一种液相外延法制取薄膜的装置

    公开(公告)号:CN101760777B

    公开(公告)日:2012-05-30

    申请号:CN200910111540.6

    申请日:2009-04-17

    IPC分类号: C30B19/06

    摘要: 一种液相外延法制取薄膜的装置,涉及一种外延生长设备。其包括:一阀室,阀室内装有一升降旋转轴;一炉室,位于阀室的下方;一坩埚,位于炉室内;一用来加热所述坩埚内原料的加热装置;其特征在于:还包括一石墨花篮,所述的石墨花篮位于炉体内,可在阀室内及炉室内上下运动,石墨花篮上端与升降旋转轴可拆卸连接。本发明专利可一次装入多片衬底片于花篮的上下夹板之间,可一次性生产多个外延片;花篮可随着升降旋转轴旋转,使衬底片周围各处溶液浓度均匀,消除了温度场不均匀带来的生长差异,生长出来的外延片厚度均匀。

    一种多晶硅铸锭炉保温系统

    公开(公告)号:CN101660201A

    公开(公告)日:2010-03-03

    申请号:CN200910304187.3

    申请日:2009-07-09

    摘要: 本发明涉及一种多晶硅铸锭炉的保温系统,其包括炉体,炉体内绕炉体四周设一金属框架,在金属框架侧壁内还设有侧壁莫来石纤维板,金属框架顶部设有顶部莫来石纤维板,坩埚下方的石墨板底部设有底部莫来石纤维板,位于石墨板底部、位于金属框架侧壁内及位于金属框架顶部的各莫来石纤维板共同组成一封闭空间,在所述的侧壁莫来石纤维板靠炉体中心的内侧还设有一层刚玉莫来石承烧板。本发明的保温系统可在多晶硅熔炼铸锭过程中减少电能消耗,在铸造大型硅锭时,减少硅锭的热应力,提高切片成品率,尤其适用于生产450kg以上重量的多晶硅铸锭。

    一种液相外延法制取薄膜的装置

    公开(公告)号:CN101760777A

    公开(公告)日:2010-06-30

    申请号:CN200910111540.6

    申请日:2009-04-17

    IPC分类号: C30B19/06

    摘要: 一种液相外延法制取薄膜的装置,涉及一种外延生长设备。其包括:一阀室,阀室内装有一升降旋转轴;一炉室,位于阀室的下方;一坩埚,位于炉室内;一用来加热所述坩埚内原料的加热装置;其特征在于:还包括一石墨花篮,所述的石墨花篮位于炉体内,可在阀室内及炉室内上下运动,石墨花篮上端与升降旋转轴可拆卸连接。本发明可一次装入多片衬底片于花篮的上下夹板之间,可一次性生产多个外延片;花篮可随着升降旋转轴旋转,使衬底片周围各处溶液浓度均匀,消除了温度场不均匀带来的生长差异,生长出来的外延片厚度均匀。