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公开(公告)号:CN101784954B
公开(公告)日:2015-03-25
申请号:CN200880104142.5
申请日:2008-05-06
申请人: 卡尔蔡司SMT有限责任公司
发明人: 马库斯·豪夫 , 乌尔里克·舍恩霍夫 , 帕亚姆·泰耶巴蒂 , 迈克尔·蒂尔 , 蒂尔曼·海尔 , 奥利·弗吕格 , 阿里夫·卡齐 , 亚历山大·索尔霍弗 , 格哈德·福赫特 , 约琴·韦伯 , 托拉尔夫·格鲁纳 , 阿克赛尔·戈纳迈耶 , 德克·赫尔韦格
CPC分类号: G02B7/008 , G02B7/1815 , G02B26/06 , G02B27/0025 , G03F7/70191 , G03F7/70308 , G03F7/70825 , G03F7/70891
摘要: 本发明涉及具有热致动器的光学校正装置(208、600),该热致动器影响光学校正装置(208、600)中的热分布。光学校正装置(208、600)由至少两个传输热的能力不同的局部元件(201、202、604)构建。此外,本发明涉及影响光学元件(208)中的温度分布的方法。