一种激光系统、激光-CMP复合加工装置及其加工方法

    公开(公告)号:CN118664060A

    公开(公告)日:2024-09-20

    申请号:CN202410881340.3

    申请日:2024-07-03

    Abstract: 本发明公开了一种激光系统、激光‑CMP复合加工装置及其加工方法,属于超精密抛光技术领域,包括沿同一预设轴线依次排布的激光发射器、第一分束器、聚焦镜、反射镜组以及第二分束器组,激光发射器用于沿预设轴线发射单束激光,第一分束器用于将激光发射器的单束激光分束,聚焦镜用于将第一分束器分束的激光聚焦成多道与预设轴线平行的激光束,反射镜组用于改变聚焦镜导成的激光束与预设轴线的夹角,第二分束器组在接收到反射镜组反射的激光束后将其分束至雾化程度。将单束激光分束成多个区域高密度的多束激光,提高激光利用率,以提高加工效率,并实现待加工件表层的改性,为CMP的去除提供基础,提高CMP去除效率,减小表面损伤。

    一种基于几何误差分布概率的丝杠螺母副温度场分布获取方法

    公开(公告)号:CN117113747A

    公开(公告)日:2023-11-24

    申请号:CN202310905016.6

    申请日:2023-07-24

    Abstract: 一种基于几何误差分布概率的丝杠螺母副温度场分布获取方法,其特征是首先建立几何误差与接触角之间的定量关系,其次在承受轴向载荷时确定不同耦合几何误差的滚珠‑滚道组合所产生的接触力,然后在几何误差统计数据的基础上构造滚珠和滚道联合误差分布的概率密度函数,之后联系误差概率分布和热源强度分布之间的关系,最后通过有限差分法求解对应温度场。本发明为丝杠螺母副温度场建模提供了一种新方法,体现了几何误差对滚珠和滚道接触热源的影响,有效解决了螺母副运动过程中随机几何误差诱导温度场预测不符合实际情况等问题。

    超短脉冲激光加工方法及系统
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN116921852A

    公开(公告)日:2023-10-24

    申请号:CN202311152526.7

    申请日:2023-09-08

    Abstract: 本发明公开了一种超短脉冲激光加工方法,涉及单晶4H‑SiC等硬脆材料的加工技术领域,主要包括以下步骤:S1、通过超短脉冲激光对工件的待加工表面进行预处理;S2、对经预处理后的所述工件的待加工表面进行抛光处理。本发明中还公开了一种超短脉冲激光加工系统,用于实施上述的超短脉冲激光加工方法,主要包括超短脉冲激光器和抛光机。本发明能够降低工件材料表面/亚表面损伤,并提高加工效率。

    激光系统以及用于加工陶瓷材料的装置和方法

    公开(公告)号:CN114952522A

    公开(公告)日:2022-08-30

    申请号:CN202210727153.0

    申请日:2022-06-24

    Abstract: 本发明公开了一种激光系统以及用于加工陶瓷材料的装置和方法,其中激光系统包括激光器、分束器、聚焦镜组件、第一光束变向组件、第二光束变向组件和控制系统。分束器用于将激光器射出的激光分为第一光束和第二光束。聚焦镜组件包括第一聚焦镜和第二聚焦镜,第一聚焦镜用于将入射光线聚焦在砂轮上,第二聚焦镜用于将入射光线聚焦在工件上。第一光束变向组件用于调整第一光束的方向,第二光束变向组件用于调整第二光束的方向。控制系统同时与第一光束变向组件、第二光束变向组件电连接,以控制第一光束和第二光束的方向。相比于现有技术,本发明能够同时进行陶瓷材料的激光预辐照和砂轮的修整,以实现陶瓷材料的高效低损伤加工。

    一种原位液相辅助激光高效改性碳化硅基片的方法

    公开(公告)号:CN119684031A

    公开(公告)日:2025-03-25

    申请号:CN202411963518.5

    申请日:2024-12-27

    Abstract: 一种原位液相辅助激光高效改性碳化硅基片的方法,包括:激光液相下改性,将待改性的SiC基片放置于液相下的载物台上固定,使用皮秒激光器辐照待改性SiC基片表面,实现局部和全局烧蚀/改性;载物台装置,载物台装置可自由升降,用于实现激光束聚焦位置的控制;液相旋转系统,液相中可采用去离子水或游离磨料系统,在磁石旋转作用下产生动能,用于降低SiC基片在高温作用下发生溅射和表面/亚表面热裂纹,并能有效的去除激光改性后的重铸层和碎屑;激光束垂直辐照SiC基片表面;激光催化,激光可溶液中的化学试剂进行催化,用以在改性的同时催化溶液,改善SiC的机械性能,实现改性效率的显著提升。

    一种基于数字地图的进给轴重复定位误差概率补偿方法

    公开(公告)号:CN115993802A

    公开(公告)日:2023-04-21

    申请号:CN202211623723.8

    申请日:2022-12-16

    Abstract: 一种基于数字地图的进给轴重复定位误差概率补偿方法,其特征是首先以大量的随机误差为基础,绘制该位置重复定位误差数字地图,其次结合动态优化算法求解数字地图的最大概率点,之后设置误差概率阈值控制补偿错误的可能性,输出最终补偿值的大小和方向,最后以最大概率点为补偿起始点,启动补偿并对补偿后的误差进行检测,不符合要求的误差数据将再次进入概率统计环节,重新绘制数字地图并更新地图。本发明有效解决了以往通过重复拆卸抑制重复定位误差容易引起零件损坏等问题,为随机误差和补偿值之间搭建了求解通道。

    一种基于数字地图的进给轴重复定位误差概率补偿方法

    公开(公告)号:CN115993802B

    公开(公告)日:2025-01-03

    申请号:CN202211623723.8

    申请日:2022-12-16

    Abstract: 一种基于数字地图的进给轴重复定位误差概率补偿方法,其特征是首先以大量的随机误差为基础,绘制该位置重复定位误差数字地图,其次结合动态优化算法求解数字地图的最大概率点,之后设置误差概率阈值控制补偿错误的可能性,输出最终补偿值的大小和方向,最后以最大概率点为补偿起始点,启动补偿并对补偿后的误差进行检测,不符合要求的误差数据将再次进入概率统计环节,重新绘制数字地图并更新地图。本发明有效解决了以往通过重复拆卸抑制重复定位误差容易引起零件损坏等问题,为随机误差和补偿值之间搭建了求解通道。

    激光系统以及用于加工陶瓷材料的装置和方法

    公开(公告)号:CN114952522B

    公开(公告)日:2023-07-25

    申请号:CN202210727153.0

    申请日:2022-06-24

    Abstract: 本发明公开了一种激光系统以及用于加工陶瓷材料的装置和方法,其中激光系统包括激光器、分束器、聚焦镜组件、第一光束变向组件、第二光束变向组件和控制系统。分束器用于将激光器射出的激光分为第一光束和第二光束。聚焦镜组件包括第一聚焦镜和第二聚焦镜,第一聚焦镜用于将入射光线聚焦在砂轮上,第二聚焦镜用于将入射光线聚焦在工件上。第一光束变向组件用于调整第一光束的方向,第二光束变向组件用于调整第二光束的方向。控制系统同时与第一光束变向组件、第二光束变向组件电连接,以控制第一光束和第二光束的方向。相比于现有技术,本发明能够同时进行陶瓷材料的激光预辐照和砂轮的修整,以实现陶瓷材料的高效低损伤加工。

Patent Agency Ranking