公开(公告)号：CN114990476A

公开(公告)日：2022-09-02

申请号：CN202210533596.6

申请日：2022-05-17

Applicant: 华南理工大学

Inventor： 廖嘉诚 ,  李标章 ,  彭继华

IPC: C23C14/02 ,  C23C14/06 ,  C23C14/18 ,  C23C14/35 ,  H01M8/0206 ,  H01M8/0228

Abstract: 本发明公开了一种氮掺杂四面体非晶碳薄膜及其制备方法和应用。本发明的氮掺杂四面体非晶碳薄膜的制备方法包括以下步骤：1)保护气氛中，通过磁控溅射技术利用Ti靶在单晶硅基体表面沉积Ti过渡层；2)抽真空条件下，通过磁过滤阴极电弧技术利用石墨靶并控制负偏压为‑1300V～‑1100V在Ti过渡层上沉积类金刚石过渡层；3)氮气气氛中，通过磁过滤阴极电弧技术利用石墨靶并控制负偏压为‑400V～‑120V在类金刚石过渡层上沉积ta‑C层，即得氮掺杂四面体非晶碳薄膜。本发明的氮掺杂四面体非晶碳薄膜兼具低电阻率和高硬度，且厚度大，可以应用在燃料电池的双极板上，适合进行大规模推广应用。

公开(公告)号：CN111020502A

公开(公告)日：2020-04-17

申请号：CN201911203046.2

申请日：2019-11-29

Applicant: 华南理工大学 ,  广东耐信镀膜科技有限公司

Inventor： 陆龙生 ,  李凯凯 ,  姚蔚 ,  李标章 ,  黄裕祥 ,  谢颖熙 ,  汤勇

IPC: C23C14/35 ,  C23C14/02 ,  C23C14/06 ,  C23C14/16

Abstract: 本发明提供了一种仿荷叶的疏水抗血清粘附表面及其制备方法，包括医用不锈钢以及在不锈钢的上表面形成的若干微米级“乳突”状结构，“乳突”状结构的表面具有纳米级的溅射颗粒，“乳突”状结构表面和溅射颗粒表面均覆盖有氮化铬涂层。所述制备方法包括如下步骤：将医用不锈钢钢材切片，然后进行打磨抛光，清洗，真空干燥；利用纳秒激光进行刻蚀加工，浸入酸性溶液中，清洗，真空干燥；利用磁控溅射方法沉积氮化铬涂层，清洗，吹干。制备工艺简单，绿色无污染，可控性好，且制备的表面具有优异的疏水和抗血清粘附性能，可应用于解决手术刀、支架及其他医疗器械表面的血液粘附问题。

公开(公告)号：CN114990476B

公开(公告)日：2023-05-23

申请号：CN202210533596.6

申请日：2022-05-17

Applicant: 华南理工大学

Inventor： 廖嘉诚 ,  李标章 ,  彭继华

IPC: C23C14/02 ,  C23C14/06 ,  C23C14/18 ,  C23C14/35 ,  H01M8/0206 ,  H01M8/0228

Abstract: 本发明公开了一种氮掺杂四面体非晶碳薄膜及其制备方法和应用。本发明的氮掺杂四面体非晶碳薄膜的制备方法包括以下步骤：1)保护气氛中，通过磁控溅射技术利用Ti靶在单晶硅基体表面沉积Ti过渡层；2)抽真空条件下，通过磁过滤阴极电弧技术利用石墨靶并控制负偏压为‑1300V～‑1100V在Ti过渡层上沉积类金刚石过渡层；3)氮气气氛中，通过磁过滤阴极电弧技术利用石墨靶并控制负偏压为‑400V～‑120V在类金刚石过渡层上沉积ta‑C层，即得氮掺杂四面体非晶碳薄膜。本发明的氮掺杂四面体非晶碳薄膜兼具低电阻率和高硬度，且厚度大，可以应用在燃料电池的双极板上，适合进行大规模推广应用。