公开(公告)号：CN101884258B

公开(公告)日：2013-09-04

申请号：CN200880118775.1

申请日：2008-10-29

Applicant: 原子能与替代能源委员会

Inventor： 让-马里·韦里亚克 ,  雅克利娜·巴布莱 ,  塞西尔·博里

IPC: H05K3/46

CPC classification number: H05K3/4084 ,  H01L21/76885 ,  H05K3/0017 ,  H05K3/4647 ,  H05K3/4664 ,  H05K2201/091 ,  H05K2201/09909 ,  H05K2203/107 ,  H05K2203/1173 ,  H05K2203/128

Abstract: 本发明涉及用于在被至少一个绝缘或半导体层(4)分隔的两个导电层(2，5)之间实现电互连的方法，该方法包括形成至少在下导电层(2)与上导电层(5)之间延伸的柱(3)，其中所述柱的性质和/或形状使所述柱相对于构成分隔层(4)的材料具有不可浸润性。

公开(公告)号：CN101884258A

公开(公告)日：2010-11-10

申请号：CN200880118775.1

申请日：2008-10-29

Applicant: 原子能与替代能源委员会

Inventor： 让-马里·韦里亚克 ,  雅克利娜·巴布莱 ,  塞西尔·博里

IPC: H05K3/46

CPC classification number: H05K3/4084 ,  H01L21/76885 ,  H05K3/0017 ,  H05K3/4647 ,  H05K3/4664 ,  H05K2201/091 ,  H05K2201/09909 ,  H05K2203/107 ,  H05K2203/1173 ,  H05K2203/128

Abstract: 本发明涉及用于在被至少一个绝缘或半导体层(4)分隔的两个导电层(2，5)之间实现电互连的方法，该方法包括形成至少在下导电层(2)与上导电层(5)之间延伸的柱(3)，其中所述柱的性质和/或形状使所述柱相对于构成分隔层(4)的材料具有不可浸润性。