一种微型皮拉尼计
    3.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101608962B

    公开(公告)日:2011-11-30

    申请号:CN200910062620.7

    申请日:2009-06-09

    Abstract: 一种微型皮拉尼计,属于微机电系统的真空度测量器件,克服现有微型皮拉尼计体积大、灵敏度不够高的问题。本发明在硅衬底上具有凹槽,凹槽表面架有隔热层,隔热层表面覆盖绝缘层,绝缘层上溅射有加热体,加热体的两端溅射有金属电极;所述加热体为形状弯曲的铂或镍金属;所述绝缘层材料为氮化硅或二氧化硅;所述隔热层材料为二氧化硅、氮化硅中的一种或两种。本发明体积小、重量轻而且性能稳定,加热体采用金属铂,它的线性度好、性能稳定、灵敏度高、有良好的化学稳定性;其制造工艺简单、成本低、成品率高、可靠性高。适用于各种大小真空封装以及微型腔体中进行真空度实时检测。

    一种微机电系统的圆片级真空封装方法

    公开(公告)号:CN101554988A

    公开(公告)日:2009-10-14

    申请号:CN200910061898.2

    申请日:2009-04-30

    Abstract: 一种微机电系统的圆片级真空封装方法,属于微机电系统的封装方法,解决现有封装方法存在的问题,使得微型真空腔长时间保持真空,满足十年以上使用寿命的要求。本发明包括:刻蚀步骤:在盖板圆片上对应硅基片MEMS器件的位置刻蚀相应空间尺寸的凹坑,再环绕凹坑刻蚀环形凹槽;吸气剂淀积步骤:在所述凹坑和凹槽内淀积吸气剂薄膜;键合步骤:在真空环境下将盖板圆片和硅基片紧密键合。本发明解决了现有封装方法存在的真空保持时间短、密封质量低、可靠性差、成本高的问题,可以长时间保持微型腔体内的真空度,极大的推动圆片级MEMS真空封装技术的发展和推广。

    一种微机电系统的圆片级真空封装工艺

    公开(公告)号:CN101554987B

    公开(公告)日:2011-04-20

    申请号:CN200910061897.8

    申请日:2009-04-30

    Abstract: 一种微机电系统的圆片级真空封装工艺,属于微机电系统的封装方法,解决现有基于薄膜淀积真空封装工艺所存在的淀积薄膜较薄、腔体小,容易损坏,以及封装器件存在真空泄露、使用寿命降低的问题。本发明顺序包括:淀积吸气剂步骤;淀积薄牺牲层步骤;淀积缓冲腔牺牲层步骤;淀积厚牺牲层步骤;制作封装盖步骤;刻蚀释放孔步骤;去除牺牲层步骤和密封步骤。本发明解决了现有封装方法存在的真空保持时间短,密封质量低,封装尺寸大,工艺与标准IC工艺不兼容,成本高的问题,从而保证最里面的腔体气压;同时成本少于基于圆片键合工艺的真空封装,可以在常规的IC生产厂实现生产,极大的推动圆片级MEMS真空封装技术的发展和推广。

    一种微机电系统的圆片级真空封装方法

    公开(公告)号:CN101554988B

    公开(公告)日:2011-03-30

    申请号:CN200910061898.2

    申请日:2009-04-30

    Abstract: 一种微机电系统的圆片级真空封装方法,属于微机电系统的封装方法,解决现有封装方法存在的问题,使得微型真空腔长时间保持真空,满足十年以上使用寿命的要求。本发明包括:刻蚀步骤:在盖板圆片上对应硅基片MEMS器件的位置刻蚀相应空间尺寸的凹坑,再环绕凹坑刻蚀环形凹槽;吸气剂淀积步骤:在所述凹坑和凹槽内淀积吸气剂薄膜;键合步骤:在真空环境下将盖板圆片和硅基片紧密键合。本发明解决了现有封装方法存在的真空保持时间短、密封质量低、可靠性差、成本高的问题,可以长时间保持微型腔体内的真空度,极大的推动圆片级MEMS真空封装技术的发展和推广。

    一种基于深度学习的电力线频谱感知方法、装置、系统及存储介质

    公开(公告)号:CN116527080B

    公开(公告)日:2024-03-19

    申请号:CN202310364669.8

    申请日:2023-04-07

    Abstract: 本发明公开了一种基于深度学习的电力线频谱感知方法、装置和系统,属于电力线信道检测技术领域,所述方法包括:S1:将电力线的接收信号转化为频谱信号并作为训练数据;S2:利用训练数据对基于深度学习的初始残差网络进行训练,得到包括多个残差块的目标残差网络;S3:利用目标残差网络对残差块电力线的当前接收信号进行感知,判断残差块当前接收信号为高斯噪声、脉冲噪声或信号加噪声。利用基于深度学习的残差网络进行电力线接收信号的感知,判断其为高斯噪声、脉冲噪声或信号加噪声,能够快速缺精准获悉信道占用情况,便于根据电力线的信道占用情况进行信道使用,由此解决现有频谱感知方法计算复杂度但估计精度低的技术问题。

    一种嵌入式CR辅助的NOMA资源调度方法、装置、系统及介质

    公开(公告)号:CN117241390A

    公开(公告)日:2023-12-15

    申请号:CN202311282608.3

    申请日:2023-09-28

    Inventor: 郑明明 彭薇 刘川

    Abstract: 本发明公开了一种嵌入式CR辅助的NOMA资源调度方法、装置、系统及介质,属于无线通信系统频谱资源调度技术领域,包括以下步骤:认知无线电网络中的次用户(SU)感知主用户(PU)的频谱状态,并向融合中心(FC)发起频谱接入请求;FC获取当前时刻所有频谱空穴集合,并以各请求的SU接入后系统和速率最大为准则,确定最优频谱空穴接入策略并反馈于各请求的SU;各请求的SU根据所述反馈以嵌入式方式接入频谱空穴。与当前现有的两种CR范式相比,本发明提出的是一种嵌入式CR模式,其允许SUs访问PUs释放的频谱空穴而接入频谱,这种方法可以避免underlay和overlay范式带来的缺点,而且可以显著提升系统整体频谱利用率,且计算复杂度小的优点。

    微机电系统圆片级真空封装导线互连结构及其制造方法

    公开(公告)号:CN101638212A

    公开(公告)日:2010-02-03

    申请号:CN200910306690.2

    申请日:2009-09-08

    Abstract: 微机电系统圆片级真空封装互连结构及其制造方法,属于微机电系统的导线互连结构及其制造方法,解决现有互连结构套刻精度要求较高、不能保证腐蚀深度一致性的问题,提高真空度保持性,并实现电信号连通。本发明的互连结构,硅基板上开有通孔,通孔和硅基板表面具有绝缘层,金属电极穿过通孔并将其封闭,金属电极和绝缘层之间具有中间层,盖板与硅基板键合,盖板内的空间为放置MEMS器件的真空腔。本发明的方法包括:刻蚀通孔、制作绝缘层、制作中间层、制作金属电极、制作焊环或者腐蚀形成环形槽以及键合等步骤。本发明密封质量高、真空保持时间长、键合应力小、可靠性好,而成本较低,可极大促进圆片级MEMS真空封装技术的商业化推广。

    一种微机电系统的圆片级真空封装工艺

    公开(公告)号:CN101554987A

    公开(公告)日:2009-10-14

    申请号:CN200910061897.8

    申请日:2009-04-30

    Abstract: 一种微机电系统的圆片级真空封装工艺,属于微机电系统的封装方法,解决现有基于薄膜淀积真空封装工艺所存在的淀积薄膜较薄、腔体小,容易损坏,以及封装器件存在真空泄露、使用寿命降低的问题。本发明顺序包括:淀积吸气剂步骤;淀积薄牺牲层步骤;淀积缓冲腔牺牲层步骤;淀积厚牺牲层步骤;制作封装盖步骤;刻蚀释放孔步骤;去除牺牲层步骤和密封步骤。本发明解决了现有封装方法存在的真空保持时间短,密封质量低,封装尺寸大,工艺与标准IC工艺不兼容,成本高的问题,从而保证最里面的腔体气压;同时成本少于基于圆片键合工艺的真空封装,可以在常规的IC生产厂实现生产,极大的推动圆片级MEMS真空封装技术的发展和推广。

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