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公开(公告)号：CN1723294B
公开(公告)日：2010-06-09
申请号：CN200380105432.9
申请日：2003-12-18
CPC分类号： C23C14/223 , B01J13/04 , C23C14/34
摘要： 本发明提供一种用于在微粒子的表面上被覆粒径比该微粒子小的超微粒子或者薄膜的多边滚筒溅射装置、多边滚筒溅射方法及由其形成的被覆微粒子、微型胶囊及其制造方法。本发明的多边滚筒溅射方法是：将微粒子(3)收容在相对于重力方向大致平行的断面的内部形状是多边形的真空容器(1)内，以相对于上述断面大致垂直的方向作为旋转轴使上述真空容器(1)旋转，藉此，搅拌或者旋转该真空容器内(1)的微粒子(3)，同时进行溅射，从而在该微粒子(3)的表面上被覆粒径比该微粒子小的超微粒子或者薄膜。
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公开(公告)号：CN101857948A
公开(公告)日：2010-10-13
申请号：CN201010166471.1
申请日：2003-12-18
CPC分类号： C23C14/223 , B01J13/04 , C23C14/34
摘要： 本发明提供一种被覆微粒子，通过使内部断面形状具有多边形的真空容器以相对于上述断面大致垂直的方向作为旋转轴旋转，搅拌或者旋转该真空容器内的粒径为5μm以下的微粒子，同时进行溅射，从而在该微粒子的表面上被覆粒径比该微粒子小的超微粒子或者薄膜，上述微粒子由金属材料、无机材料及碳素材料中的任一种材料构成，上述超微粒子或薄膜由无机材料、金属材料、合金材料及碳素材料中的任一种材料构成。
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公开(公告)号：CN1723294A
公开(公告)日：2006-01-18
申请号：CN200380105432.9
申请日：2003-12-18
CPC分类号： C23C14/223 , B01J13/04 , C23C14/34
摘要： 本发明提供一种用于在微粒子的表面上被覆粒径比该微粒子小的超微粒子或者薄膜的多边滚筒溅射装置、多边滚筒溅射方法及由其形成的被覆微粒子、微型胶囊及其制造方法。本发明的多边滚筒溅射方法是：将微粒子(3)收容在相对于重力方向大致平行的断面的内部形状是多边形的真空容器(1)内，以相对于上述断面大致垂直的方向作为旋转轴使上述真空容器(1)旋转，藉此，搅拌或者旋转该真空容器内(1)的微粒子(3)，同时进行溅射，从而在该微粒子(3)的表面上被覆粒径比该微粒子小的超微粒子或者薄膜。
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公开(公告)号：CN101939466B
公开(公告)日：2012-07-18
申请号：CN200880126354.3
申请日：2008-02-06
申请人： 友技科株式会社
IPC分类号： C23C16/50 , B01F11/00 , C23C16/442 , H05H1/46
CPC分类号： C23C16/4417 , B01J2/006 , B01J2/12 , C23C16/26 , C23C16/442 , H01J37/32568 , H01J37/32633 , H01J37/3266 , H01J2237/20207 , H01J2237/20214
摘要： 本发明提供一种通过使等离子体集中在微粒子的附近从而能够对微粒子的表面更有效地包覆薄膜或超微粒子的等离子体CVD装置及等离子体CVD方法。该装置具备：室(13)；配置于所述室内、用于收容微粒子(1)的容器且相对重力方向大致平行的剖面的内部形状为多边形的容器；屏蔽除对微粒子(1)进行收容的收容面以外的所述容器的表面的接地屏蔽构件(27)；以相对所述剖面大致垂直方向为旋转轴使所述容器旋转或进行钟摆动作的旋转机构；配置在所述容器内、被配置成与所述收容面对置的对置电极(21)；与所述容器电连接的等离子体电源(23)；向所述容器内导入原料气体的气体导入机构；和对所述室内进行真空排气的排气机构。
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公开(公告)号：CN101939466A
公开(公告)日：2011-01-05
申请号：CN200880126354.3
申请日：2008-02-06
申请人： 友技科株式会社
IPC分类号： C23C16/50 , B01F11/00 , C23C16/442 , H05H1/46
CPC分类号： C23C16/4417 , B01J2/006 , B01J2/12 , C23C16/26 , C23C16/442 , H01J37/32568 , H01J37/32633 , H01J37/3266 , H01J2237/20207 , H01J2237/20214
摘要： 本发明提供一种通过使等离子体集中在微粒子的附近从而能够对微粒子的表面更有效地包覆薄膜或超微粒子的等离子体CVD装置及等离子体CVD方法。该装置具备：室(13)；配置于所述室内、用于收容微粒子(1)的容器且相对重力方向大致平行的剖面的内部形状为多边形的容器；屏蔽除对微粒子(1)进行收容的收容面以外的所述容器的表面的接地屏蔽构件(27)；以相对所述剖面大致垂直方向为旋转轴使所述容器旋转或进行钟摆动作的旋转机构；配置在所述容器内、被配置成与所述收容面对置的对置电极(21)；与所述容器电连接的等离子体电源(23)；向所述容器内导入原料气体的气体导入机构；和对所述室内进行真空排气的排气机构。
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