一种束流能量分析仪
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN108627866A

    公开(公告)日:2018-10-09

    申请号:CN201810357691.9

    申请日:2018-04-20

    IPC分类号: G01T1/29 G01T1/36

    摘要: 本发明公开一种束流能量分析仪,包括:刮束器、聚焦电极、减速栅网、收集极以及快速束流变压器FCT。刮束器用于电子束刮束,使得少部分电子束通过刮束器,进入能量分析仪内部;减速栅网用于提供减速电场,以对进入能量分析仪内的电子进行减速,能量大于减速电压的电子能够穿过减速栅网而被收集极收集;快速束流变压器FCT用于实时测量收集极收集到的电子流强。分析收集极收集到的电子流强与减速栅网电压的关系能够得到进入能量分析仪的电子的能谱,完整扫描束流横截面,可以得到束流的能谱。聚焦电极用于调节减速电场,提高能量分析仪测量精度。本发明大幅提高了低能强流电子束的能谱测量分辨率,最高相对分辨率可达0.2%。

    一种喷嘴距离可调的喷铯装置

    公开(公告)号:CN107457110A

    公开(公告)日:2017-12-12

    申请号:CN201710661921.6

    申请日:2017-08-04

    IPC分类号: B05B12/12 H01J9/02 H01J27/02

    摘要: 本发明公开了一种喷嘴距离可调的喷铯装置,包括:移动平台单元、喷铯装置主体单元和负离子腔室单元;负离子腔室单元包括:第一伸缩波纹管、负离子腔室和栅极板;第一伸缩波纹管的一端与所述喷铯装置主体单元相连,第一伸缩波纹管的另一端与负离子腔室相连;负离子腔室用于对铯等粒子的承接,栅极板设置于负离子腔室远离所述喷嘴侧,用于铯的沉覆;移动平台单元用于配合第一伸缩波纹管移动喷铯装置主体单元,同时还对喷铯装置主体单元起到支撑作用;当移动平台单元带动喷铯装置主体单元移动时,第一伸缩波纹管沿相同方向伸或缩,从而改变了喷嘴与所述栅极板的距离。本发明可以提高负离子品质,为负离子运行提供了另一个维度的变化参数。

    一种喷嘴距离可调的喷铯装置

    公开(公告)号:CN107457110B

    公开(公告)日:2019-04-12

    申请号:CN201710661921.6

    申请日:2017-08-04

    IPC分类号: B05B12/12 H01J9/02 H01J27/02

    摘要: 本发明公开了一种喷嘴距离可调的喷铯装置,包括:移动平台单元、喷铯装置主体单元和负离子腔室单元;负离子腔室单元包括:第一伸缩波纹管、负离子腔室和栅极板;第一伸缩波纹管的一端与所述喷铯装置主体单元相连,第一伸缩波纹管的另一端与负离子腔室相连;负离子腔室用于对铯等粒子的承接,栅极板设置于负离子腔室远离所述喷嘴侧,用于铯的沉覆;移动平台单元用于配合第一伸缩波纹管移动喷铯装置主体单元,同时还对喷铯装置主体单元起到支撑作用;当移动平台单元带动喷铯装置主体单元移动时,第一伸缩波纹管沿相同方向伸或缩,从而改变了喷嘴与所述栅极板的距离。本发明可以提高负离子品质,为负离子运行提供了另一个维度的变化参数。

    一种低能强流栅控电子枪

    公开(公告)号:CN107768218A

    公开(公告)日:2018-03-06

    申请号:CN201710857959.0

    申请日:2017-09-15

    IPC分类号: H01J29/48 H05H7/00

    摘要: 本发明公开了一种低能强流栅控电子枪,包括:发射体、聚焦电极、中间电极和阳极,其中,发射体和聚焦电极外接同一个负高压电源,中间电极外接正高压电源,中间电极的正高压与发射体的负高压形成加速电场,阳极接地,阳极零电位与中间电极的正高压形成减速电场,发射体使用阴栅组件发射电子束流,并使用聚焦电极聚焦电子束流,同时经过加速电场加速电子束流;最后经过减速电场减速电子束流,利用CST粒子跟踪和PIC算法修正电极的形状以及电极之间的距离。本发明控制束流流强并保持低的束流能散,有着低能、高导流系数、大压缩比、使用寿命长等优点,有较高的实用价值和广泛的应用前景。