公开(公告)号：CN101040346A

公开(公告)日：2007-09-19

申请号：CN200580033919.X

申请日：2005-09-30

申请人： 南比蒂翁有限责任公司

发明人： 延斯·施特鲁克迈尔 ,  卡尔·施拉根豪夫

IPC分类号： G12B21/20 ,  G12B21/00

CPC分类号： G01Q30/08 ,  G01Q20/02 ,  G01Q30/04 ,  G01Q30/10 ,  G01Q30/14 ,  G01Q60/42

摘要： 用于扫描探针显微镜的装置，具有扫描显微镜测量设备、控制设备和/或分析设备，所述测量设备包括用于扫描显微镜测量的测量探针和用于设置扫描显微镜待测量的试样的试样支承体，所述控制设备以系统集成方式地与扫描显微镜测量设备相连，其中所述控制设备被设置，以根据预给定的控制参数自动地控制测量设备用于实施扫描显微镜测量，所述分析设备以系统集成方式地与扫描显微镜测量设备相连，其中所述分析设备被设置，以根据预给定的分析参数自动分析借助扫描显微镜测量设备进行的测量。