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公开(公告)号：CN114664635A
公开(公告)日：2022-06-24
申请号：CN202210248129.9
申请日：2022-03-14
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明涉及离子束仪器技术领域，提供了一种飞行时间中的电喷雾离子质荷比筛选装置和方法。其中方法包括在偏转电极I上施加脉冲电压U1用于将离子束截断，使已经通过偏转电极I的离子束可以继续飞行通过后续过程；在经过偏转电极I截断后继续向前飞行的离子束仍是混合离子束，其中不同质荷比的离子飞行速度仍不相同，通过偏转电极I和脉冲偏转电极II之间存在的距离，使得飞行速度快的离子先到达脉冲偏转电极II；当目标飞行速度的离子到达偏转电极II时，通过在其上施加脉冲电压便可使目标速度的离子发生偏转，其中，通过控制脉冲电压U1和U2的脉冲电压的施加的时间差，获取指定速度分布的离子束。本发明可实现对电喷雾离子束等混合离子束实现分离得到特定质荷比的离子。
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公开(公告)号：CN112275696B
公开(公告)日：2022-02-15
申请号：CN202010974153.1
申请日：2020-09-16
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于半导体表面清洁相关技术领域，其公开了一种去除硅片表面吸附纳米级颗粒物的装置及方法，装置包括真空组件及连接于真空组件的液滴发射及加速组件；液滴发射与加速组件包括液体存储器、石墨电极、PEEK毛细管、熔融石英毛细管及接地的萃取电极；液体存储器设置在真空组件上方，其用于收容导电溶液；石墨电极设置在液体存储器上，其两端分别用于与直流电源相连接及与导电液体相接触；PEEK毛细管的一端与液体存储器相连接，另一端与熔融石英毛细管相连接，熔融石英毛细管的一端伸入真空组件内；萃取电极设置在真空组件内，且其与熔融石英毛细管所形成的发射尖端相对设置。本发明提高了清洁效率，降低了成本，实现移除后无液体残留。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114664635B
公开(公告)日：2024-06-18
申请号：CN202210248129.9
申请日：2022-03-14
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明涉及离子束仪器技术领域，提供了一种飞行时间中的电喷雾离子质荷比筛选装置和方法。其中方法包括在偏转电极I上施加脉冲电压U1用于将离子束截断，使已经通过偏转电极I的离子束可以继续飞行通过后续过程；在经过偏转电极I截断后继续向前飞行的离子束仍是混合离子束，其中不同质荷比的离子飞行速度仍不相同，通过偏转电极I和脉冲偏转电极II之间存在的距离，使得飞行速度快的离子先到达脉冲偏转电极II；当目标飞行速度的离子到达偏转电极II时，通过在其上施加脉冲电压便可使目标速度的离子发生偏转，其中，通过控制脉冲电压U1和U2的脉冲电压的施加的时间差，获取指定速度分布的离子束。本发明可实现对电喷雾离子束等混合离子束实现分离得到特定质荷比的离子。
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公开(公告)号：CN110994552B
公开(公告)日：2021-07-27
申请号：CN201911233871.7
申请日：2019-12-05
Applicant: 华中科技大学 , 国网湖北省电力有限公司武汉供电公司
Abstract: 本发明公开了一种变压器中性点地电流抑制装置的自主投切方法，包括地电流直流成分抑制模块、地电流多次谐波抑制模块、直流成分抑制模块投切开关、多次谐波抑制模块投切开关、电流传感器、信号采集模块以及投切控制模块；接收需要进行投切控制的区域内所有变压器中性点的电流数字信号以及开关状态信号；将电流数字信号进行分解得到直流分量和多次谐波分量，分别与对应的预设阈值进行比较，超过阈值为出现地电流分量过大的情况，求解达到地电流抑制效果的地电流直流成分抑制模块和地电流多次谐波抑制模块投入数目最少的方案，实现地电流抑制。本发明可有效地对区域内变压器中性点地电流进行整体抑制，提高电力系统的稳定性。
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公开(公告)号：CN112275696A
公开(公告)日：2021-01-29
申请号：CN202010974153.1
申请日：2020-09-16
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于半导体表面清洁相关技术领域，其公开了一种去除硅片表面吸附纳米级颗粒物的装置及方法，装置包括真空组件及连接于真空组件的液滴发射及加速组件；液滴发射与加速组件包括液体存储器、石墨电极、PEEK毛细管、熔融石英毛细管及接地的萃取电极；液体存储器设置在真空组件上方，其用于收容导电溶液；石墨电极设置在液体存储器上，其两端分别用于与直流电源相连接及与导电液体相接触；PEEK毛细管的一端与液体存储器相连接，另一端与熔融石英毛细管相连接，熔融石英毛细管的一端伸入真空组件内；萃取电极设置在真空组件内，且其与熔融石英毛细管所形成的发射尖端相对设置。本发明提高了清洁效率，降低了成本，实现移除后无液体残留。
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公开(公告)号：CN110994552A
公开(公告)日：2020-04-10
申请号：CN201911233871.7
申请日：2019-12-05
Applicant: 华中科技大学 , 国网湖北省电力有限公司武汉供电公司
Abstract: 本发明公开了一种变压器中性点地电流抑制装置的自主投切方法，包括地电流直流成分抑制模块、地电流多次谐波抑制模块、直流成分抑制模块投切开关、多次谐波抑制模块投切开关、电流传感器、信号采集模块以及投切控制模块；接收需要进行投切控制的区域内所有变压器中性点的电流数字信号以及开关状态信号；将电流数字信号进行分解得到直流分量和多次谐波分量，分别与对应的预设阈值进行比较，超过阈值为出现地电流分量过大的情况，求解达到地电流抑制效果的地电流直流成分抑制模块和地电流多次谐波抑制模块投入数目最少的方案，实现地电流抑制。本发明可有效地对区域内变压器中性点地电流进行整体抑制，提高电力系统的稳定性。
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公开(公告)号：CN210985659U
公开(公告)日：2020-07-10
申请号：CN201922121137.3
申请日：2019-11-29
Applicant: 国网湖北省电力有限公司武汉供电公司 , 华中科技大学
Abstract: 本实用新型公开了一种变压器中性点地电流抑制装置，包括地电流直流成分抑制模块、地电流多次谐波抑制模块、直流成分抑制模块投切开关、多次谐波抑制模块投切开关、电流传感器、投切控制模块；接收需要进行投切控制的变压器中性点的电流信号以及开关状态信号；将电流信号进行分解得到直流分量和多次谐波分量，分别与对应的预设阈值进行比较，超过阈值为出现过大地电流分量的情况，投入相应的地电流直流成分抑制模块和地电流多次谐波抑制模块，实现地电流抑制。本实用新型可有效地对变压器中性点地电流进行抑制，提高电力系统的稳定性。
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