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公开(公告)号:CN107111247A
公开(公告)日:2017-08-29
申请号:CN201580070811.1
申请日:2015-12-23
申请人: 卡尔蔡司SMT有限责任公司
IPC分类号: G03F7/20
摘要: 一种包含多个M的扫描仪(3i)的投射曝光系统(1)的照明系统(19)的辐射源模块(2),包含输出耦合光学单元(9),其包含至少一个装置,用于将具有总强度的集中输出光束(8)划分为具有单独强度的多个(M)单独输出光束(10i),其中划分集中输出光束(8)的装置包含改变集中输出光束(8)的总强度成为单独输出光束(10i)的单独强度的分配比的装置。
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公开(公告)号:CN107111247B
公开(公告)日:2020-01-14
申请号:CN201580070811.1
申请日:2015-12-23
申请人: 卡尔蔡司SMT有限责任公司
IPC分类号: G03F7/20
摘要: 一种包含多个M的扫描仪(3i)的投射曝光系统(1)的照明系统(19)的辐射源模块(2),包含输出耦合光学单元(9),其包含至少一个装置,用于将具有总强度的集中输出光束(8)划分为具有单独强度的多个(M)单独输出光束(10i),其中划分集中输出光束(8)的装置包含改变集中输出光束(8)的总强度成为单独输出光束(10i)的单独强度的分配比的装置。
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公开(公告)号:CN107111241B
公开(公告)日:2020-11-17
申请号:CN201580068983.5
申请日:2015-12-16
申请人: 卡尔蔡司SMT有限责任公司
IPC分类号: G03F7/20
摘要: 一种投射曝光设备,包含投射镜头(12);波前测量装置,其测量在该投射镜头(12)中的波前,该波前测量装置包含莫尔光栅布置(14),其具有设计为分别布置于该投射镜头(12)的物平面(20)中的物光栅(16)与像平面(22)中的像光栅(18),其中该物光栅(16)与该像光栅(18)以从该物光栅(16)到该像平面(22)上的成像(24)与该像光栅(18)产生莫尔叠加图案的方式以真实比例的方式彼此协调,其中该莫尔光栅布置(14)以针对该物平面(20)中物场(26)和/或该像平面(22)中像场(28)的多个场点同时产生莫尔叠加图案的方式设计。
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公开(公告)号:CN107111241A
公开(公告)日:2017-08-29
申请号:CN201580068983.5
申请日:2015-12-16
申请人: 卡尔蔡司SMT有限责任公司
IPC分类号: G03F7/20
CPC分类号: G03F7/706 , G03F7/70258 , G03F7/70266
摘要: 一种投射曝光设备,包含投射镜头(12);波前测量装置,其测量在该投射镜头(12)中的波前,该波前测量装置包含莫尔光栅布置(14),其具有设计为分别布置于该投射镜头(12)的物平面(20)中的物光栅(16)与像平面(22)中的像光栅(18),其中该物光栅(16)与该像光栅(18)以从该物光栅(16)到该像平面(22)上的成像(24)与该像光栅(18)产生莫尔叠加图案的方式以真实比例的方式彼此协调,其中该莫尔光栅布置(14)以针对该物平面(20)中物场(26)和/或该像平面(22)中像场(28)的多个场点同时产生莫尔叠加图案的方式设计。
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