公开(公告)号：CN103280412B

公开(公告)日：2015-09-23

申请号：CN201310095073.9

申请日：2013-03-22

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 陶波 ,  朱钦淼 ,  程小明 ,  潘卫进 ,  薛天骋 ,  汤朋朋 ,  罗冲 ,  冯梦丹 ,  洪洋 ,  胡越 ,  周鹏 ,  张阳

IPC: H01L21/603

Abstract: 本发明公开了一种倒装键合设备中用于各向异性导电胶的热压装置，用于倒装键合设备中对导电胶进行热压，其特征在于，该热压装置包括：压头组件（2），用于对导向胶进行热压；导向组件（1），其设置在一支撑基座（4）上，所述压头组件（2）设置在该导向组件（1）上，所述压头组件（2）通过该导向组件（1）进行导向移动以完成热压；驱动组件（5），其设置在所述导向组件（1）一侧，用于驱动所述导向组件（1）直线移动，以实现其对压头组件（2）的导向移动。本发明的装置能够方便的实现热压工艺中的热压过程，并且具备压力稳定性和精度好，热压的精度高，结构紧凑等优点。

公开(公告)号：CN103280412A

公开(公告)日：2013-09-04

申请号：CN201310095073.9

申请日：2013-03-22

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 陶波 ,  朱钦淼 ,  程小明 ,  潘卫进 ,  薛天骋 ,  汤朋朋 ,  罗冲 ,  冯梦丹 ,  洪洋 ,  胡越 ,  周鹏 ,  张阳

IPC: H01L21/603

Abstract: 本发明公开了一种倒装键合设备中用于各向异性导电胶的热压装置，用于倒装键合设备中对导电胶进行热压，其特征在于，该热压装置包括：压头组件（2），用于对导向胶进行热压；导向组件（1），其设置在一支撑基座（4）上，所述压头组件（2）设置在该导向组件（1）上，所述压头组件（2）通过该导向组件（1）进行导向移动以完成热压；驱动组件（5），其设置在所述导向组件（1）一侧，用于驱动所述导向组件（1）直线移动，以实现其对压头组件（2）的导向移动。本发明的装置能够方便的实现热压工艺中的热压过程，并且具备压力稳定性和精度好，热压的精度高，结构紧凑等优点。

公开(公告)号：CN203205388U

公开(公告)日：2013-09-18

申请号：CN201320134791.8

申请日：2013-03-22

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 陶波 ,  朱钦淼 ,  程小明 ,  潘卫进 ,  薛天骋 ,  汤朋朋 ,  罗冲 ,  冯梦丹 ,  洪洋 ,  胡越 ,  周鹏 ,  张阳

IPC: H01L21/603

Abstract: 本实用新型公开了一种热压装置，用于倒装键合设备中对导电胶进行热压，其特征在于，该热压装置包括：压头组件（2），用于对导向胶进行热压；导向组件（1），其设置在一支撑基座（4）上，所述压头组件（2）设置在该导向组件（1）上，所述压头组件（2）通过该导向组件（1）进行导向移动以完成热压；驱动组件（5），其设置在所述导向组件（1）一侧，用于驱动所述导向组件（1）直线移动，以实现其对压头组件（2）的导向移动。本实用新型的装置能够方便的实现热压工艺中的热压过程，并且具备压力稳定性和精度好，热压的精度高，结构紧凑等优点。