱光电阴极是以钾、铯为碱金属源的锑化物光电阴极，其峰值量子效率可达35％以上，截止波长仅为620nm；所述碗型能带结构为玻璃基底上蒸镀的宽禁带Be3N2膜层+K2CsSb光电阴极+Te表面掺杂层的多层膜系，从而形成的高‑低‑高能带结构，采用本发明的结构的光电阴极的光谱响应曲线具有峰值响应高、响应范围窄的优点。
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公开(公告)号：CN111996566A
公开(公告)日：2020-11-27
申请号：CN202010719868.2
申请日：2020-07-23
申请人： 北方夜视技术股份有限公司
摘要： 本发明提供一种提升侧窗打拿极型光电倍增管增益的倍增极处理方法及倍增极，包括：使用麻轮或布轮对倍增极表面进行精细抛光；对细抛完毕的倍增极进行去油、脱脂处理；对细抛后的倍增极表面电镀全光亮镍薄膜；步骤4、对镀膜后的倍增极置于烧氢炉进行烧氢处理，去除倍增极表面低熔点杂质粒子；步骤5、将倍增极置于十氟戊烷中常温超声处理，然后氮气吹干。本发明通过对倍增极材料表面进行布轮精细抛光，改善表面粗糙度；电镀全光亮镍膜，使倍增级表面达到镜面光亮、平整的效果，提升二次电子发射系数；进一步的，将金属镍倍增极材料进行烧氢处理，为二次电子发射薄膜的生长提供良好生长界面，有效改善侧窗打拿极光电倍增管外观，显著提高其增益。
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公开(公告)号：CN111856235A
公开(公告)日：2020-10-30
申请号：CN202010720528.1
申请日：2020-07-24
申请人： 北方夜视技术股份有限公司
IPC分类号： G01R31/26
摘要： 本发明提供一种真空紫外光电倍增管测试装置，包括真空系统、测试夹具、光源系统、数据采集和控制系统以及计算机系统。真空系统为测试提供真空度要求。真空紫外光电倍增管安装于测试夹具内，并整体置于真空腔内。光源系统，用于提供真空紫外光电倍增管的测试光源，产生紫外光源并照射到位于真空腔内的紫外光电倍增管的阴极面上；数据采集和控制系统，控制系统的测试参数及测试配置，并读取系统测试数据值，传至计算机系统，分析处理数据。本发明通过相对测试，测试真空紫外光电倍增管暗电流、阴极辐射灵敏度、量子效率、阳极辐射灵敏度、增益参数，完善真空紫外光电倍增管性能测试与评估系统。
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公开(公告)号：CN111501018A
公开(公告)日：2020-08-07
申请号：CN202010388763.3
申请日：2020-05-09
申请人： 北方夜视技术股份有限公司
IPC分类号： C23C16/455 , C23C16/40 , C23C16/02 , H01J9/02 , H01J43/24
摘要： 本发明涉及MCP技术领域，提供一种利用ALD提高MCP通道镀膜增益稳定性的方法、ALD-MCP及应用。本发明在微通道板的功能层基础上，利用ALD技术沉积Al2O3膜层前，先制作预处理层来实现Al2O3膜层与MCP基底富硅层之间的过渡；然后在预处理层的基础上，通过ALD技术沉积Al2O3膜层。如此，通过预处理层作为ALD沉积Al2O3膜层与MCP基底富硅层之间的过渡，避免形成界面缺陷电荷，提高ALD-MCP增益稳定性。
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公开(公告)号：CN111403252A
公开(公告)日：2020-07-10
申请号：CN202010246717.X
申请日：2020-03-31
申请人： 北方夜视技术股份有限公司
摘要： 本发明属于光电倍增管技术领域，公开一种光电倍增管使用的高量子效率低热发射的双碱光电阴极及其制备方法，获得的双碱光电阴极结构呈多层碱锑化物依次堆叠在基底上，从双碱光电阴极的基底至外表面方向上碱锑化物的组成呈锑元素逐渐减少、碱金属元素逐渐增多的规律，提高了微通道板型光电倍增管的量子效率；在制备过程中通过对钾和锑同蒸第一阶段中调整增加锑球电流的速率来控制光电流拐点，通过对钾和锑同蒸第二阶段中关锑观察反射率变化的综合调控，降低光电阴极的热电子发射，从而降低双碱阴极积分灵敏度，改善微通道板型光电倍增管的噪声，工艺一致性较好。
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公开(公告)号：CN111261488A
公开(公告)日：2020-06-09
申请号：CN202010077421.X
申请日：2020-01-29
申请人： 北方夜视技术股份有限公司
摘要： 本发明提供一种光电倍增管玻璃光窗的金属氮化物增透膜、制备方法、制备系统及光电倍增管，其制备过程包括：首先真空环境下，在光电倍增管玻璃光窗的内表面镀制一层金属薄膜；在含氮气氛环境下，进行辉光放电离子氮化，使所镀的金属薄膜被氮化成为金属氮化物薄膜，所述金属氮化物薄膜为宽带隙金属氮化物薄膜，禁带宽度大于4.2eV。本发明提出的金属氮化物增透膜可有效提高光电倍增管的量子效率，同时通过本发明的转移式双工位的光电倍增管玻璃光窗的金属氮化物增透膜的制备系统，可在一个钟罩下的两个工位的切换，实现金属薄膜的镀制和对金属薄膜的辉光离子氮化，快速实现光电倍增管光窗的金属氮化物增透膜的制备。
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