一种激光系统、激光-CMP复合加工装置及其加工方法

    公开(公告)号:CN118664060A

    公开(公告)日:2024-09-20

    申请号:CN202410881340.3

    申请日:2024-07-03

    Abstract: 本发明公开了一种激光系统、激光‑CMP复合加工装置及其加工方法,属于超精密抛光技术领域,包括沿同一预设轴线依次排布的激光发射器、第一分束器、聚焦镜、反射镜组以及第二分束器组,激光发射器用于沿预设轴线发射单束激光,第一分束器用于将激光发射器的单束激光分束,聚焦镜用于将第一分束器分束的激光聚焦成多道与预设轴线平行的激光束,反射镜组用于改变聚焦镜导成的激光束与预设轴线的夹角,第二分束器组在接收到反射镜组反射的激光束后将其分束至雾化程度。将单束激光分束成多个区域高密度的多束激光,提高激光利用率,以提高加工效率,并实现待加工件表层的改性,为CMP的去除提供基础,提高CMP去除效率,减小表面损伤。

    超短脉冲激光加工方法及系统
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN116921852A

    公开(公告)日:2023-10-24

    申请号:CN202311152526.7

    申请日:2023-09-08

    Abstract: 本发明公开了一种超短脉冲激光加工方法,涉及单晶4H‑SiC等硬脆材料的加工技术领域,主要包括以下步骤:S1、通过超短脉冲激光对工件的待加工表面进行预处理;S2、对经预处理后的所述工件的待加工表面进行抛光处理。本发明中还公开了一种超短脉冲激光加工系统,用于实施上述的超短脉冲激光加工方法,主要包括超短脉冲激光器和抛光机。本发明能够降低工件材料表面/亚表面损伤,并提高加工效率。

    一种线性霍尔检测电机转子位置误差的补偿方法

    公开(公告)号:CN115149865A

    公开(公告)日:2022-10-04

    申请号:CN202110337984.2

    申请日:2021-03-30

    Abstract: 本发明公开了一种线性霍尔检测电机转子位置误差的补偿方法。通常通过在电机上相差90°安装两个线性霍尔来检测转子位置,但是存在安装误差、霍尔的固有差异等非理想因素导致两路霍尔信号在幅值上不相等,在相位上不正交的情况下。通过坐标变换提取非理想霍尔信号中的负序分量hs‑,然后用原信号减去负序分量得到正序分量hs+,最终实现正序分量与负序分量的分离,通过正序分量使用反正切函数算出转子位置,计算出的转子位置,最终消除了位置信号中的二倍频抖动,大大提高了转子位置检测的精度。本发明通过算法上的优化,减弱了硬件的非理想因素对位置检测精度的影响,在高精度伺服领域、超高速电机控制领域有着巨大的使用前景。

    激光系统以及用于加工陶瓷材料的装置和方法

    公开(公告)号:CN114952522A

    公开(公告)日:2022-08-30

    申请号:CN202210727153.0

    申请日:2022-06-24

    Abstract: 本发明公开了一种激光系统以及用于加工陶瓷材料的装置和方法,其中激光系统包括激光器、分束器、聚焦镜组件、第一光束变向组件、第二光束变向组件和控制系统。分束器用于将激光器射出的激光分为第一光束和第二光束。聚焦镜组件包括第一聚焦镜和第二聚焦镜,第一聚焦镜用于将入射光线聚焦在砂轮上,第二聚焦镜用于将入射光线聚焦在工件上。第一光束变向组件用于调整第一光束的方向,第二光束变向组件用于调整第二光束的方向。控制系统同时与第一光束变向组件、第二光束变向组件电连接,以控制第一光束和第二光束的方向。相比于现有技术,本发明能够同时进行陶瓷材料的激光预辐照和砂轮的修整,以实现陶瓷材料的高效低损伤加工。

    在局部感知能力下的势流法的避障方法

    公开(公告)号:CN108490939B

    公开(公告)日:2021-04-20

    申请号:CN201810255846.8

    申请日:2018-03-27

    Abstract: 本发明公开了一种在局部感知能力下的势流法的避障方法,属于避障方法技术领域。所述方法模拟了自然环境下的水流模型,在只有局部感知能力下检测到障碍物时,对检测得障碍物进行模型构造优化,并采取一种避障策略可以平滑、非震荡的避开障碍达到目标点。该避障方法相对现有的技术,譬如相对蚁群算法来说,计算简单、易于实现。相对传统的人工势场法来说,可以有效的防止陷入局部最小值和目标不可达的现象,便于广泛的应用于实践工程上。

    纤维增强复合材料/金属叠层全周期瞬时钻削轴向力预测方法

    公开(公告)号:CN105912868A

    公开(公告)日:2016-08-31

    申请号:CN201610239660.4

    申请日:2016-04-18

    CPC classification number: G06F19/00

    Abstract: 一种纤维增强复合材料/金属叠层全周期瞬时钻削轴向力预测方法,其特征是它包括以下步骤:首先,确定初级参数,将麻花钻主切削刃和横刃均划分为无限小的微元,求解次级参数。其次,确定钻削过程中,主切削刃上任意切削微元处的纤维方向角。第三,计算主切削刃切削金属时微元上的切削力。第四,根据钻削过程中每个时刻切削刃和工件材料的相对状态,将叠层钻削过程划分为五个阶段,确定每个阶段的积分上下限。第五,根据积分公式计算一个完整周期的瞬时钻削轴向力。本发明充分考虑了纤维方向角对切削微元的影响,给出了叠层钻削全周期五阶段钻削轴向力预测方法,体现了叠层结构钻削力时丢失瞬时波动信息。

    一种原位液相辅助激光高效改性碳化硅基片的方法

    公开(公告)号:CN119684031A

    公开(公告)日:2025-03-25

    申请号:CN202411963518.5

    申请日:2024-12-27

    Abstract: 一种原位液相辅助激光高效改性碳化硅基片的方法,包括:激光液相下改性,将待改性的SiC基片放置于液相下的载物台上固定,使用皮秒激光器辐照待改性SiC基片表面,实现局部和全局烧蚀/改性;载物台装置,载物台装置可自由升降,用于实现激光束聚焦位置的控制;液相旋转系统,液相中可采用去离子水或游离磨料系统,在磁石旋转作用下产生动能,用于降低SiC基片在高温作用下发生溅射和表面/亚表面热裂纹,并能有效的去除激光改性后的重铸层和碎屑;激光束垂直辐照SiC基片表面;激光催化,激光可溶液中的化学试剂进行催化,用以在改性的同时催化溶液,改善SiC的机械性能,实现改性效率的显著提升。

    一种驱动超高速电机电流源逆变器的新型控制策略

    公开(公告)号:CN115225006A

    公开(公告)日:2022-10-21

    申请号:CN202110338597.0

    申请日:2021-03-30

    Abstract: 本发明公开了一种驱动超高速电机电流源逆变器的新型控制策略,本发明所采用的功率拓扑结构由一个直流电压源、两个高频功率开关、两个高频二级管、一个高频直流滤波电感、六个低频功率开关、六个低频二极管以及三个交流滤波电容组成。两个高频开关管和六个低频开关管分别构成前后级桥臂并且通过电感串联起来,交流侧并联滤波电容。本发明通过高频功率开关斩波控制母线电流,并设计单电流传感器锁相环以自动校正电流相位作用于后级实现换相。本发明的优点在于:减小电感体积;简化了算法的控制结构;实现高效低成本;减小了高电压变化率造成的电压尖峰并提高电流谐波性能;恒定调制比的后级控制方案便于各种调制策略的应用。

    基于事件触发的二阶时变时延多智能体系统包容控制方法

    公开(公告)号:CN108107725B

    公开(公告)日:2021-01-15

    申请号:CN201711265791.0

    申请日:2017-12-05

    Abstract: 本发明公开了一种基于事件触发的二阶变时延多智能体系统包容控制方法,所述的包容控制方法利用积分不等式,LMI技术与时延自身及其变化率的上下界信息,得到了在通讯时延下实现包容控制的充分条件,以及最大可允许时延上界,通过构造一种自适应的事件触发机制,更有效的反应系统的实时性,降低了智能体处理器的计算处理负荷和多智能体之间的通信频次,解决了现有技术中依赖于实时连续信息交换的多智能体包容控制方式在现实网络应用条件中难以实施的问题。

    一次性氧传感器
    10.
    发明公开

    公开(公告)号:CN108152332A

    公开(公告)日:2018-06-12

    申请号:CN201711316953.9

    申请日:2017-12-12

    Abstract: 本发明公开一种一次性氧传感器,包括透气壳体和盛装于所述透气壳体内的细粉状氧敏感材料,所述壳体两端分别设有电极,所述设于壳体两端的电极相互绝缘。所述细粉状氧敏感材料的组成及重量百分比为:粒度小于0.5μm的超细铁粉,40~60;活性炭,20~50;金属卤化物,20~40。本发明的一次性氧传感器,灵敏度高、成本低。

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