公开(公告)号：CN101840822B

公开(公告)日：2012-02-29

申请号：CN201010145409.4

申请日：2010-03-19

Applicant: 双叶电子工业株式会社

Inventor： 白神崇生 ,  北川和典 ,  兼重敏男 ,  西村则雄

IPC: H01J9/02 ,  H01J1/304 ,  H01J29/04

CPC classification number: H01J9/025 ,  H01J3/021 ,  H01J29/04 ,  H01J31/127 ,  H01J2203/022 ,  H01J2329/4617

Abstract: 本发明提供一种冷阴极电子源的制造方法及冷阴极电子源，提供能以简单的步骤对某种程度的面积以一次进行加工的冷阴极电子源的制造方法。本发明的冷阴极电子源的制造方法为在衬底(1)上重叠阴极电极(2)、绝缘层(4)及栅极电极(5)，以溶剂溶解不会相溶的聚合物A、B并使其被覆在栅极电极的表面。使溶剂蒸发而将聚合物A以微粒子状析出在聚合物B中并予以固定化，再以显影液去除聚合物A而形成蚀刻孔洞(9)，并进行蚀刻而在栅极电极形成孔洞(6)。并且，从孔洞(6)进行蚀刻而在绝缘层也形成孔洞，在孔洞内形成射极而作成冷阴极电子源(10)。

公开(公告)号：CN101840822A

公开(公告)日：2010-09-22

申请号：CN201010145409.4

申请日：2010-03-19

Applicant: 双叶电子工业株式会社

Inventor： 白神崇生 ,  北川和典 ,  兼重敏男 ,  西村则雄

IPC: H01J9/02 ,  H01J1/304 ,  H01J29/04

CPC classification number: H01J9/025 ,  H01J3/021 ,  H01J29/04 ,  H01J31/127 ,  H01J2203/022 ,  H01J2329/4617

Abstract: 本发明提供一种冷阴极电子源的制造方法及冷阴极电子源，提供能以简单的步骤对某种程度的面积以一次进行加工的冷阴极电子源的制造方法。本发明的冷阴极电子源的制造方法为在衬底(1)上重叠阴极电极(2)、绝缘层(4)及栅极电极(5)，以溶剂溶解不会相溶的聚合物A、B并使其被覆在栅极电极的表面。使溶剂蒸发而将聚合物A以微粒子状析出在聚合物B中并予以固定化，再以显影液去除聚合物A而形成蚀刻孔洞(9)，并进行蚀刻而在栅极电极形成孔洞(6)。并且，从孔洞(6)进行蚀刻而在绝缘层也形成孔洞，在孔洞内形成射极而作成冷阴极电子源(10)。