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公开(公告)号：CN1247444C
公开(公告)日：2006-03-29
申请号：CN200410012626.0
申请日：2004-01-06
Applicant: 华中科技大学
IPC: B81C5/00 , H01L21/306
Abstract: 本发明公开了一种与集成电路工艺兼容的三维微结构模压刻蚀方法。该方法是利用叠层原理制造具有任意曲面的三维模压刻蚀模具，然后将该三维模具对衬底上的软质材料层进行模压刻蚀，得到微系统的三维结构。该方法的关键技术三维模具的制造，是通过叠层制造的方法获得，其中每一单层的制作属于二维平面结构制造，因此与集成电路工艺完全兼容；将对准过程集中在三维模具的制作过程中一次完成，降低了模压刻蚀工艺对套刻对准需求，提高了生产效率。此外，可以使用一块三维模具对不同材料多次重复使用，进行大批量生产，进一步降低了成本。
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公开(公告)号：CN101435890A
公开(公告)日：2009-05-20
申请号：CN200810236730.6
申请日：2008-12-09
Applicant: 华中科技大学
IPC: G02B5/30
Abstract: 亚波长金属光栅偏振器，属于光学偏振器件，具体涉及一种线栅偏振器，克服现有同类器件透过率和消光比不高的问题。本发明在基底上具有金属条纹光栅，金属条纹光栅表面具有保护层，基底与金属条纹光栅连接的界面具有多层介质膜层，基底另一界面具有多层介质减反膜层，多层介质膜层为减反膜层、增反膜层、带通滤光膜层中的一种。本发明在入射光和出射光两个界面增加了相应的光学薄膜，使透过率和偏振消光比得到较大提高，克服现有同类器件透过率和消光比不高的问题；能够单独作为光学起偏器或检偏器使用；也能够作为激光器输出耦合镜，激光器输出为线偏振光，并且波长能够调谐；可用于光学测量、光通信、激光等领域。
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公开(公告)号：CN101419402A
公开(公告)日：2009-04-29
申请号：CN200810197859.0
申请日：2008-11-21
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 一种硬质合金冲压模具的制作方法，属于冲压模具的精细加工方法，克服现有技术在硬质合金表面制作模具条纹尺寸太大的问题，提高目前贵重金属货币、印章和其它通过冲压形成图纹的产品的防伪能力。本发明包括涂胶步骤，曝光步骤，显影步骤，老化处理步骤，侧、背面保护步骤，刻蚀步骤，去胶步骤和镀铬步骤。本发明能缩短模具制作周期、降低成本，特别是能制作不同色彩、隐形图纹和微纳尺寸的文字等防伪图案，图纹线条最细可以达到nm(纳米)级，深度和宽度之比也能达到10∶1，甚至更大；1mm(毫米)范围内，条纹数量可以到数千条；能提高各种贵重金属币、章和其它通过冲压形成图纹的产品的防伪能力。
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公开(公告)号：CN1233874C
公开(公告)日：2005-12-28
申请号：CN03125279.6
申请日：2003-08-15
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种激光电化学微制造装置，其结构为：可更换的衬里位于外壳内，外壳上设有可活动盖板，盖板上设有电源正、负接线柱、进气口、排气口和可更换的激光窗口，第一、第二电极支架相互垂直，并分别通过二组固定在盖板上的调节丝杆和调节螺母调节其距离和位置，在第一电极支架上设置有一对可移动的电极夹具。本发明所说的装置采用可以更换或可以进行调节的部件，根据不同的工艺要求，增减某些部件或连接，使得该装置适应于激光微制造、化学微制造、电化学微制造、激光化学微制造和激光电化学微制造工艺，并可以满足上述工艺中参数和条件变化的要求。同时该装置通过更换或调节某些部件达到上述目的，具有设计简单、安装调节方便、制造成本低廉的特点。
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公开(公告)号：CN1556027A
公开(公告)日：2004-12-22
申请号：CN200410012626.0
申请日：2004-01-06
Applicant: 华中科技大学
IPC: B81C5/00 , H01L21/306
Abstract: 本发明公开了一种与集成电路工艺兼容的三维微结构模压刻蚀方法。该方法是利用叠层原理制造具有任意曲面的三维模压刻蚀模具，然后将该三维模具对衬底上的软质材料层进行模压刻蚀，得到微系统的三维结构。该方法的关键技术三维模具的制造，是通过叠层制造的方法获得，其中每一单层的制作属于二维平面结构制造，因此与集成电路工艺完全兼容；将对准过程集中在三维模具的制作过程中一次完成，降低了模压刻蚀工艺对套刻对准需求，提高了生产效率。此外，可以使用一块三维模具对不同材料多次重复使用，进行大批量生产，进一步降低了成本。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1488779A
公开(公告)日：2004-04-14
申请号：CN03125279.6
申请日：2003-08-15
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种多用途激光电化学微制造装置，其结构为：可更换的衬里位于外壳内，外壳上设有可活动盖板，盖板上设有电源正、负接线柱、进气口、排气口和可更换的激光窗口，电极支架相互垂直，并分别通过二组固定在盖板上的调节丝杆和调节螺母调节其距离和位置，在电极支架上设置有一对可移动的电极夹具。本发明所说的装置采用可以更换或可以进行调节的部件，根据不同的工艺要求，增减某些部件或连接，使得该装置适应于激光微制造、化学微制造、电化学微制造、激光化学微制造和激光电化学微制造工艺，并可以满足上述工艺中参数和条件变化的要求。同时该装置通过更换或调节某些部件达到上述目的，具有设计简单、安装调节方便、制造成本低廉的特点。
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公开(公告)号：CN101419402B
公开(公告)日：2011-06-29
申请号：CN200810197859.0
申请日：2008-11-21
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 一种硬质合金冲压模具的制作方法，属于冲压模具的精细加工方法，克服现有技术在硬质合金表面制作模具条纹尺寸太大的问题，提高目前贵重金属货币、印章和其它通过冲压形成图纹的产品的防伪能力。本发明包括涂胶步骤，曝光步骤，显影步骤，老化处理步骤，侧、背面保护步骤，刻蚀步骤，去胶步骤和镀铬步骤。本发明能缩短模具制作周期、降低成本，特别是能制作不同色彩、隐形图纹和微纳尺寸的文字等防伪图案，图纹线条最细可以达到nm(纳米)级，深度和宽度之比也能达到10：1，甚至更大；1mm(毫米)范围内，条纹数量可以到数千条；能提高各种贵重金属币、章和其它通过冲压形成图纹的产品的防伪能力。
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公开(公告)号：CN1259598C
公开(公告)日：2006-06-14
申请号：CN200310111573.3
申请日：2003-12-12
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于微制造领域，针对传统方法缺点，把准分子激光、集成电路制版光刻、电化学和扫描探针显微技术融合成新的加工方法，步骤为：(1)首先制备显微探针阵列；(2)将基片固定于平板电极和显微探针阵列之间，产生负压，注入保护气体；(3)注入电解质溶液后在电极之间施加电压，同时通入准分子激光控制电化学反应，完成加工过程。相应装置在激光微加工机工作台上装电化学反应室，它包括激光气动窗口、保护气体入口、真空泵接口、电解质溶液入口、显微探针阵列、平板电极、辅助电化学反应气体入口和废物出口。利用本发明可在金属、半导体基片上得到宽深比5-50、特征尺寸1-50微米的微结构，在环保、纺织、造纸、能源、信息和国防等领域有广泛用途。
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公开(公告)号：CN1547079A
公开(公告)日：2004-11-17
申请号：CN200310111573.3
申请日：2003-12-12
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于微制造领域，针对传统方法缺点，把准分子激光、集成电路制版光刻、电化学和扫描探针显微技术融合成新的加工方法，步骤为：(1)首先制备显微探针阵列；(2)将基片固定于平板电极和显微探针阵列之间，产生负压，注入保护气体；(3)注入电解质溶液后在电极之间施加电压，同时通入准分子激光控制电化学反应，完成加工过程。相应装置在激光微加工机工作台上装电化学反应室，它包括激光气动窗口、保护气体入口、真空泵接口、电解质溶液入口、显微探针阵列、平板电极、辅助电化学反应气体入口和废物出口。利用本发明可在金属、半导体基片上得到宽深比5－50、特征尺寸1－50微米的微结构，在环保、纺织、造纸、能源、信息和国防等领域有广泛用途。
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公开(公告)号：CN2652949Y
公开(公告)日：2004-11-03
申请号：CN03255128.2
申请日：2003-08-15
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本实用新型公开了一种多用途激光电化学微制造装置，其结构为：可更换的衬里位于外壳内，外壳上设有可活动盖板，盖板上设有电源正、负接线柱、进气口、排气口和可更换的激光窗口，电极支架相互垂直，并分别通过二组固定在盖板上的调节丝杆和调节螺母调节其距离和位置，在电极支架上设置有一对可移动的电极夹具。本实用新型所说的装置采用可以更换或可以进行调节的部件，根据不同的工艺要求，增减某些部件或连接，使得该装置适应于激光微制造、化学微制造、电化学微制造、激光化学微制造和激光电化学微制造工艺，并可以满足上述工艺中参数和条件变化的要求。同时该装置通过更换或调节某些部件达到上述目的，具有设计简单、安装调节方便、制造成本低廉的特点。
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