公开(公告)号：CN107111247A

公开(公告)日：2017-08-29

申请号：CN201580070811.1

申请日：2015-12-23

申请人： 卡尔蔡司SMT有限责任公司

发明人： M.帕特拉 ,  A.沃尔夫 ,  M.施瓦布 ,  T.格鲁纳 ,  J.哈杰斯

IPC分类号： G03F7/20

摘要： 一种包含多个M的扫描仪(3i)的投射曝光系统(1)的照明系统(19)的辐射源模块(2)，包含输出耦合光学单元(9)，其包含至少一个装置，用于将具有总强度的集中输出光束(8)划分为具有单独强度的多个(M)单独输出光束(10i)，其中划分集中输出光束(8)的装置包含改变集中输出光束(8)的总强度成为单独输出光束(10i)的单独强度的分配比的装置。

公开(公告)号：CN107111247B

公开(公告)日：2020-01-14

申请号：CN201580070811.1

申请日：2015-12-23

申请人： 卡尔蔡司SMT有限责任公司

发明人： M.帕特拉 ,  A.沃尔夫 ,  M.施瓦布 ,  T.格鲁纳 ,  J.哈杰斯

IPC分类号： G03F7/20

摘要： 一种包含多个M的扫描仪(3i)的投射曝光系统(1)的照明系统(19)的辐射源模块(2)，包含输出耦合光学单元(9)，其包含至少一个装置，用于将具有总强度的集中输出光束(8)划分为具有单独强度的多个(M)单独输出光束(10i)，其中划分集中输出光束(8)的装置包含改变集中输出光束(8)的总强度成为单独输出光束(10i)的单独强度的分配比的装置。

公开(公告)号：CN107111241B

公开(公告)日：2020-11-17

申请号：CN201580068983.5

申请日：2015-12-16

申请人： 卡尔蔡司SMT有限责任公司

发明人： M.阿恩茨 ,  S.布雷迪斯特尔 ,  T.格鲁纳 ,  J.哈杰斯 ,  M.施瓦布

IPC分类号： G03F7/20

摘要： 一种投射曝光设备，包含投射镜头(12)；波前测量装置，其测量在该投射镜头(12)中的波前，该波前测量装置包含莫尔光栅布置(14)，其具有设计为分别布置于该投射镜头(12)的物平面(20)中的物光栅(16)与像平面(22)中的像光栅(18)，其中该物光栅(16)与该像光栅(18)以从该物光栅(16)到该像平面(22)上的成像(24)与该像光栅(18)产生莫尔叠加图案的方式以真实比例的方式彼此协调，其中该莫尔光栅布置(14)以针对该物平面(20)中物场(26)和/或该像平面(22)中像场(28)的多个场点同时产生莫尔叠加图案的方式设计。

公开(公告)号：CN107111241A

公开(公告)日：2017-08-29

申请号：CN201580068983.5

申请日：2015-12-16

申请人： 卡尔蔡司SMT有限责任公司

发明人： M.阿恩茨 ,  S.布雷迪斯特尔 ,  T.格鲁纳 ,  J.哈杰斯 ,  M.施瓦布

IPC分类号： G03F7/20

CPC分类号： G03F7/706 ,  G03F7/70258 ,  G03F7/70266

摘要： 一种投射曝光设备，包含投射镜头(12)；波前测量装置，其测量在该投射镜头(12)中的波前，该波前测量装置包含莫尔光栅布置(14)，其具有设计为分别布置于该投射镜头(12)的物平面(20)中的物光栅(16)与像平面(22)中的像光栅(18)，其中该物光栅(16)与该像光栅(18)以从该物光栅(16)到该像平面(22)上的成像(24)与该像光栅(18)产生莫尔叠加图案的方式以真实比例的方式彼此协调，其中该莫尔光栅布置(14)以针对该物平面(20)中物场(26)和/或该像平面(22)中像场(28)的多个场点同时产生莫尔叠加图案的方式设计。