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公开(公告)号：CN119998733A
公开(公告)日：2025-05-13
申请号：CN202380069495.0
申请日：2023-09-19
Applicant: 卡尔蔡司SMT有限责任公司
IPC: G03F7/20 , G02B7/00 , G01K7/16 , G01K11/3206
Abstract: 本发明涉及一种反射镜装置，特别是用于微光刻投射曝光系统的反射镜装置，包括反射镜(20)、传感器单元(41、42、44、47、49)和控制单元(38)。反射镜(20)包括反射镜本体(23)和设置在反射镜本体(23)上的反射表面(24)。传感器单元(41、42、44、47、49)包括传感器元件(41、49)和信号路径(50)，所述信号路径(50)延伸到所述控制单元(38)，以便将表示传感器元件(41、49)的温度的测量信号传输到控制单元(38)。传感器元件(41、49)设置在反射镜体(23)的基板中，传感器元件包括集成在反射镜体(23)的基板中的多个电导体路径(41)，并且电导体路径(41)形成多个交叉点(51)，并且所述电导体路径(41)在交叉点(51)处彼此导电连接。本发明还涉及一种用于测量反射镜(20)的温度的方法。
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公开(公告)号：CN119998726A
公开(公告)日：2025-05-13
申请号：CN202380068851.7
申请日：2023-09-14
Applicant: 卡尔蔡司SMT有限责任公司
IPC: G03F7/00
Abstract: 本发明涉及一种反射镜装置，特别是用于微光刻投射曝光系统的反射镜装置，包括反射镜(20)、传感器单元(26)和控制单元(38)。反射镜(20)包括反射镜本体(23)和设置在反射镜本体(23)上的反射表面(24)。传感器单元(26)被设计成检测由反射镜本体(23)发出的红外辐射，以便从其导出温度测量值，并将温度测量值发送到控制单元(38)。反射镜(20)包括具有增加的红外辐射发射率的目标(37)。本发明还涉及一种用于测量反射镜(20)的温度的方法。
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公开(公告)号：CN119256269A
公开(公告)日：2025-01-03
申请号：CN202380042078.7
申请日：2023-05-10
Applicant: 卡尔蔡司SMT有限责任公司
Abstract: 本发明涉及一种反射镜，特别是用于微光刻投射曝光系统的反射镜，该反射镜具有有效光学表面、用于反射入射到有效光学表面上的工作波长的电磁辐射的反射层系统、由反射镜基板材料制成并且其中布置有在折射率方面与周围的反射镜基板材料不同的结构(106、206、306)的反射镜基板(105、205、305)、以及位于反射镜基板(105、205、305)和反射层系统之间的层堆叠体，其中所述层堆叠体具有在从所述反射镜基板(105、205、305)延伸到所述反射层系统的堆叠方向上一个接一个的吸收体层(110、210、310)、AR层(120、220、320)和平滑层(130、230、330)。
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公开(公告)号：CN101308333B
公开(公告)日：2013-08-07
申请号：CN200810125368.5
申请日：2002-12-17
Applicant: 卡尔蔡司SMT有限责任公司
Inventor： W·哈梅尔 , J·菲舍尔 , K·-E·奥贝勒 , E·默茨 , R·罗尔 , K·里夫 , S·舍恩加特 , M·诺伊迈尔 , B·特罗斯巴赫 , T·拉赛尔 , U·韦伯 , M·米尔贝耶 , H·霍尔德雷尔 , A·科尔 , J·韦伯 , J·利佩尔特
IPC: G03F7/20
CPC classification number: G03F7/70258 , G03F7/70825
Abstract: 披露的是一种用于微刻的投影曝光设备(1)的成像装置(7)，其包括至少一个光学元件(10、33、34)和至少一个操纵装置(9、36、41)，该操纵装置设置有线性驱动器(11)，用于操纵光学元件(10、33、34)的位置。该线性驱动器(11)包括驱动的部分(14)和不驱动的部分(15)，它们沿着轴线(17)朝着彼此可移动。这两个部分(14、15)至少临时地经由沿着轴线(17)可操作的功能元件(18)，以及经由在一个方向上可操作的功能元件(19)来至少近似平行于移动轴线(17)来相互连接。
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