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公开(公告)号:CN101040346A
公开(公告)日:2007-09-19
申请号:CN200580033919.X
申请日:2005-09-30
申请人: 南比蒂翁有限责任公司
摘要: 用于扫描探针显微镜的装置,具有扫描显微镜测量设备、控制设备和/或分析设备,所述测量设备包括用于扫描显微镜测量的测量探针和用于设置扫描显微镜待测量的试样的试样支承体,所述控制设备以系统集成方式地与扫描显微镜测量设备相连,其中所述控制设备被设置,以根据预给定的控制参数自动地控制测量设备用于实施扫描显微镜测量,所述分析设备以系统集成方式地与扫描显微镜测量设备相连,其中所述分析设备被设置,以根据预给定的分析参数自动分析借助扫描显微镜测量设备进行的测量。
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公开(公告)号:CN1232987C
公开(公告)日:2005-12-21
申请号:CN03116763.2
申请日:2003-04-28
申请人: 浙江大学
IPC分类号: G12B21/08
CPC分类号: G01Q30/14
摘要: 本发明公开了一种液相原子力显微镜探头。于它依次具有激光器及位置敏感元件(PSD)组成的光电检测系统、XYZ压电陶瓷、气液隔离盘及微悬臂探针组成的扫描与反馈控制系统,以及由样品、样品座、液体池和升降台组成的可升降液相单元。本发明液相原子力显微镜探头结构简洁,技术条件易于实现,广泛适用于导体、半导体和绝缘体样品,既可以在空气中测量,又可以在液体甚至电化学环境下进行实时观察和测量,可望在众多科技与工业领域得到广泛应用。
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公开(公告)号:CN1448958A
公开(公告)日:2003-10-15
申请号:CN03116763.2
申请日:2003-04-28
申请人: 浙江大学
IPC分类号: G12B21/08
CPC分类号: G01Q30/14
摘要: 本发明公开了一种液相原子力显微镜探头。于它依次具有激光器及位置敏感元件(PSD)组成的光电检测系统、XYZ压电陶瓷、气液隔离盘及微悬臂探针组成的扫描与反馈控制系统,以及由样品、样品座、液体池和升降台组成的可升降液相单元。本发明液相原子力显微镜探头结构简洁,技术条件易于实现,广泛适用于导体、半导体和绝缘体样品,既可以在空气中测量,又可以在液体甚至电化学环境下进行实时观察和测量,可望在众多科技与工业领域得到广泛应用。
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公开(公告)号:CN101377460B
公开(公告)日:2011-05-18
申请号:CN200810129971.0
申请日:2008-07-30
申请人: 株式会社岛津制作所
IPC分类号: G01N13/10
摘要: 一种液体中试料的分析方法,其能够容易且可靠地防止分析用液体的蒸发。当使用扫描式探针显微镜来对液体中的试料进行观察时,使浸渍着试料(13)以及探针(15)的分析用液体(16)的周围充满不会与分析用液体(16)混合的密闭用液体(17),借此形成分析用液体(16)与外部气体隔离的密闭状态,所述扫描式探针显微镜使设置在悬臂(14)前端的探针(15)接近浸渍在液体中的试料(13)的表面,对此试料表面进行扫描,检测试料(13)与探针(15)之间的相互作用并形成图像。
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公开(公告)号:CN101377460A
公开(公告)日:2009-03-04
申请号:CN200810129971.0
申请日:2008-07-30
申请人: 株式会社岛津制作所
IPC分类号: G01N13/10
摘要: 一种液体中试料的分析方法,其能够容易且可靠地防止分析用液体的蒸发。当使用扫描式探针显微镜来对液体中的试料进行观察时,使浸渍着试料(13)以及探针(15)的分析用液体(16)的周围充满不会与分析用液体(16)混合的密闭用液体(17),借此形成分析用液体(16)与外部气体隔离的密闭状态,所述扫描式探针显微镜使设置在悬臂(14)前端的探针(15)接近浸渍在液体中的试料(13)的表面,对此试料表面进行扫描,检测试料(13)与探针(15)之间的相互作用并形成图像。
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公开(公告)号:CN2624354Y
公开(公告)日:2004-07-07
申请号:CN03230892.2
申请日:2003-04-28
申请人: 浙江大学
IPC分类号: G12B21/08
CPC分类号: G01Q30/14
摘要: 本实用新型公开了一种液相原子力显微镜探头。于它依次具有激光器及位置敏感元件(PSD)组成的光电检测系统、XYZ压电陶瓷、气液隔离盘及微悬臂探针组成的扫描与反馈控制系统,以及由样品、样品座、液体池和升降台组成的可升降液相单元。本实用新型液相原子力显微镜探头结构简洁,技术条件易于实现,广泛适用于导体、半导体和绝缘体样品,既可以在空气中测量,又可以在液体甚至电化学环境下进行实时观察和测量,可望在众多科技与工业领域得到广泛应用。
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