双波长飞秒激光制备二维周期金属颗粒阵列结构的方法

    公开(公告)号:CN103862171B

    公开(公告)日:2016-04-20

    申请号:CN201410122538.X

    申请日:2014-03-28

    Applicant: 南开大学

    Abstract: 双波长飞秒激光制备二维周期金属颗粒阵列结构的方法。本发明提出利用聚焦双色飞秒激光脉冲在金属表面制备二维周期颗粒阵列结构的方法和实现装置,其特点为金属颗粒结构在两维方向上呈周期性亚微米量级分布。通过采用非线性倍频技术实现不同特征参数的双色飞秒激光,并经共路或分路的时间延迟后由同一光学元件共线聚焦照射在样品上,形成的二维周期结构图案可通过改变倍频晶体的方位角和双色激光的功率配比等进行有效调控。本发明的优点是:利用飞秒激光不同波长和偏振特性的组合设计,方便快捷地实现亚微米量级二维周期金属颗粒阵列结构的制备。本发明提出的双色飞秒激光制备新方法在材料微纳米加工领域有着潜在的重要应用。

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