公开(公告)号：CN119998833A

公开(公告)日：2025-05-13

申请号：CN202380069923.X

申请日：2023-09-06

Applicant: 卡尔蔡司SMT有限责任公司

Inventor： A·斯里坎塔 ,  A·阿尔佩罗维奇 ,  B·巴兹 ,  N·梅文坎普 ,  J·T·纽曼 ,  E·福卡 ,  J·珀施

IPC: G06T7/00 ,  G06T7/30 ,  G06V10/40 ,  G06V10/52 ,  G06V10/77 ,  G06V10/772 ,  G06V10/82 ,  G06N3/0455

Abstract: 一种用于检测缺陷的计算机实施方法(82)，其包括：获取晶片(24)的成像数据集(28)；在晶片(24)的成像数据集(28)的子集合中验证缺陷标准，缺陷标准包括：成像数据集(28)的子集合的观测表征(88)，其有关于从半导体结构的参考图像(66)推导出的多个特性元素(90)，其中观测表征和特性元素(90)定义最小重建误差的重建，以及关于晶片(24)的无缺陷观测成像数据集(30)的子集合的无缺陷表征(94)的容差统计(92)，其中无缺陷表征和特性元素(90)中的每一者定义无缺陷成像数据集(30)的子集合的最小重建误差的重建；生成缺陷信息。