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公开(公告)号：CN112379125B
公开(公告)日：2022-08-12
申请号：CN202011197671.3
申请日：2020-10-31
IPC分类号： G01P15/097 , B81B7/00 , B81C1/00
摘要： 一种分体式差分石英振梁加速度计的制作及封装方法，涉及到微机电系统中的微惯性传感技术领域，包括中空的外壳座、密封设在所述外壳座顶部的上盖组、密封设在所述外壳座底部的底盖和设置在所述外壳座内部的传感模组；将传感模组设置成由两个分别加工的传感头部件对称分布与内壳体密封连接，实现石英振梁加速度计的差分工作模式；相比于现有的一体加工成型的传感头部件，不仅降低了加工的难度，还更加有利于大批量的生产；传感模组的真空工作环境不仅可以有效隔离外界热应力的影响，降低热弹性损耗；还可以减小空气阻尼和电极溅射，提高传感芯片的品质因子，提高了石英振梁加速度计的精度。
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公开(公告)号：CN114397479A
公开(公告)日：2022-04-26
申请号：CN202111486926.2
申请日：2021-12-07
摘要： 一种石英振梁加速度计TO部件的两自由度测试装置，包括：真空腔，提供真空环境，并在真空腔内容置TO部件，TO部件通过TO部件固定工装安装在真空腔内；电动转台，安装在电动转台安装支架上，并通过真空腔转接板与真空腔连接；多齿分度台，设置在多齿分度台安装板上，且多齿分度台之工作面处设置用于安装电动转台的电动转台安装支架；水平调节机构，具有水平调节机构限位板，并用于对TO部件安装板进行水平度调整。本发明利用多齿分度台和电动转台提供的两自由度转动，使得TO部件不仅能够一次性完成XYZ三轴标度因数的测量，排除多次安装产生的误差，而且利用真空腔提供了TO部件之谐振梁芯片正常工作所需的真空环境，保证了测试结果真实可靠。
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公开(公告)号：CN112362907A
公开(公告)日：2021-02-12
申请号：CN202011198960.5
申请日：2020-10-31
IPC分类号： G01P15/097
摘要： 一种振梁加速度计芯片结构，涉及一种谐振式振梁加速度计仪表，所述芯片结构包括挠性结构、设置在挠性结构上下端面的质量结构和设置在所述质量结构端面上的振梁结构；所述挠性结构与所述质量结构的接触面之间、所述质量结构与所述振梁结构的接触面之间均设置有键合层，所述键合层包括依次设置的种子层、过渡层、活性反应层和焊料层；本发明通过在挠性结构、质量结构和振梁结构相接触的位置设置键合层，以实现自蔓延反应键合；相比现有分体式，装配简单，同时避免了石英材料和金属质量块不同材料间的热失配和胶老化问题；同时本方案通过多层基片键合，避免了一体式石英振梁加速度计的加工困难，以及挠性结构和振梁湿法刻蚀表面的质量控制难题。
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公开(公告)号：CN108092122A
公开(公告)日：2018-05-29
申请号：CN201711438315.4
申请日：2017-12-26
IPC分类号： H01S3/02
摘要： 本发明公开了一种环形激光器外围器件装调机构，包括电气控制箱以及前后排列设置在电气控制箱上的抖动偏频装置和探测器位置调整台，所述的探测器位置调整台上连接有探测器夹持组件，所述的电气控制箱设置在光学平台上，所述的抖动偏频装置用于腔体方位调整及抖动，所述的谐振腔夹持机构用于谐振腔定位及固定，所述的探测器夹持组件用于探测器的夹持、释放、旋转调整及小角度自由方位调整；本发明集合度高、可操作性好、有利用提高环形激光器外围装调工艺的效率及质量，可以同时满足环形激光器研制及批产的需求。
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公开(公告)号：CN114397478B
公开(公告)日：2024-05-10
申请号：CN202111440050.8
申请日：2021-11-30
摘要： 本发明涉及一种单轴差分谐振梁表头模组及加速度计，包括真空密封件和两个TO部件；真空密封件包括一两端开口的密封腔体；两个TO部件对称封装于密封腔体的两端；每一TO部件包括TO底座、谐振梁芯片、ASIC混合集成电路、吸气剂组件、吸气剂挡板、陶瓷柱和插针；该表头模组采用两个对称封装于密封腔体的两端的TO部件，形成差分模式结构，环境适应性好，全温范围内精度高；加速度计由四组独立的表头模组，通过冗余配置布局集成，相比安装三轴独立的加速度计，该方案质量和体积小，结构紧凑、精度和可靠性更高。
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公开(公告)号：CN114397478A
公开(公告)日：2022-04-26
申请号：CN202111440050.8
申请日：2021-11-30
摘要： 本发明涉及一种单轴差分谐振梁表头模组及加速度计，包括真空密封件和两个TO部件；真空密封件包括一两端开口的密封腔体；两个TO部件对称封装于密封腔体的两端；每一TO部件包括TO底座、谐振梁芯片、ASIC混合集成电路、吸气剂组件、吸气剂挡板、陶瓷柱和插针；该表头模组采用两个对称封装于密封腔体的两端的TO部件，形成差分模式结构，环境适应性好，全温范围内精度高；加速度计由四组独立的表头模组，通过冗余配置布局集成，相比安装三轴独立的加速度计，该方案质量和体积小，结构紧凑、精度和可靠性更高。
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公开(公告)号：CN112379125A
公开(公告)日：2021-02-19
申请号：CN202011197671.3
申请日：2020-10-31
IPC分类号： G01P15/097 , B81B7/00 , B81C1/00
摘要： 一种分体式差分石英振梁加速度计的制作及封装方法，涉及到微机电系统中的微惯性传感技术领域，包括中空的外壳座、密封设在所述外壳座顶部的上盖组、密封设在所述外壳座底部的底盖和设置在所述外壳座内部的传感模组；将传感模组设置成由两个分别加工的传感头部件对称分布与内壳体密封连接，实现石英振梁加速度计的差分工作模式；相比于现有的一体加工成型的传感头部件，不仅降低了加工的难度，还更加有利于大批量的生产；传感模组的真空工作环境不仅可以有效隔离外界热应力的影响，降低热弹性损耗；还可以减小空气阻尼和电极溅射，提高传感芯片的品质因子，提高了石英振梁加速度计的精度。
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公开(公告)号：CN114397479B
公开(公告)日：2024-05-10
申请号：CN202111486926.2
申请日：2021-12-07
摘要： 一种石英振梁加速度计TO部件的两自由度测试装置，包括：真空腔，提供真空环境，并在真空腔内容置TO部件，TO部件通过TO部件固定工装安装在真空腔内；电动转台，安装在电动转台安装支架上，并通过真空腔转接板与真空腔连接；多齿分度台，设置在多齿分度台安装板上，且多齿分度台之工作面处设置用于安装电动转台的电动转台安装支架；水平调节机构，具有水平调节机构限位板，并用于对TO部件安装板进行水平度调整。本发明利用多齿分度台和电动转台提供的两自由度转动，使得TO部件不仅能够一次性完成XYZ三轴标度因数的测量，排除多次安装产生的误差，而且利用真空腔提供了TO部件之谐振梁芯片正常工作所需的真空环境，保证了测试结果真实可靠。
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公开(公告)号：CN114164402A
公开(公告)日：2022-03-11
申请号：CN202111396128.0
申请日：2021-11-23
摘要： 本发明公开了一种用于晶圆湿法腐蚀工艺的金属掩膜制备方法，选取晶圆，对晶圆进行去污清洗并烘干，利用电子束蒸发或磁控溅射在晶圆表面蒸镀金属，形成由金属粘附层和金属阻挡层组成的金属复合膜，采用高温快速退火的方式处理镀膜后的晶圆，在晶圆表面形成致密、附着性强且耐腐蚀的金属掩膜，制作用于刻蚀晶圆图案的光刻版，对晶圆进行光刻，将图案从光刻版转移到光刻胶中，然后使用相应的腐蚀液或干法刻蚀工艺进行金属掩膜刻蚀，将图案从光刻胶中转移到金属掩膜；本发明方法可以制备用于湿法腐蚀的高精度金属掩膜。
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公开(公告)号：CN207625063U
公开(公告)日：2018-07-17
申请号：CN201721852237.8
申请日：2017-12-27
IPC分类号： H01S3/038
摘要： 本实用新型公开了一种环形激光器用复合式阴极，包括铝阴极以及设置在铝阴极下方的铜环，所述的铝阴极为上部分半球形、下部分圆柱形的杯状结构，内部具有中心对称的放电腔，所述的铜环上端通过第一铟圈和铝阴极封接，所述的铜环下端设置有连接谐振腔体的第二铟圈，所述的第一铟圈和第二铟圈厚度为0.1～0.2mm；本实用新型的复合式阴极结构简单、易加工装配，密封性能好，可靠性高，存储寿命长，能实现复合式阴极与谐振腔封接。
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