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公开(公告)号：CN115498066A
公开(公告)日：2022-12-20
申请号：CN202211150761.6
申请日：2022-09-21
申请人： 华能新能源股份有限公司 , 中国华能集团清洁能源技术研究院有限公司 , 华能青海发电有限公司
摘要： 本发明公开了一种均匀的加热退火装置及方法，其用于对基板加热退火，包括：加热平台，具有排气口和环状的第一密封槽，第一密封槽位于排气口的外圈；受压可形变的第一密封圈，第一密封圈设置在第一密封槽内，并且第一密封圈凸出第一密封槽用于支撑所述基板，基板在加热平台上的竖直投影能够完全遮挡第一密封圈；上腔盖，上腔盖与加热平台可拆卸的密封连接，且上腔盖与加热平台连接后形成容置基板的加热腔，加热腔的压力可调。通过增大基板两侧之间的压差，使基板挤压第一密封圈，第一密封圈受压变形，直至基板与加热平台紧密接触，从而形成良好的热传导，并且受热均匀，避免了因受热不均而产生的翘曲应变和接触不良的问题。
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公开(公告)号：CN115547884A
公开(公告)日：2022-12-30
申请号：CN202211150342.2
申请日：2022-09-21
申请人： 华能新能源股份有限公司 , 中国华能集团清洁能源技术研究院有限公司 , 华能青海发电有限公司
IPC分类号： H01L21/67 , H01L21/683 , H01L31/18 , H05B3/04
摘要： 本发明公开了一种真空吸附的加热退火装置及加热退火方法，包括：加热平台，具有沿周向布置的密封圈，密封圈凸出加热平台的表面并用于支撑基板，基板在加热平台上的竖直投影能够完全遮挡密封圈；真空吸附组件，设置在加热平台上，密封圈饶设在真空吸附组件外侧，真空吸附组件吸附基板时密封圈受压与加热平台平齐。通过真空吸附基板，以使基板靠近加热平台，使基板挤压密封圈，密封圈受压变形，直至基板与加热平台紧密接触，由于密封圈的密封作用，可使加热平台与基板之间密封连接，避免了密封不严，真空吸盘组件吸附时吸附效果不稳定的问题，从而形成良好的热传导，并且受热均匀，避免因接触不良导致受热不均从而产生的翘曲应变和裂片的问题。
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公开(公告)号：CN218647887U
公开(公告)日：2023-03-17
申请号：CN202222506108.0
申请日：2022-09-21
申请人： 华能新能源股份有限公司 , 中国华能集团清洁能源技术研究院有限公司 , 华能青海发电有限公司
IPC分类号： H01L21/67 , H01L21/683 , H01L31/18 , H05B3/04
摘要： 本实用新型公开了一种真空吸附的加热退火装置，包括：加热平台，具有沿周向布置的密封圈，密封圈凸出加热平台的表面并用于支撑基板，基板在加热平台上的竖直投影能够完全遮挡密封圈；真空吸附组件，设置在加热平台上，密封圈饶设在真空吸附组件外侧，真空吸附组件吸附基板时密封圈受压与加热平台平齐。通过真空吸附基板，以使基板靠近加热平台，使基板挤压密封圈，密封圈受压变形，直至基板与加热平台紧密接触，由于密封圈的密封作用，可使加热平台与基板之间密封连接，避免了密封不严，真空吸盘组件吸附时吸附效果不稳定的问题，从而形成良好的热传导，并且受热均匀，避免因接触不良导致受热不均从而产生的翘曲应变和裂片的问题。
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公开(公告)号：CN218827195U
公开(公告)日：2023-04-07
申请号：CN202222506149.X
申请日：2022-09-21
申请人： 华能新能源股份有限公司 , 中国华能集团清洁能源技术研究院有限公司 , 华能青海发电有限公司
摘要： 本实用新型公开了一种均匀的加热退火装置，其用于对基板加热退火，包括：加热平台，具有排气口和环状的第一密封槽，第一密封槽位于排气口的外圈；受压可形变的第一密封圈，第一密封圈设置在第一密封槽内，并且第一密封圈凸出第一密封槽用于支撑所述基板，基板在加热平台上的竖直投影能够完全遮挡第一密封圈；上腔盖，上腔盖与加热平台可拆卸的密封连接，且上腔盖与加热平台连接后形成容置基板的加热腔，加热腔的压力可调。通过增大基板两侧之间的压差，使基板挤压第一密封圈，第一密封圈受压变形，直至基板与加热平台紧密接触，从而形成良好的热传导，并且受热均匀，避免了因受热不均而产生的翘曲应变和接触不良的问题。
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