公开(公告)号：CN115410213A

公开(公告)日：2022-11-29

申请号：CN202210594647.6

申请日：2022-05-27

申请人： 卡尔蔡司SMT有限责任公司

发明人： M.兰格尔 ,  D.科洛奇科夫

IPC分类号： G06V30/20 ,  G06T7/13 ,  G06T5/00

摘要： 本发明涉及一种用于分析微光刻微结构部件的图像的方法和设备，其中，在图像中，多个像素中的每一个在各个情况下被分配强度值。根据本发明的方法包括以下步骤：分离图像中的多个边缘片段(步骤S130)；将所分离的边缘片段中的每一个分类为相关边缘片段或不相关边缘片段(步骤S140)；以及基于相关边缘片段确定图像中的连续分段(步骤S150)。