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公开(公告)号：CN116445044B
公开(公告)日：2024-02-06
申请号：CN202310261443.5
申请日：2023-03-17
申请人： 华南理工大学
IPC分类号： C09D129/04 , H01B13/00 , H01B5/14 , C09D7/61
摘要： 本发明属于电子技术领域，具体涉及一种复合结构柔性透明介电层及其低温制备方法与应用。将含有铪、镁、钛、钇、锆的前驱体溶液与含有极性基团的有机大分子前驱体溶液等体积混合，分散均匀，旋涂于衬底上，进行预退火，然后进行热退火，得到所述的复合结构柔性透明介电层。本发明通过结合低漏电流的高熵金属氧化物薄膜和高抗弯折性的有机大分子来制备柔性介电层。两者通过配位螯合以及氧化还原反应形成稳
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公开(公告)号：CN113359361B
公开(公告)日：2022-10-25
申请号：CN202110498074.2
申请日：2021-05-08
申请人： 华南理工大学
IPC分类号： G02F1/15 , G02F1/1514 , G02F1/153 , G02F1/155
摘要： 本发明公开了一种微腔注入型电致变色器件及其制备方法与应用。所述器件的结构包括电动推杆、储液袋、微腔和储气袋；微腔上下两端设有开口，微腔结构依次为玻璃基板、ITO电极、金属钨薄膜、玻璃微珠、金属钨薄膜、ITO)电极和玻璃基板，玻璃微珠间隙形成空腔；储液袋、微腔、储气袋相连形成一个密闭空间，储液袋装有电致变色液，电动推杆与储液袋相连。本发明的电致变色器件变色和褪色完全不依赖电致变色层，本发明褪色机理为电负性不同的着色态阴离子和溶剂或储液袋内表面发生摩擦而发生电子交换转移，失去电子氧化成无色的高价态阴离子，因此不存在离子侵蚀的问题。
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公开(公告)号：CN117518666A
公开(公告)日：2024-02-06
申请号：CN202311424750.7
申请日：2023-10-31
申请人： 华南理工大学
摘要： 本发明属于光学及电致变色领域，公开一种基于反射型薄膜的光电结构及其制备与应用。本发明一种基于反射型薄膜的光电结构，从下往上依次包括反射层、透明基板、导电层、折光层。本发明所述的结构对金属反射层具有保护性，极大的提升了器件的寿命；本发明的结构封装电解液后得到多彩电致变色器件，多彩电致变色结构金属反射层与折光层、电解液层分离，增加了器件材料的可选择性，实现了更多颜色的变化。
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公开(公告)号：CN118471686A
公开(公告)日：2024-08-09
申请号：CN202410529976.1
申请日：2024-04-29
申请人： 华南理工大学
IPC分类号： H01G4/10 , C23C16/40 , C23C16/455 , H01G4/33
摘要： 本发明公开了一种高透射的低漏电高介电常数复合薄膜及其制备与应用。所述复合薄膜基于原子层沉积所得，由氧化铪层和氧化铝层交替叠加得到。制备方法工艺简单，通过控制氧化铪和氧化铝在氧化铪‑氧化铝叠层复合薄膜中的厚度比例实现介电性能的调控，获得介电性能优异的复合介电薄膜，该薄膜具有高介电常数、低漏电和高介电强度，在可见光范围高透明，因此在透明电子器件领域有巨大的潜力。
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公开(公告)号：CN118480771A
公开(公告)日：2024-08-13
申请号：CN202410453216.7
申请日：2024-04-16
申请人： 华南理工大学
IPC分类号： C23C16/455 , C23C16/40 , C23C16/52
摘要： 本发明公开了一种基于缺陷诱导调控的高性能多组分薄膜制备方法与应用，制备方法包括以下步骤：S1、将衬底放入铝腔内抽真空达到一定的腔体气压，并将铝腔加热；S2、向腔体内先脉冲注入第一金属前驱体，惰性气体吹扫，接着脉冲注入第二金属前驱体，惰性气体吹扫，通入氧化剂将前驱体氧化，惰性气体吹扫；S3、重复N次上述步骤S2，得到一定厚度的均匀掺杂薄膜。本发明提出的方法减少了多组分薄膜沉积时前驱体的原子间隙填补效应，这不仅减少了薄膜内部的原子空位，实现了无生长延迟的生长模式，同时减小了薄膜表面起伏，改善了薄膜的表面特性，有利于所制备的薄膜与其余功能层实现良好的界面接触。
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公开(公告)号：CN116445044A
公开(公告)日：2023-07-18
申请号：CN202310261443.5
申请日：2023-03-17
申请人： 华南理工大学
IPC分类号： C09D129/04 , H01B13/00 , H01B5/14 , C09D7/61
摘要： 本发明属于电子技术领域，具体涉及一种复合结构柔性透明介电层及其低温制备方法与应用。将含有铪、镁、钛、钇、锆的前驱体溶液与含有极性基团的有机大分子前驱体溶液等体积混合，分散均匀，旋涂于衬底上，进行预退火，然后进行热退火，得到所述的复合结构柔性透明介电层。本发明通过结合低漏电流的高熵金属氧化物薄膜和高抗弯折性的有机大分子来制备柔性介电层。两者通过配位螯合以及氧化还原反应形成稳定的网络结构，可以增加薄膜抗弯折的能力，并且降低退火温度，使其符合柔性基板的要求。
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公开(公告)号：CN114013181B
公开(公告)日：2022-12-16
申请号：CN202111410681.5
申请日：2021-11-25
申请人： 华南理工大学
摘要： 本发明公开了一种基于轮转墨孔的可变尺寸压电喷头及其控制方法。本基于轮转墨孔的可变尺寸压电喷头包括安装架、三台电机、压电喷头及其升降器、带不同孔径轮转墨孔的轮转基底、除液棒及其升降器，分别由轮转基底配合压电喷头及其升降器实现不同孔径轮转墨孔的选择与喷射过程。本发明的有益效果在于，可设置多种尺寸的孔径，利用激光技术加工孔径达到最小尺寸为亚微米级别的效果实现超高精细度喷印的功能，解决了现有技术中压电喷头的喷嘴尺寸制约喷印精度的问题，满足不同目标的印刷需求。
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公开(公告)号：CN114013181A
公开(公告)日：2022-02-08
申请号：CN202111410681.5
申请日：2021-11-25
申请人： 华南理工大学
摘要： 本发明公开了一种基于轮转墨孔的可变尺寸压电喷头及其控制方法。本基于轮转墨孔的可变尺寸压电喷头包括安装架、三台电机、压电喷头及其升降器、带不同孔径轮转墨孔的轮转基底、除液棒及其升降器，分别由轮转基底配合压电喷头及其升降器实现不同孔径轮转墨孔的选择与喷射过程。本发明的有益效果在于，可设置多种尺寸的孔径，利用激光技术加工孔径达到最小尺寸为亚微米级别的效果实现超高精细度喷印的功能，解决了现有技术中压电喷头的喷嘴尺寸制约喷印精度的问题，满足不同目标的印刷需求。
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公开(公告)号：CN115368595A
公开(公告)日：2022-11-22
申请号：CN202110540220.3
申请日：2021-05-18
申请人： 华南理工大学
摘要： 本发明公开了一种聚乙烯醇有机介电层及其制备方法与应用。所述方法具体为：通过双溶剂体系，利用高分子的溶解原理，调整聚乙烯醇在溶液中的分子形态，使其发生蜷缩，所得旋涂液通过旋涂和退火处理后，以这种蜷缩态存在的聚乙烯醇制备有机介电层薄膜可以减少薄膜表面羟基分子。本发明方法制得的有机介电层蜷缩的高分子结构可以解决聚乙烯醇薄膜表面羟基分子过多的问题，从而提高薄膜的介电性能，降低漏电流。
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公开(公告)号：CN114373683A
公开(公告)日：2022-04-19
申请号：CN202111531363.4
申请日：2021-12-15
申请人： 华南理工大学
IPC分类号： H01L21/465 , H01L21/02
摘要： 本发明公开了一种低温等离子后处理提高柔性氧化物TFT器件可靠性的方法。制备方法包括如下步骤：(1)制备栅极、绝缘层和有源层；(2)在较低温度下进行氧气气氛退火；(3)进行两步掩膜版等离子处理，第一步采用高能氮气等离子处理，第二步采用低能氮气+氧气混合气体等离子处理；(4)通过直流溅射制备铝源漏电极，得到TFT器件。本发明方法具有设备简单、可大面积处理、处理时间短、工艺温度低等优势，采用两步等离子处理方法，可以充分发挥其能量传递和界面反应的优化作用。低温工艺不会对柔性衬底造成损伤，其普遍适用于柔性AOS‑TFT器件的可靠性提高。
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