公开(公告)号：CN1096873A

公开(公告)日：1994-12-28

申请号：CN93111560.4

申请日：1993-06-26

Applicant: 南京理工大学

Inventor： 陈进榜 ,  宋德真 ,  朱日宏 ,  陈道炯 ,  王青 ,  陈磊 ,  唐文达 ,  何勇 ,  贡元庆 ,  李顺义 ,  金国佑 ,  余益吾

IPC: G01B9/02 ,  G01B11/30

Abstract: 本发明公开了一种高精度大孔径移相式数字平面干涉仪，它主要由立式菲索干涉仪、扩展装置、移相器及驱动源、控制源、图像采集系统和微机等组成。其优点是仪器的有效检测孔径为Φ245mm，准确度为λ/50(峰—谷值)，系统光学质量为λ/20，扩展孔径达到Φ500mm，准确度为λ/20。本仪器可自动校正移相器的非线性位移误差，并采用带阻尼板的液面作为校正仪器系统误差的基准平面，使仪器检测精度得到提高，特别适用于大口径光学平面玻璃的检测。

公开(公告)号：CN1038781C

公开(公告)日：1998-06-17

申请号：CN93111560.4

申请日：1993-06-26

Applicant: 南京理工大学

Inventor： 陈进榜 ,  宋德真 ,  朱日宏 ,  陈道炯 ,  王青 ,  陈磊 ,  唐文达 ,  何勇 ,  贡元庆 ,  李顺义 ,  金国佑 ,  余益吾

IPC: G01B9/02 ,  G01B11/30

Abstract: 本发明公开了一种高精度大孔径移相式数字平面干涉仪，它主要由立式菲索干涉仪、扩展装置、移相器及驱动源、控制源、图像采集系统和微机等组成。其优点是仪器的有效检测孔径为Φ245mm，准确度为λ/50(峰-谷值)，系统光学质量为λ/20，扩展孔径达到Φ500mm，准确度为λ/20。本仪器可自动校正移相器的非线性位移误差，并采用带阻尼扳的液面作为校正仪器系统误差的基准平面，使仪器检测精度得到提高，特别适用于大口径光学平面玻璃的检测。