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发明公开
超短脉冲激光加工方法及系统审中-实审

公开(公告)号：CN116921852A

公开(公告)日：2023-10-24

申请号：CN202311152526.7

申请日：2023-09-08

Applicant: 南京航空航天大学

Inventor： 李志鹏 , 刘海旭 , 靳萌萌 , 盛希 , 左敦稳

IPC: B23K26/00 , B23K26/352

Abstract: 本发明公开了一种超短脉冲激光加工方法，涉及单晶4H‑SiC等硬脆材料的加工技术领域，主要包括以下步骤：S1、通过超短脉冲激光对工件的待加工表面进行预处理；S2、对经预处理后的所述工件的待加工表面进行抛光处理。本发明中还公开了一种超短脉冲激光加工系统，用于实施上述的超短脉冲激光加工方法，主要包括超短脉冲激光器和抛光机。本发明能够降低工件材料表面/亚表面损伤，并提高加工效率。

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