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公开(公告)号：CN110986803A
公开(公告)日：2020-04-10
申请号：CN201911326074.3
申请日：2019-12-20
申请人： 华南师范大学
IPC分类号： G01B11/06
摘要： 本发明公开了一种玻璃间隙空气层厚度测量系统及方法，该方法包括以下步骤：将经过激光焊接系统后的成品作为样品放置在样品载物台系统中，调节夹具使样品竖直但不夹紧；通过调节窗口区域限制系统将所需测量区域展现出来，遮挡其他部分；打开激光器，适当调整激光器载物台系统和白屏的位置，使干涉现象明显；通过干涉现象中的圆心手动调节样品位置使圆心与边界重合，然后旋转夹具夹紧样品；通过入射角测量系统读出入射角的角度，通过白屏现象读出干涉条纹级数及激光器所发射激光的波长，即可得出所测量位置的玻璃间隙空气层厚度。本发明采用干涉法对焊接后玻璃的空气间隙厚度进行测量，实验所得干涉条纹对比度高，条纹数易确定，测量过程调节简易。
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公开(公告)号：CN111702330A
公开(公告)日：2020-09-25
申请号：CN202010410755.4
申请日：2020-05-15
申请人： 华南师范大学
摘要： 本发明提供了一种镀铜玻璃的焊接系统及焊接方法，属于激光焊接技术领域。本焊接系统包括激光器、光路系统、扩束镜、折返镜、振镜、聚焦镜头和辅助夹具，激光器发射的激光束经过光路系统后入射至扩束镜，之后激光束通过折返镜，之后激光束再经过振镜，之后激光束经过聚焦镜头进行聚焦，经过聚焦的激光束透过辅助夹具在试样内部形成光斑，光斑对试样进行焊接。本焊接系统及焊接方法能够很好地提高焊接效果。
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公开(公告)号：CN109909610A
公开(公告)日：2019-06-21
申请号：CN201811534088.X
申请日：2018-12-14
申请人： 华南师范大学
IPC分类号： B23K26/21 , B23K26/32 , B23K26/324
摘要： 本发明属于激光微纳加工领域，涉及一种硅片和玻璃的焊接方法。本发明的焊接方法包括以下步骤：S100：在硅片上镀上金属膜，形成金属镀膜层；S200：将硅片镀膜面与玻璃贴合前，将玻璃用无水乙醇或者丙酮溶液超声清洗2～5分钟；S300：将硅片镀膜面与玻璃贴合；S400：纳秒激光焊接。本发明方法不仅能够降低加工成本、实现产业化要求，并且由于镀入的金属镀膜层具有极好的导电性等性能，激光焊接的技术能够更广泛地应用于微电子器件加工领域，极大地拓宽了这一技术的应用范围。
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公开(公告)号：CN211005141U
公开(公告)日：2020-07-14
申请号：CN201822103678.9
申请日：2018-12-14
申请人： 华南师范大学
摘要： 本实用新型保护一种半导体材料与玻璃的焊接结构，涉及焊接技术领域，包括半导体材料层、玻璃层以及位于半导体材料层和玻璃层之间的金属连接层；所述金属连接层与半导体材料层的连接方式为熔接或者部分熔接；所述金属连接层与玻璃层的连接方式为熔接或者部分熔接。本实用新型的半导体与玻璃的焊接结构更稳定，能适用于更多领域；配以本实用新型的焊接系统制备更简单、成本更低。
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公开(公告)号：CN211651520U
公开(公告)日：2020-10-09
申请号：CN201922311460.7
申请日：2019-12-20
申请人： 华南师范大学
IPC分类号： G01B11/06
摘要： 本实用新型公开了一种玻璃间隙空气层厚度测量系统，包括夹具、样品载物台系统、窗口区域限制系统、入射角测量系统、激光器、激光器载物台系统和白屏；激光器位于激光器载物台系统内，激光器载物台系统位于样品载物台系统的右侧，白屏位于样品载物台系统的右侧，窗口区域限制系统与样品载物台系统相连，位于右侧下方，入射角测量系统与窗口区域限制系统相连，位于右侧，夹具位于样品载物台系统的左侧，夹具用于固定待测量玻璃样品。本实用新型采用干涉法对焊接后玻璃的空气间隙厚度进行测量，实验所得干涉条纹对比度高，条纹数易确定，测量过程调节简易。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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