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公开(公告)号:CN103674336B
公开(公告)日:2019-01-15
申请号:CN201310436448.3
申请日:2013-09-23
申请人: 原子能和替代能源委员会
摘要: 本发明涉及一种热流量传感器,其包括:‑支撑件(2),‑至少一个意在相对于支撑件(2)振动的元件(4),‑相对于振动元件(4)的用于所述振动元件(4)的悬挂装置(14),‑用于加热振动元件(4)的装置(10),‑用于静电激励振动元件(4)从而使振动元件以其共振频率振动的装置(8),‑用于检测振动元件(4)的共振频率变化的压电计(12)、形成用于通过焦耳效应加热振动元件(4)的装置的计量器,以及包括两个梁的悬挂装置(14),所述两个梁由纳米线形成从而减小从振动元件朝向支撑件的热量损失。
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公开(公告)号:CN104797930A
公开(公告)日:2015-07-22
申请号:CN201380060312.5
申请日:2013-09-17
申请人: 原子能和替代能源委员会
CPC分类号: G01N30/66 , G01K17/00 , G01N25/18 , G01N27/18 , G01N2011/0093
摘要: 本发明涉及一种热流传感器,该热流传感器包括悬挂到支撑件上的至少一个第一悬挂元件(2),所述第一悬挂元件(2)由导电材料制成,所述悬挂元件(2)的第一偏置装置(6)以及用于测量悬挂元件(2)的末端处的电压的变化的第一测量装置(8),所述第一悬挂元件(2)由纳米线形成,并且所述第一偏置装置(6)由交变电流源形成,所述交变电流源的强度通过焦耳效应加热第一悬挂元件(2)。所述传感器能够采用多个悬挂纳米线的形式并能够基于气体的热导率测量的原理被用作气体传感器。
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公开(公告)号:CN104797930B
公开(公告)日:2017-07-18
申请号:CN201380060312.5
申请日:2013-09-17
申请人: 原子能和替代能源委员会
CPC分类号: G01N30/66 , G01K17/00 , G01N25/18 , G01N27/18 , G01N2011/0093
摘要: 本发明涉及一种热流传感器,该热流传感器包括悬挂到支撑件上的至少一个第一悬挂元件(2),所述第一悬挂元件(2)由导电材料制成,所述悬挂元件(2)的第一偏置装置(6)以及用于测量悬挂元件(2)的末端处的电压的变化的第一测量装置(8),所述第一悬挂元件(2)由纳米线形成,并且所述第一偏置装置(6)由交变电流源形成,所述交变电流源的强度通过焦耳效应加热第一悬挂元件(2)。所述传感器能够采用多个悬挂纳米线的形式并能够基于气体的热导率测量的原理被用作气体传感器。
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