一种光学元件支撑参数的蒙特卡洛分析方法及系统

    公开(公告)号:CN102902857B

    公开(公告)日:2015-06-03

    申请号:CN201210378060.8

    申请日:2012-10-08

    IPC分类号: G06F17/50

    摘要: 本发明公开了一种光学元件支撑参数的确定方法,该方法具体为:确定保证面形精度的最少支撑点数为最优支撑点数,并计算支撑点的理想支撑力;依据理想支撑力定义多个不同支撑力波动水平,计算不同支撑力水平下随机支撑力引起的镜片面形变化;统计并检验镜片面形畸变的随机分布规律,建立不同支撑力水平与光学元件成像质量的映射关系;根据质量控制标准,确定支撑力的波动范围。本发明基于蒙特卡洛方法,解析不均匀支撑力作用下镜片面形畸变的随机分布规律,分析不同随机支撑力水平对光学元件成像质量的影响,从而确定合理的支撑力波动范围,为光学元件支撑系统的设计和装调提供了有效的参考数据。