一种六氟化硫气体提纯净化装置及方法

    公开(公告)号:CN117815852A

    公开(公告)日:2024-04-05

    申请号:CN202410010508.3

    申请日:2024-01-03

    Abstract: 本发明提出一种六氟化硫气体提纯净化装置及方法,方法包括:开启第一真空泵,将含有杂质的六氟化硫气体引入一级分离室的第一腔室,且使小于第一过滤膜的孔径的第一杂质气体穿过第一过滤膜后进入第二腔室,第一杂质气体经过第一出气管排出;开启第二真空泵,经过第一次除杂后的混合气体通过连接管进入二级分离室的第三腔室,且使大于第二过滤膜的孔径的第二杂质气体通过第三出气管排出后进行收集,经过二次除杂后的六氟化硫气体经过第二过滤膜后进入第四腔室,且通过第二出气管排出后收集。本发明利用锆基金属有机框架膜对六氟化硫气体除杂,使六氟化硫气体在常温下进行提纯与净化,以达到对六氟化硫气体回收再利用的目的。

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